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公开(公告)号：CN116575033A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310421268.1
申请日：2023-04-19
Applicant: 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 , 西南交通大学
IPC: C23F3/03
Abstract: 本发明公开了一种用于加工超光滑低损伤钽钨合金表面的抛光液及应用，抛光液包括以下组分：0.01～40wt％的研磨颗粒、0～10wt％的氧化剂、0.01～1wt％的阳离子、0.01～1wt％的pH缓冲剂，其余为超纯水，以及少量pH值调节剂；所述pH值调节剂用于将抛光液的pH值调节为2.5～5；wt％表示质量百分比。本发明的抛光液利用氧化剂调控钽、钨的电化学腐蚀，特别是钽、钨之间的电偶腐蚀，实现高表面质量；利用阳离子调控钽钨合金表面与研磨颗粒之间的相互作用，提高材料去除速率，最终实现超光滑低损伤钽钨合金表面，表面粗糙度达到亚纳米级，帮助提升钽钨合金部件的使役性能。
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公开(公告)号：CN116372805A
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN202310324980.X
申请日：2023-03-30
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开一种曲率可调轮式气囊抛光工具，包括刀柄、气囊夹持部和位移机构。所述刀柄中心开设有气道，下端开设花键。所述气囊夹持部包括上夹持部和下夹持部，所述上夹持部设有上支撑板和上压板，二者配合共同夹紧气囊上端；所述下夹持部设有下支撑板和下压板，二者配合共同夹紧气囊下端；所述下支撑板开设花键槽，通过与所述刀柄花键配合连接气囊上夹持部和下夹持部。所述下支撑板连接所述位移机构。所述位移机构通过调节上夹持部和下夹持部之间的距离实现气囊曲率调整。所述下压板连接密封端盖，共同实现气囊整体密封。本发明解决了现有球形气囊存在零速区抛光效果差和现有轮式气囊曲率不可调等问题。
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公开(公告)号：CN114939803A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210572967.1
申请日：2022-05-25
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种应用于3D打印不锈钢流道精密加工的装置及方法，加工装置包括机架、样品装夹模块、拉簧定位模块、加工模块、复合运动模块和辅助模块，样品装夹模块将待加工样品装夹定位，拉簧定位模块夹持加工模块一端，复合运动模块夹持加工模块另一端，带动加工模块高速运动，辅助模块按需供给加工液，加工模块将加工液带入接触区域，实现流道表面加工。加工过程分为机械研磨和化学机械抛光，抛光阶段的化学机械抛光液包含0.01～40wt％的胶体二氧化硅、0～10wt％的过氧化氢、水，pH值2‑11。针对3D打印不锈钢流道，本发明提出机械研磨和化学机械抛光两步加工方法，设计加工装置，研发化学机械抛光液，实现流道表面高质高效加工，加工后表面粗糙度达到纳米级。
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公开(公告)号：CN114700870A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210197054.6
申请日：2022-03-01
Applicant: 西南交通大学
IPC: B24B37/02 , B24B37/11 , B24B37/27 , B24B37/34 , B24B41/02 , B24B47/12 , B24B41/04 , B24B57/02 , B24B1/00 , C09G1/02
Abstract: 本发明公开了一种轴承套圈接触式超精密化学机械抛光装置及方法，抛光装置包括第一调心模块、第二调心模块、样品旋转模块、样品夹持模块、抛光模块和机座；第二调心模块调节样品夹持模块位置，带动样品夹持模块上的套圈，使套圈与样品旋转模块同轴，第一调心模块调节抛光模块位置，带动抛光模块上的抛光头，使抛光头与套圈同轴。抛光头高速旋转进行抛光，样品低速旋转均化误差，配合实现套圈超精密抛光。化学机械抛光液包括0.01～40wt％的胶体二氧化硅、0～10wt％的过氧化氢、剩余为水，pH值2‑11。本发明针对性设计内、外套圈抛光头和夹具；控制样品旋转模块和抛光模块转速，均化误差，实现套圈表面均匀抛光；针对不锈轴承钢设计抛光液，实现纳米级表面粗糙度。
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公开(公告)号：CN111257596B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN202010115921.8
申请日：2020-02-25
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种扫描探针显微镜狭小实验腔环境气氛精确控制装置，包括第一进气口、第二进气口、主气体管道、辅气体管道、加湿气体管道、气体循环管道、外置混合腔、实验腔和传感反馈系统。第一进气口通过主气体管道与外置混合腔相连。第二进气口通过辅气体管道与外置混合腔相连。辅气体管道在经过辅气体电磁换向阀后单独分出一支加湿气体管道，加湿气体管道另一端与外置混合腔相连。气体循环管道一端与外置混合腔相连，另一端与实验腔相连。传感反馈系统连接外置混合腔内部的气体浓度传感器，并控制主气体电磁换向阀和辅气体电磁换向阀。本发明能够实现氮气、氧气、氢气、氩气、水蒸气、酒精蒸汽等单一或两者混合的环境气氛的精确制备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112678500A
