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公开(公告)号：CN1547043A
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：CN200310109274.6
申请日：2003-12-11
Applicant: 上海大学
IPC: G01T1/24
Abstract: 本发明涉及一种微条粒子探测器及其制备方法。本发明的微条粒子探测器，包括衬底及其表面涂层以及顶电极和背电极，衬底采用[100]硅片；在该衬底的上表面是[100]定向的金刚石薄膜涂层；在金刚石薄膜涂层的表面是顶电极，顶电极由铬金复合而成，并经光刻处理成条宽和间距均为25μm的微条电极，每条微条电极有镁铝丝引线引出；衬底的下表面是背电极，该背电极也是铬金复合电极。本发明的探测器的制备方法包括如下步骤：氢等离子原位刻蚀、硅表面渗碳、成核过程、金刚石表面生长过程和表面蒸镀铬金复合电极。本发明的粒子探测器生产成本低，有利于工业化生产。且本发明的探测器的各项性能完全可与探测器级天然金刚石相媲美。因而具有广泛的应用前景。
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