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公开(公告)号：CN102035499A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN201010502124.1
申请日：2010-09-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H03H9/215 , H03H9/0547 , H03H9/1021
Abstract: 本发明提供振动片、振子、振荡器以及电子设备，抑制了因热弹性损失引起的Q值的降低，提高了弯曲振动的效率。振动臂部在一方的主面上具有沿着振动臂部的第1方向设置的第1槽部，在另一方的主面上具有第2槽部和第3槽部，该第2槽部在第2方向上与第1槽部并列地设置，该第3槽部在第1方向上与第1槽部并列地设置，且相比于第1槽部，被设置在基部侧，在一方的主面上具有第4槽部，该第4槽部在第1方向上与第2槽部并列地设置，且相比于第2槽部，被设置在基部侧，第1槽部的深度与第2槽部的深度之和、以及第3槽部的深度与第4槽部的深度之和大于一方的主面与另一方的主面之间的距离。
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公开(公告)号：CN100474769C
公开(公告)日：2009-04-01
申请号：CN200510135036.1
申请日：2005-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 表面声波器件和表面声波器件的制造方法。本发明的课题是提供一种表面声波器件和表面声波器件的制造方法，在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片，能够确保形成表面声波元件的部分的平坦度，获得良好的特性。表面声波器件(1)在半导体基板上具有IC区域和表面声波元件区域并构成为一个芯片，在表面声波元件区域的半导体基板(30)上及元件绝缘膜(32)上而且形成有表面声波元件(24)的区域的下方，形成与IDT电极(22)的电极指(21)大致平行而且是相同间距P的线状的层厚度调整膜(32、35)。
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公开(公告)号：CN1291373A
公开(公告)日：2001-04-11
申请号：CN99803151.8
申请日：1999-09-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H02N2/00
CPC classification number: H01L41/0913 , H02N2/004 , H02N2/103
Abstract: 层叠了压电元件和增强板的长方形板状的振动板10由支撑部件11支撑在底板上,同时,利用支撑部件11的弹性力朝向转子100一侧加弹性力。由此,使被设置在振动板10上的凸起部36与转子100的外周面相接。在该结构中,如果振动板10利用来自未图示的驱动电路的施加电压在图中左右方向上振动,则伴随因该振动引起的凸起部36的位移,使转子100在顺时针方向上旋转。
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公开(公告)号：CN104034323B
公开(公告)日：2018-09-25
申请号：CN201410077448.3
申请日：2014-03-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/574
Abstract: 本发明提供一种陀螺传感器、电子设备以及移动体，其能够抑制同相模式对振动模式的影响。本发明涉及的陀螺传感器具备：振动体；沿第一轴方向延伸且与所述振动体连接的第一弹簧结构部；沿着所述第一轴方向并排设置且相互反相地进行驱动振动的第一和第二振动部；沿着所述第一轴的方向延伸并与所述第一和第二振动部连接的第二弹簧结构部，所述第一弹簧结构部的第一弹簧常数K1小于，从对所述第二弹簧结构部的两端之间的长度进行二等分的中间点起至所述第二弹簧结构部的一端的范围内的第二弹簧常数K2。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104807453B
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201510043596.8
申请日：2015-01-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5733
CPC classification number: G05D19/02 , H04M2250/00
Abstract: 本发明提供功能元件、电子器件、电子设备和移动体。能够防止由振动泄漏现象引起的倾斜振动传递到检测部而导致检测精度下降。作为功能元件的陀螺元件具有：支承体；检测部，其与支承体连接，检测第1轴方向的振动；驱动连结部，其具有第1部分和第2部分，第1部分与支承体连接，在第1轴方向上延伸，第2部分与第1部分连接，比第1部分的第1轴方向的尺寸短，在第2轴方向上延伸；以及质量部，其与驱动连结部连接，经由驱动连结部与支承体连接，质量部在与包含相互正交的第1轴和第2轴的面的法线平行的第3轴方向上进行驱动振动。
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公开(公告)号：CN103363982B
公开(公告)日：2018-03-13
申请号：CN201310113198.X
申请日：2013-04-02
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/5755
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5747
Abstract: 本发明涉及陀螺传感器、电子设备以及移动体。该陀螺传感器等在两个振动体以反相而振动的驱动系统中，能够在不阻碍相互间的振动能量的交换的条件下防止粘着，其包括：基体；振动体；设置在所述基体上的第1固定部以及第2固定部；弹簧部，其从所述第1固定部到所述振动体在沿着第1轴的方向上延伸；驱动部，其激励所述振动体；检测部，其设置于所述振动体上，所述振动体在俯视观察时具有：第1和第2振动体，其在沿着所述第1轴的方向上并排设置且相互反相地驱动振动；连结弹簧部，其在沿着所述第1轴的方向上连结所述第1和第2振动体，第1弹性体，其从所述连结弹簧部起在沿着与所述第1轴交叉的第2轴的方向上延伸并被固定在所述第2固定部上。
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公开(公告)号：CN107036590A
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201610821869.1
申请日：2016-09-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 古畑诚
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供一种振子、电子设备以及移动体，其能够降低可动部的朝向基板的粘着。振子(1)具有：基板(2)；检测用翼板(47)，其以与基板(2)对置的方式而配置；梁部(48)，其为能够弹性变形，并对检测用翼板(47)以能够相对于基板(2)而在Z轴方向上位移的方式进行支承，在梁部(48)的复原力大于被形成在基板(2)与检测用翼板(47)之间的静电力的范围内，检测用翼板(47)向基板(2)侧位移。即，在将静电力和复原力相等的边界设为牵入临界L时，检测用翼板(47)在与牵入临界L相比靠上方的区域内进行位移。
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公开(公告)号：CN103363980B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201310116379.8
申请日：2013-04-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5719 , G01C19/5747
CPC classification number: G01C19/5719 , G01C19/5747
Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止因碰撞而造成的损坏的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。陀螺传感器具备：驱动质量块，其通过驱动部而在ｘ轴方向上被驱动；检测质量块，其与驱动质量块相连结；驱动用连结部，其一端被连结在驱动质量块上而另一端被固定在固定部上；岛部，其与固定部相连接，且与驱动质量块隔着间隙而配置，并与该驱动质量块电连接；突起，其被设置在驱动质量块的对置于岛部的面与岛部的对置于驱动质量块的面中的至少一个面上，驱动部包括：可动电极部，其与驱动质量块相连接；固定电极部，其以与可动电极部对置的方式而设置，驱动质量块与岛部之间的最短距离大于驱动质量块的驱动振幅且小于可动电极部的最大振幅。
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公开(公告)号：CN103569938B
公开(公告)日：2016-12-28
申请号：CN201310309015.1
申请日：2013-07-22
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5747 , B81B7/00
CPC classification number: B81B3/0018 , B81B3/0086 , B81B7/0006 , B81B2207/012
Abstract: 本发明提供一种微电子机械系统装置、电子模块、电子设备以及移动体，其能够对在配线间产生的寄生电容进行抑制。所述微电子机械系统装置具备：底基板；第一配线，其使用第一结构体并被配置在底基板上；第二配线，其使用第一结构体和与第一结构体相连接的第二结构体并被配置在底基板上；微电子机械系统元件，其上连接有第一配线和第二配线，并被配置在底基板上，并且，所述微电子机械系统装置具备第一配线和第二配线相互交叉的交叉部，在交叉部处，第一配线的第一结构体和第二配线的第二结构体交叉。
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