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202011498460.3
申请日：2020-12-17
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了应用于真空或气氛环境腔体间的样品传输装置，包括快速进样腔、水平移动机构、竖直移动机构、旋盖机构、样品盒和主腔体，利用该装置从主腔体向外传输样品时，首先通过水平移动机构将样品从主腔体传输至快速进样腔内的样品盒，然后通过竖直移动机构使样品盒承载样品，接着移开水平移动机构，通过旋盖机构使样品盒封闭样品，最后通过竖直移动机构从快速进样腔内取出样品盒，传输至下一个腔体；从外向主腔体传输样品时，操作步骤与之相反；该装置解决了现有技术中的缺陷，样品单独传输至样品台，避免了过载和不慎接地；腔体内无滑动导轨，为实验仪器其他装置预留了空间；使用样品盒作为样品传输载体，避免了实验仪器间的污染和干扰。
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公开(公告)号：CN109406831B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN201710806553.X
申请日：2017-09-08
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明提供了一种应用于纳米级单点接触超低摩擦系数测量的矩形微悬臂梁探针设计及加工方法，首先建立具有普适性的摩擦系数测量理论模型；再结合矩形微悬臂梁探针的结构特性，建立适用于矩形微悬臂梁探针的摩擦系数测量理论模型；在此基础上，结合摩擦系数分辨率、可加载的最大正压力或可测量的最小摩擦力以及原子力显微镜特性等约束条件，设计满足测量要求的矩形微悬臂梁探针；最后依据设计尺寸加工矩形微悬臂梁探针。采用本发明提出的方法设计、加工出的探针能够显著提高摩擦系数测量分辨率，实现0.0001及以上量级分辨率的超低摩擦系数测量，保证超滑过程定量分析的真实性和可靠性，为深入系统研究超滑理论和技术提供一种重要的测量手段。
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公开(公告)号：CN109406386B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201711033488.8
申请日：2017-10-30
IPC: G01N19/02
Abstract: 本发明提供了一种应用于纳米级单点接触超低摩擦系数测量的异形横截面微悬臂梁探针设计及加工方法，其设计方法是首先建立具有普适性的摩擦系数测量理论模型；再结合异形横截面微悬臂梁探针的结构特性，建立适用于异形横截面微悬臂梁探针的摩擦系数测量理论模型；在此基础上，结合摩擦系数分辨率、可加载的最大正压力或可测量的最小摩擦力以及原子力显微镜特性等约束条件，设计满足测量要求的异形横截面微悬臂梁探针。采用本发明提出的方法设计、加工出的探针，能够显著提高摩擦系数测量分辨率，实现10‑6及以上量级分辨率的超低摩擦系数测量，保证超滑过程定量分析的真实性和可靠性，为深入系统研究超滑理论和技术提供了一种重要的测量手段。
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公开(公告)号：CN111257598A
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN202010089798.7
申请日：2020-02-13
Applicant: 西南交通大学
Abstract: 本发明公开了一种应用于真空扫描探针显微镜与真空管道间样品传送的装置，其包括：进样腔、进样机构和传样盒。进样腔包括：进样腔腔体、进样口、进样腔观察窗口、操作杆和进样腔盖子。进样机构包括：推杆、进样导轨、进样平台和样品刮片。传样盒包括：传样盒盖子和传样盒凸台。本发明的传样过程如下：将真空管道中的待测样品放入传样盒内并密封；将传样盒取出并放入进样腔中并密封；将进样腔与真空扫描探针显微镜抽真空，打开传样盒，利用进样机构仅将待测样品传送到真空扫描探针显微镜的样品台上。本发明实现了待测样品平稳可靠传送，严格保证传样时待测样品始终处于真空环境中，且适用于现有的真空扫描探针显微镜，有效保护压电陶瓷管。
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公开(公告)号：CN111216031A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN202010118552.8
申请日：2020-02-26
Abstract: 本发明公开了微型轴承核心元件超精密柔性化学机械抛光装置及方法。核心元件包括内套圈、保持架、滚动体、外套圈。抛光装置包括元件自转模块、外套圈转向模块、元件夹持模块、抛光液池旋转模块、支架。其中，元件夹持模块针对性提供内套圈夹具、保持架夹具、滚动体夹具、外套圈夹具。抛光方法包括安装调试抛光装置、配制柔性化学机械抛光液、设置抛光工艺参数、测量表面质量并反馈。柔性化学机械抛光液包括非牛顿流体、0.01-40wt％的研磨颗粒、0-10wt％的氧化剂、0-10wt％的金属络合剂、0-5wt％的金属缓蚀剂、以及余量的水，pH值2.0-10.0。本发明通过优化化学反应和力流变效应机械力的协同作用，能够实现核心元件表面超精密低损伤加工以及复杂曲面保形加工，且绿色环保。
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