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公开(公告)号：CN109773290A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910128208.4
申请日：2019-02-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种微球电接触反馈的绝缘材料工件表面对准系统及方法，其中，对准系统包括：微细工具电极、绝缘液体、导电微球、导电液体和电接触反馈系统，其中，微细工具电极作为涂覆或蘸上第一预设容积的绝缘液体和导电微球的载体；绝缘液体用于微细工具电极粘附导电微球并实现自动对准中心；导电微球用于实现接触绝缘材料工件时上移，导通导电液体和微细工具电极产生电接触信号；导电液体连接电源一极，并与导电微球、微细工具电极产生电接触信号；电接触反馈系统用于检测到电接触信号时记录接触点当前位置，并发出Z轴停止进给运动指令。该对准系统可实现非平整非导电表面高度的精确测量，而且测量系统成本较低，简单易实现。
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公开(公告)号：CN106041236B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201610569463.9
申请日：2016-07-19
Applicant: 清华大学
IPC: B23H9/00
Abstract: 本发明公开了一种气膜冷却孔出口处热障涂层放电辅助化学加工扫描方法，包括：根据气膜冷却孔的复合角出口形状尺寸要求，对所述气膜冷却孔的孔口进行模型设计和参数设置，根据所述气膜冷却孔的孔口进行模型设计和加工扫描参数设置规划扫描轨迹并生成加工数控代码；按照所述加工数控代码进行扫描。本发明具有如下优点：采用陶瓷热障涂层放电辅助化学加工扫描工艺，可兼容集成电火花加工、电解加工用脉冲电源和工作液循环系统，可实现与基体高温合金电加工的快速切换的组合工艺。
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公开(公告)号：CN107378157A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710686182.6
申请日：2017-08-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及特种加工技术领域，特别是涉及一种扩散型气膜冷却孔的电火花分块加工方法，包括以下步骤：根据待加工气膜冷却孔的扩散形出口的形状尺寸，将待加工区域分为若干个子区域；利用细长型电极进行电火花加工，电极一次进给加工一个子区域，若干次进给加工出完整的待加工气膜冷却孔的扩散形出口。该扩散型气膜冷却孔的电火花分块加工方法，采用分块式加工工艺，将待加工的区域分为若干区域以分别加工，因此可采用普通细长杆型电极加工出气膜冷却孔的扩散形出口，且加工完毕后电极修复简单，使得气膜冷却孔的加工效率有效提高，加工成本大大减少。
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公开(公告)号：CN105127529B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201510561439.6
申请日：2015-09-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种适于线放电磨削的微细电火花加工用旋转进给主轴头机构，包括：加工进给滑块、蠕动进给件、设在蠕动进给件上的空心轴电机和第一驱动组件、压盘组件、常开夹子、固定在加工进给滑块上的第一轴承座、常闭夹子以及第二驱动组件，空心轴电机驱动压盘组件转动，第一驱动组件驱动压盘组件的移动件上下移动，常开夹子包括常开旋转轴和常开夹合件，移动件驱动常开夹合件相对常开旋转轴在打开位置和关闭位置之间上下移动，常闭夹子包括常闭旋转轴和常闭夹合件，第二驱动组件与常闭夹子配合以控制常闭夹合件打开或关闭。由此，可以一次装夹细长待修细的电极丝，实现细长电极丝的蠕动进给、高精度旋转、旋转周角定位等功能。
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公开(公告)号：CN104759719B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201510191201.9
申请日：2015-04-21
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开微小圆弧形薄片上微凹槽线放电磨削加工工艺及导向片。加工工艺包括：S1、设置基准平面；S2、将微小圆弧形薄片的顶端对应于基准平面，且确定微小圆弧形薄片上圆弧面的圆心O；S3、提供线电极，使线电极的轴线与微小圆弧形薄片的顶端端点水平平齐；S4、使微小圆弧形薄片以圆心O为旋转中心旋转，且使线电极沿其轴线进给以在微小圆弧形薄片的顶端加工出微凹槽；S5、加工进给线电极以达到微凹槽的深度要求。本发明的微小圆弧形薄片上微凹槽线放电磨削加工工艺，对微小圆弧形薄片进行线放电磨削加工过程，可达到微小圆弧形薄片上微凹槽的加工要求，提高微凹槽的加工精度，使加工出的微凹槽很好地与线电极匹配，适合线电极的走丝。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106346095A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610909851.7
