公开(公告)号：CN210281867U

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201921151577.7

申请日：2019-07-22

Applicant: 苏州大学

Inventor： 寇青明 ,  钮市伟 ,  王永光 ,  陈瑶 ,  赵栋 ,  刘卫卫

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  C25F3/30 ,  C25F7/00

Abstract: 本实用新型公开了一种电诱导辅助化学机械抛光测试装置，包括：抛光液池、抛光垫、抛光盘、抛光头、驱动器、负电极以及外接电源；所述抛光液池用于盛装抛光电解液，其通过所述抛光盘带动而旋转；所述抛光垫贴合于抛光液池的底壁上；所述抛光头用于固定待抛光的晶片，并通过所述驱动器驱动而与所述抛光垫相对反向旋转，以对晶片进行机械抛光；所述外接电源的正极与所述晶片接通，负极与所述负电极接通。本实用新型的电诱导辅助化学机械抛光测试装置，通过电诱导作用的方式，增强晶片的氧化腐蚀，提高材料去除率，降低晶片抛光的生产成本，改善晶片的表面质量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN210394522U

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201920606343.0

申请日：2019-04-29

Applicant: 苏州大学

Inventor： 夏志新 ,  徐加超 ,  赵栋

IPC: C23C24/10 ,  B23K26/342 ,  B23K26/36

Abstract: 本实用新型涉及一种光内送丝激光熔覆装置，属于激光加工领域。该光内送丝激光熔覆装置包括激光头组件，激光头组件包括支撑座和喷嘴，支撑座上设有分光镜和两个反射聚焦镜以及用于固定和调节每个反射聚焦镜倾角的微调装置，分光镜接收入射光束并将入射光束反射形成反射光束，两个反射聚焦镜分别接收反射光束并分别将反射光束转化为两道焦点不同的聚焦光束。本实用新型涉及的光内送丝激光熔覆装置，通过反射聚焦镜来分别接收反射光束并将反射光束转化为两道焦点不同的聚焦光束，分别用于对基体的表面处理和激光熔覆，通过微调装置对反射聚焦镜倾角无极调节，实现载具前进、后退、清理和修复过程中光斑的快速定位，提高加工效率。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利