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公开(公告)号：CN110487726B
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN201910874468.6
申请日：2019-09-17
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种定点式激光损伤阈值评价系统，激光发射装置依次设置Nd:YAG激光器、空间滤波器、扩束器和锥镜；光束准直反馈调节系统设有X、Y向可旋转反馈镜、衰减器、波片、分光镜I、分光镜II、能量计、聚焦透镜I、光斑屏幕、CCD相机I、聚焦透镜II、X、Y向压电控制器；分光镜I下面设置能量计，分光镜II下面设置聚焦透镜I、光斑屏幕和CCD相机I，能量计和CCD相机I连接计算机，计算机分别通过X，Y向压电控制器连接X，Y向可旋转反馈镜；可调节夹具通过夹具支撑台置于三维移动平台上，三维移动平台通过三向运动控制器连接计算机；CCD相机II用于观测并记录激光辐照前后工件测试区域的显微形貌，并将其反馈给计算机。
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公开(公告)号：CN111136511B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN202010030524.0
申请日：2020-01-13
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种磁性复合流体与气囊复合抛光装置，气囊抛光头通过气囊固定架固定，并套接在工件外面，气囊连接盘外侧固定连接定制空心轴；工件的右侧与工件固定支座连接，左侧与左密封盖密封连接，工件内孔中穿接实心轴，实心轴右端穿出工件并经过右密封盖后连接移动固定支座及导轨；实心轴左端穿出工件后经定制空心轴与空心轴支座连接，实心轴的左端与轴端支座连接；实心轴和定制空心轴连接锥齿轮系传动装置；实心轴四周设有永磁体磁环；锥齿轮系传动装置的伺服电机带动大锥齿轮转动，大锥齿轮通过左端的小锥齿轮带动实心轴同步转动，使永磁体磁环获得同向的旋转；右端的小锥齿轮带动定制空心轴实现及气囊抛光头反向旋转，对工件的内外表面同时进行抛光。
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公开(公告)号：CN112775767A
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN202110126284.9
申请日：2021-01-29
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种超声振动辅助磁性复合流体抛光装置，包括电主轴和抛光头，所述抛光头由压电陶瓷环、永磁铁和抛光轮组成，所述抛光轮由功能层和连接层组成，所述功能层和连接层之间焊接固定，所述抛光轮通过连接层与电主轴固定连接；所述永磁铁外包裹绝缘涂层，并烧结在压电陶瓷环内部，使磁性复合流体在永磁铁磁场的作用下吸附在压电陶瓷环外表面用于抛光光栅原件，所述压电陶瓷环通过树脂硅胶与抛光轮固定连接；所述电主轴内部设有电刷，产生的交流电流通过功能层内设置的电路线通道与压电陶瓷环连接形成回路，从而产生超声振动。本发明结构简单，提升磁性复合流体对各类工件表面的材料去除率和抛光质量。
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公开(公告)号：CN110265316B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201910573847.1
申请日：2019-06-28
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种半导体材料解理过程中偏移裂片载荷的获取方法,包括：使用刀片在晶圆上进行刻划产生划痕，根据晶圆上的划痕测量出划痕长度L、晶圆厚度H以及划片深度a，根据划痕底部的中心点O作为原点建立二维坐标系得到O1和O2，进而根据解离断裂应力公式判断出晶圆断裂需要的最小偏移裂片载荷。
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公开(公告)号：CN110039380B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201910290196.5
申请日：2019-04-11
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 根据本发明所涉及的一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，因为包括与磁性复合流体供给装置相连通储液筒以及设置在储液筒的外部的固液转化部，固液转化部包含沿储液筒的长度方向依次设置的m个固液转化单元，m个固液转化单元分别与m个微沟槽相对应，每个固液转化单元含有n个固液转化管道以及n个励磁线圈，n个固液转化管道且分别与储液筒相连通，当来自磁性复合流体供给装置的磁性复合流体经储液筒流过固液转化管道时，磁性复合流体在固液转化管道的出口处形成抛光磨粒，抛光磨粒用于对m个微沟槽同时进行抛光。所以，本发明中的一种用于周期性微沟槽结构抛光的磁性复合流体抛光装置，能够同时抛光多个微沟槽。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107103148B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201710321849.2
