公开(公告)号：CN107607103B

公开(公告)日：2019-09-24

申请号：CN201711073630.1

申请日：2017-11-05

Applicant: 西北工业大学 ,  西北工业大学深圳研究院 ,  上海航天控制技术研究所

Inventor： 许斌 ,  张睿 ,  张安龙 ,  刘瑞鑫 ,  邵添羿 ,  赵万良 ,  吴枫 ,  成宇翔 ,  谷丛 ,  林建华 ,  刘洋 ,  慕容欣 ,  刘美霞 ,  应俊

IPC: G01C19/5776 ,  G01C25/00 ,  G05B13/04

Abstract: 本发明公开了一种基于干扰观测器的MEMS陀螺仪复合学习控制方法，用于解决现有MEMS陀螺仪的模态控制方法实用性差的技术问题。技术方案是首先设计干扰观测器，对干扰进行估计与补偿，降低滑模抖振；同时根据模糊预测误差和跟踪误差，设计模糊逻辑权值的复合自适应法则律，修正模糊逻辑的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。本发明考虑预测误差和跟踪误差，设计模糊逻辑权值的复合学习更新律，修正模糊逻辑的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。结合滑模控制理论，实现对MEMS陀螺未知动力学的前馈补偿，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度。设计干扰观测器，在滑模控制中对干扰进行补偿，从而降低滑模抖振，实用性好。

公开(公告)号：CN107608216B

公开(公告)日：2019-08-13

申请号：CN201711073625.0

申请日：2017-11-05

Applicant: 西北工业大学 ,  西北工业大学深圳研究院 ,  上海航天控制技术研究所

Inventor： 许斌 ,  张睿 ,  张安龙 ,  刘瑞鑫 ,  吴枫 ,  成宇翔 ,  邵添羿 ,  赵万良 ,  谷丛 ,  林建华 ,  刘洋 ,  慕容欣 ,  刘美霞 ,  应俊

IPC: G05B13/04

Abstract: 本发明公开了一种基于平行估计模型的MEMS陀螺仪复合学习控制方法，用于解决现有MEMS陀螺仪模态控制方法实用性差的技术问题。技术方案是首先根据平行估计模型和动力学模型构建神经网络预测误差，结合跟踪误差，设计神经网络权值的复合自适应律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计；同时由于系统处于滑动模态时，对参数不确定和外界干扰不敏感，设计滑模控制器，实现未知动力学的前馈补偿。本发明通过设计神经网络权值的复合自适应律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。结合滑模控制理论，实现对MEMS陀螺未知动力学的前馈补偿，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度，实用性好。

公开(公告)号：CN107678282B

公开(公告)日：2019-08-09

申请号：CN201711073628.4

申请日：2017-11-05

Applicant: 西北工业大学 ,  西北工业大学深圳研究院 ,  上海航天控制技术研究所

Inventor： 许斌 ,  张睿 ,  张安龙 ,  刘瑞鑫 ,  成宇翔 ,  邵添羿 ,  赵万良 ,  吴枫 ,  谷丛 ,  林建华 ,  刘洋 ,  慕容欣 ,  刘美霞 ,  应俊

IPC: G05B13/04

Abstract: 本发明公开了一种考虑未知动力学和外部干扰的MEMS陀螺智能控制方法，用于解决现有MEMS陀螺仪模态控制方法实用性差的技术问题。技术方案是首先设计干扰观测器，估计并补偿外部干扰，从而降低滑模抖振；同时根据模糊预测误差和跟踪误差，设计模糊逻辑权值的复合自适应法则律，修正模糊逻辑的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。本发明考虑预测误差和跟踪误差，设计模糊逻辑权值的复合学习更新律，修正模糊逻辑的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。结合滑模控制理论，实现对MEMS陀螺未知动力学的前馈补偿，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度。设计干扰观测器，对干扰进行估计与补偿，从而降低滑模抖振，实用性好。

公开(公告)号：CN108871305A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201810651367.8

申请日：2018-06-22

Applicant: 上海交通大学 ,  上海航天控制技术研究所

Inventor： 张卫平 ,  谷留涛 ,  刘朝阳 ,  李敏阳 ,  田梦雅 ,  崔峰 ,  张钰莹 ,  成宇翔 ,  赵万良 ,  刘瑞鑫

IPC: G01C19/5656 ,  G01C19/5663

Abstract: 本发明提供了一种谐振微陀螺，包括基底(100)、谐振器(102)；所述谐振器(102)设置在基底(100)上；所述谐振器(102)包括凸出部(101)、双梁环(103)；所述凸出部(101)的中心点与基底(100)的中心点重合；所述双梁环(103)的一端沿周向与凸出部(101)相连接。本发明还提供了一种谐振微陀螺的制备方法。本发明提供的制备方法步骤简洁，利于批量生产；谐振微陀螺具有高度对称性，且结构相对稳定，抗冲击，具有优良的性能；分布在谐振器外围边缘的电极相对于分布在谐振器中同心圆环内部的电极而言，可以提高谐振陀螺的Q值，因而响应更加灵敏。

公开(公告)号：CN107860379A

公开(公告)日：2018-03-30

申请号：CN201710814186.8

申请日：2017-09-11

Applicant: 上海航天控制技术研究所

Inventor： 李绍良 ,  成宇翔 ,  庄忠平 ,  王伟 ,  俞璐

IPC: G01C19/56

Abstract: 一种静电激励与检测的圆柱壳哥氏振动陀螺，涉及惯性器件技术领域；包括圆柱壳谐振子、静电激励与检测一体式上罩、陀螺密封壳体、陀螺缓冲电路板、陀螺电极引出线和陀螺支撑外壁；静电激励与检测一体式上罩平行固定安装在陀螺缓冲电路板的下方；静电激励与检测一体式上罩与陀螺缓冲电路板之间通过陀螺电极引出线固定连接；圆柱壳谐振子固定安装在静电激励与检测一体式上罩的方；陀螺支撑外壁为中空圆筒结构，陀螺支撑外壁同轴套装在静电激励与检测一体式上罩下表面与圆柱壳谐振子底面上表面之间；陀螺密封壳体套装在陀螺支撑外壁的外部；本发明结构简单、振动Q值高，采用静电激励与静电检测方式，测量精度高，同时易于加工装配。

公开(公告)号：CN106323259A

公开(公告)日：2017-01-11

申请号：CN201610635051.0

申请日：2016-08-04

Applicant: 上海交通大学 ,  上海航天控制技术研究所

Inventor： 张卫平 ,  欧彬 ,  刘朝阳 ,  唐健 ,  孙殿竣 ,  邢亚亮 ,  魏志方 ,  崔峰 ,  成宇翔 ,  赵万良 ,  刘瑞鑫

IPC: G01C19/5684 ,  G01C19/5691

Abstract: 本发明提出了一种上下分立的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，多个上电极分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极；所述下电极为多个，多个下电极均匀分布在微型谐振子的下侧，构成均匀分布式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。