公开(公告)号：CN104342704A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410557069.4

申请日：2014-10-20

Applicant: 苏州大学

Inventor： 王永光 ,  陈瑶 ,  齐菲 ,  赵栋 ,  张大琳 ,  赵永武

IPC: C23F3/02

Abstract: 一种无氧化剂的碱性铝合金抛光液，按照质量百分比，包括1~5%络合剂、0.5~3%缓蚀剂、0.5~1%表面润滑活性剂、3~20%研磨剂、余量为水以及将抛光液pH调节至8~10的pH调节剂，研磨剂为微米级三氧化二铝和纳米级三氧化二铝的混合物；在液态水中加入表面润滑活性剂和研磨剂，搅拌均匀，加入缓蚀剂和络合剂，搅拌均匀，采用pH调节剂将溶液pH值调节到8-10即得。该抛光液可以大大增强磨料的悬浮性和抛光液的流动性，降低了表面划痕损伤，配合高效络合剂和缓蚀剂，无氧化剂的条件下，获得了材料高速去除速率和平坦化表面质量；抛光效率高，使用寿命长，对抛光机没有严重腐蚀效应；制备方法简单、易于生产，方便操作。

公开(公告)号：CN203796552U

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201420068934.4

申请日：2014-02-18

Applicant: 苏州大学

Inventor： 王永光

IPC: F04B53/16 ,  F04B53/00

Abstract: 一种具有减摩特性的斜盘式柱塞泵，包括缸体和配油盘，所述配油盘设置于所述缸体底部，所述缸体和配油盘形成摩擦副，所述缸体底部与所述配油盘相接触处设置有减摩层。本实用新型所揭示的具有减摩特性的斜盘式柱塞泵，通过在所述缸体底部与所述配油盘相接触处设置有减摩层，可有效避免缸体底部与配油盘直接接触相互摩擦引起的严重磨损，从而提高缸体与配油盘的使用寿命，进而提高整个柱塞泵的使用寿命。

公开(公告)号：CN210281867U

公开(公告)日：2020-04-10

申请号：CN201921151577.7

申请日：2019-07-22

Applicant: 苏州大学

Inventor： 寇青明 ,  钮市伟 ,  王永光 ,  陈瑶 ,  赵栋 ,  刘卫卫

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/34 ,  C25F3/30 ,  C25F7/00

Abstract: 本实用新型公开了一种电诱导辅助化学机械抛光测试装置，包括：抛光液池、抛光垫、抛光盘、抛光头、驱动器、负电极以及外接电源；所述抛光液池用于盛装抛光电解液，其通过所述抛光盘带动而旋转；所述抛光垫贴合于抛光液池的底壁上；所述抛光头用于固定待抛光的晶片，并通过所述驱动器驱动而与所述抛光垫相对反向旋转，以对晶片进行机械抛光；所述外接电源的正极与所述晶片接通，负极与所述负电极接通。本实用新型的电诱导辅助化学机械抛光测试装置，通过电诱导作用的方式，增强晶片的氧化腐蚀，提高材料去除率，降低晶片抛光的生产成本，改善晶片的表面质量。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利