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公开(公告)号：CN108139270A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680058106.4
申请日：2016-09-27
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 光检测装置具备：法布里-珀罗干涉滤波器，其设置有光透过区域；光检测器，其检测透过光透过区域的光；封装体，其具有开口，收纳法布里-珀罗干涉滤波器及光检测器；及光透过部，其以封挡开口的方式配置于封装体的内表面，且包含使入射至光透过区域的光透过的带通滤波器。自平行于线的方向观察的情况下，法布里-珀罗干涉滤波器的外缘位于较开口的外缘更靠外侧的位置，光透过部的外缘位于较法布里-珀罗干涉滤波器的外缘更靠外侧的位置。
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公开(公告)号：CN103718006B
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201280036905.3
申请日：2012-05-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0256 , G01J3/0202 , G01J3/0259 , G01J3/0262 , G01J3/0291
Abstract: 分光器（1A）具备设置有光入射部（6）的封装体（2）、贯通封装体（2）中与光入射部（6）相对的支撑部（4）的多个引销（8）、以及在封装体（2）内被支撑在支撑部（4）上的分光模块（3A）。分光模块（3A）具有设置有使从光入射部（6）入射了的光（L1）通过的光通过部（22）的光检测单元（20）、以及以相对于光检测单元（20）而配置在支撑部（4）侧的方式固定在光检测单元（20）并具有将通过了光通过部（22）的光（L1）进行分光并且反射到光检测部（26）的分光部（35）的分光单元（30）。引销（8）嵌到设置在光检测单元（20）的嵌部（29），与光检测部（26）电连接。
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公开(公告)号：CN104541154B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201380042432.2
申请日：2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2201/068
Abstract: 表面增强拉曼散射元件，具备：基板，其具有主面；成形层，其具有以沿着基板的主面延伸的形式形成于主面上的支撑部以及形成于支撑部上的细微结构部；导电体层，其形成于细微结构部上并且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部，并且关于在与基板的主面交叉的方向上的成形层的厚度，与在成形层中形成有细微结构部的细微结构区域的中央部分相比，细微结构区域的外缘部分相对更薄。
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公开(公告)号：CN104508466A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380040860.1
申请日：2013-08-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00 , G01N21/03 , G01N2201/068
Abstract: SERS元件(2)包括：基板(21)，其具有表面(21a)；细微结构部(24)，其形成于表面(21a)上，且具有多个柱(27)；导电体层(23)，其形成于细微结构部(24)上，且构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部(20)。导电体层(23)具有以沿着表面(21a)的方式形成的基底部(28)、及在与柱(27)的各个对应的位置自基底部(28)突出的多个突出部(29)。在基底部(28)，在自柱(27)突出的方向观察的情况下以包围柱(27)的各个的方式形成有多个槽(28a)，突出部(29)的端部(29a)位于所对应的槽(28a)内。
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公开(公告)号：CN103703349A
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201280036798.4
申请日：2012-05-28
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J3/02
CPC classification number: G01J3/0205 , G01J3/0202 , G01J3/0256 , G01J3/0262 , G01J3/0291 , G01J3/1838 , G01J3/24 , G01J3/2803 , G01J2003/1852
Abstract: 分光器（1A）具备设置有光入射部（6）的封装体（2）、贯通封装体（2）中与光入射部（6）相对的支撑部（4）的多个引销（8）、在封装体（2）内被支撑在支撑部（4）上的光检测单元（20）、以及以相对于光检测单元（20）配置在支撑部（4）侧的方式在封装体（2）内被支撑在支撑部（4）上的分光单元（30）。光检测单元（20）具有使从光入射部（6）入射了的光（L1）通过的光通过部（22）。分光单元（30）具有使通过了光通过部（22）的光（L1）进行分光并且反射到光检测部（26）的分光部（35）。引销（8）嵌到设置在光检测单元（20）的嵌部（29），与光检测部（26）电连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118676042A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410706496.8
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: H01L21/677 , G02B26/00 , G01J3/26
Abstract: 一种搬运方法，是用于搬运包含多个法布里‑帕罗干涉滤波器的对象物的搬运方法，具备将上述对象物收纳于收纳容器的第1工序；上述法布里‑帕罗干涉滤波器具有基板、及设置于上述基板上且经由空隙而互相相对并且彼此的距离为可变的第1镜部及第2镜部；在上述第1工序中，在上述多个法布里‑帕罗干涉滤波器二维状地排列的状态下，将上述对象物收纳于上述收纳容器并支撑。
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公开(公告)号：CN112955722B
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN201980071042.5
申请日：2019-08-23
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本公开的分光传感器具备：配线基板，其具有主面；光检测器，其配置于配线基板的主面上；法布里‑珀罗干涉滤波器；间隔件，其设置于配线基板的主面上，以使法布里‑珀罗干涉滤波器与光检测器分离的方式支撑法布里‑珀罗干涉滤波器；及底座，其连接于接地电位，在法布里‑珀罗干涉滤波器与底座之间，形成有电阻小于自法布里‑珀罗干涉滤波器经由间隔件及配线基板到达光检测器的任意的第1电流路径的第2电流路径。
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公开(公告)号：CN118091929A
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410418966.0
申请日：2017-07-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器(1)包括：基板(11)，其具有第一表面(11a)；第一积层体(22)，其具有配置于第一表面(11a)的第一反射镜部(31)；第二积层体(24)，其具有在相对于第一反射镜部(31)而在与基板(11)相反的一侧隔着空隙(S)而与第一反射镜部(31)相对的第二反射镜部(32)；及中间层(23)，其在第一积层体(22)与第二积层体(24)之间划定空隙(S)。中间层(23)的外侧面(23b)以如下方式弯曲：中间层(23)的基板(11)侧的缘部比中间层(23)的与基板(11)相反的一侧的缘部在与第一表面(11a)平行的方向上位于更靠向外侧的位置。第二积层体(24)覆盖中间层(23)的外侧面(23b)。
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公开(公告)号：CN116338431A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310320764.8
申请日：2018-11-09
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 本发明的电气检查方法具备如下步骤：准备晶圆(100)，该晶圆构成有互相相对的第1镜部与第2镜部之间的距离通过静电力而变化的多个法布里‑帕罗干涉滤光器部；及检查多个法布里‑帕罗干涉滤光器部的各个的电气特性。
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公开(公告)号：CN114838818A
公开(公告)日：2022-08-02
申请号：CN202210609333.9
申请日：2018-03-05
Applicant: 浜松光子学株式会社
IPC: G01J1/04 , G01J1/42 , G01J3/02 , G01J3/26 , H01L31/0232
Abstract: 滤波器装置具备：封装体，其形成有使光入射的开口；光透过部，其以将开口封闭的方式配置于封装体的内面；及法布里‑珀罗干涉滤波器，其配置于封装体内，使透过了光透过部的光透过。光透过部包含配置于封装体内且使入射至法布里‑珀罗干涉滤波器的光透过的带通滤波器及将入射至法布里‑珀罗干涉滤波器的光聚光的透镜部而一体地构成。
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