申请日：2016-10-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种电解加工用微细单晶硅工具电极，其包括电极夹持部和电极加工部，该电极加工部设置于所述电极夹持部，该电极夹持部和电极加工部的材料是高浓度掺杂的单晶硅，且电极夹持部和电极加工部的表面设置有侧壁绝缘层，该电极加工部用于进行微细电解加工。另外，本发明还涉及一种电解加工用微细单晶硅工具电极的制备方法。
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公开(公告)号：CN106078113A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610575464.4
申请日：2016-07-19
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种用于血管主动导管的镍钛合金驱动结构特种加工方法，包括：根据驱动结构形状尺寸设计要求构造三维结构模型，并生成用于三维扫描轨迹的数控加工代码；根据数控加工代码，利用具有三轴数控功能的微细电火花加工装置采用两轴联动和一轴伺服控制运动的微细电火花伺服扫描加工工序在镍钛合金管上加工出所设计的三维结构；采用超声振动辅助酸基电解液电化学抛光方法去除三维结构的表面重熔层，得到镍钛合金主动导管。本发明具有如下优点：可实现在镍钛合金难加工材料上加工出管状复杂微三维驱动结构，可克服现有基于光刻工艺的加工深度、复杂度及加工精度受限问题，有利于提高血管主动导管的镍钛合金驱动结构加工成形精度。
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公开(公告)号：CN105127529A
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201510561439.6
申请日：2015-09-06
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种适于线放电磨削的微细电火花加工用旋转进给主轴头机构，包括：加工进给滑块、蠕动进给件、设在蠕动进给件上的空心轴电机和第一驱动组件、压盘组件、常开夹子、固定在加工进给滑块上的第一轴承座、常闭夹子以及第二驱动组件，空心轴电机驱动压盘组件转动，第一驱动组件驱动压盘组件的移动件上下移动，常开夹子包括常开旋转轴和常开夹合件，移动件驱动常开夹合件相对常开旋转轴在打开位置和关闭位置之间上下移动，常闭夹子包括常闭旋转轴和常闭夹合件，第二驱动组件与常闭夹子配合以控制常闭夹合件打开或关闭。由此，可以一次装夹细长待修细的电极丝，实现细长电极丝的蠕动进给、高精度旋转、旋转周角定位等功能。
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公开(公告)号：CN103433577B
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：CN201310348511.8
申请日：2013-08-12
Applicant: 清华大学
IPC: B23H1/02
Abstract: 本发明涉及一种应用于电火花放电加工的脉冲电源，包括一主振回路，第一驱动电路，第二驱动电路，第一功率放大电路，第二功率放大电路，以及直流电源，所述第一驱动电路和第一驱动电路分别控制所述第一功率放大电路和第二功率放大电路的开通和关断，所述第一功率放大电路与所述第二功率放大电路串联连接。所述第一功率放大电路的功率管开通时间与所述第二功率放大电路的功率管开通时间有交集，该交集的时间即为间隙放电的放电脉冲的脉冲宽度，任一功率放大电路的功率管关断时间为所述放电脉冲的间隙放电的脉冲间隔。该脉冲电源的在两组功率管的开通速度较慢的情况，可以得到间隙很窄的放电脉宽。
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公开(公告)号：CN103754819A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410026555.3
申请日：2014-01-21
Applicant: 清华大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 一种柔性MEMS减阻蒙皮的制备方法，包括：提供一基底；在所述基底上形成一柔性衬底；在所述柔性衬底上制备图案化电极，所述图案化电极包括多个相互交错排列的电解阳极和电解阴极；在所述柔性衬底和所述图案化电极上用光刻胶制备微凸柱阵列；将第一预聚物填充到所述微凸柱阵列的凸柱间隙中，待所述第一预聚物填充完毕后，固化所述第一预聚物，所述第一预聚物聚合成第一聚合物，得到柔性表层；利用刻蚀工艺去除所述微凸柱阵列，使所述凸柱底部的图案化电极暴露出来，同时形成微凹坑阵列；将所述基底剥离，得到所述柔性MEMS减阻蒙皮。
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