申请日：2017-05-09
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种超声振动单颗磨粒压痕区域平均接触应力的计算方法，其步骤为：1、测超声振动单颗磨粒压痕变形区域实际面积值Sv：2、计算虚拟圆的面积S：在压痕区域外作一个包含该压痕区域最小的虚拟圆，虚拟圆半径为dc,计算出虚拟圆的面积值；3、计算面积系数μ：4、判断面积系数μ
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公开(公告)号：CN111037464A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911317219.3
申请日：2019-12-19
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种针式磁性复合流体电磁抛光头尺寸的优化设计方法，首先基于针式磁性复合流体电磁抛光头的结构设计，在确定工件抛光深度的条件下，设载流螺线管的电磁体铁芯直径为D长度为L,选取不同长径比a＝L/D的电磁铁，求取在不同铁芯下磁场范围内选定不同点的磁场强度B，再利用标准差公式计算相应的标准偏差σB，从而求出不同铁芯长径比a下的磁场强度均匀度，根据磁场均匀强度得出铁芯长径比的最优解，最后调整线圈匝数，控制磁性复合流体达到极限剪切屈服强度，完善针式磁性复合流体电磁抛光头结构。进一步优化针式磁性复合流体电磁抛光头电磁铁铁芯尺寸的设计，从而获得抛光过程中对材料表面均匀去除的效果。
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公开(公告)号：CN108724002B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201810553684.6
申请日：2018-05-31
Applicant: 上海理工大学
IPC: B24B49/00
Abstract: 本发明涉及一种平面磨削工件表面粗糙度计算方法，首先采集磨削过程中的声发射信号，并对该信号进行滤波处理；接着通过傅里叶变换提取滤完干扰信号后的声发射信号的谐波频率及对应的振幅；然后通过工件最终表面形貌是砂轮对工件多次磨削叠加效果的总和，并结合谐波频率和振幅建立工件表面形貌轮廓轨迹方程；最后将该轮廓方程带入到粗糙度理论计算公式中来计算工件的表面粗糙度。该计算方法克服了现有平面磨削工件对粗糙度仪的依赖，通过收集磨削过程中的声发射信号来计算工件的表面粗糙度，为实际生产带来了巨大帮助。
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公开(公告)号：CN108340214B
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201810022437.3
申请日：2018-01-10
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种超声振动辅助磨削的材料亚表面裂纹深度预测方法，首先在平行于振动方向上连接压痕轮廓两端点作为长度a，在垂直于振动方向上连接压痕轮廓两端点作为宽度b，计算长宽比系数μ=a/b；然后根据长宽比系数对压痕区域内垂直于振动方向的压痕宽度d进行采样测量；进而根据压痕宽度d计算等效特征半径r，并测量压痕区域的侧向裂纹lc，然后计算等效断裂韧性KIC；最后根据亚表面裂纹深度与表面粗糙度、表面粗糙度与进给量、进给量与垂直载荷之间的关系，利用等效断裂韧性预测亚表面裂纹深度。该方法可以对超声振动磨削过程中材料亚表面裂纹深度进行预测，推动超声振动辅助磨削加工技术的去除机理研究。
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公开(公告)号：CN110227985A
公开(公告)日：2019-09-13
申请号：CN201910446251.5
申请日：2019-05-27
Applicant: 上海理工大学
Abstract: 本发明涉及一种针式磁性复合流体抛光头磁芯结构的设计方法，首先基于针式磁性复合流体抛光头结构，设放置的永磁铁个数为T，选择不同的比值μ，μ为永磁铁的半径与中心间距的比值，求取在不同比值μ磁场范围内选定的各点在磁场中的磁场强度，再次利用标准差公式计算相应的标准偏差σH，从而求得不同μ值下的磁场均匀程度，根据磁场均匀程度，最后求得比值μ的最优解；完善针式磁性复合流体抛光头结构。进一步优化针式磁性复合流体抛光头磁芯结构设计尺寸，从而获得抛光过程中对材料表面均匀去除的效果。
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