公开(公告)号：CN201927595U

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200920283488.8

申请日：2009-12-18

Applicant: 东南大学

Inventor： 尚金堂 ,  陈波寅 ,  张迪 ,  徐超 ,  黄庆安

IPC: H01L23/367 ,  H01L23/373

CPC classification number: H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: 本实用新型公开一种微型散热器，包括碳纳米管阵列、金属锚区，与碳纳米管垂直的碳纳米管阵列端面与金属锚区相接触，在金属锚区与碳纳米管接触的表面设有与碳纳米管阵列端面润湿的金属浸润层。所述金属浸润层与碳纳米管阵列之间反应形成金属碳化物。本实用新型通过在金属浸润层与碳纳米管之间反应形成金属碳化物，从而使得金属浸润层与碳纳米管之间具有更好的过渡晶体结构，与润湿状态的金属浸润层与碳纳米管之间的界面相比，能够进而进一步降低声子和电子等热载流子的散射，从而进一步降低碳纳米管与热源之间的接触热阻。