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公开(公告)号:CN101481079B
公开(公告)日:2011-01-12
申请号:CN200910024713.0
申请日:2009-02-11
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及微纳器件制备技术和软刻蚀技术领域,特指一种应用软刻蚀技术制备微纳米透镜阵列的技术方法及工艺过程,具体的制备方法是:首先在模板上通过常规方法制备出微纳孔阵列;然后对制备出的模板进行硅烷化处理;接着滴加成型材料PDMS于模板表面,之后将涂有PDMS的模板置于真空干燥箱中,使PDMS液体成型;固化PDMS;最后分离模板和PDMS,得到的PDMS薄膜即带有微透镜阵列。本发明方法解决了透镜质量与微孔制备的矛盾,透镜焦距易于控制,制备工艺简单,设备要求较低。
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公开(公告)号:CN101819125A
公开(公告)日:2010-09-01
申请号:CN201010132398.6
申请日:2010-03-24
Applicant: 江苏大学
Abstract: 一种光栅结构稳定超疏水表面设计方法,涉及超疏水表面设计研究领域。其特征在于:首先推导出光栅结构表面的结构参数与表面的超疏水性能要求之间的关系,根据该关系确定表面的结构参数;再通过液体的工作条件计算出表面凹槽内部的液面与凹槽壁形成的接触角,同时计算液面最低点到突起顶端的距离;通过计算的接触角和距离判断液体在表面上所处的状态,若处于Wenzel状态则调整参数,以实现稳定超疏水性能。本发明从液体与微结构表面的微观接触形式角度进行考虑,通过几何分析方法实现稳定超疏水表面的设计,使设计过程直观化。
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公开(公告)号:CN101219506B
公开(公告)日:2010-06-02
申请号:CN200810019368.7
申请日:2008-01-07
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及微结构表面设计制备及激光微加工技术领域,其根据材料的特点来设计制备条件,并采用氧化法或覆膜法由飞秒激光于真空环境下制备出金属基微结构表面,以在不经任何表面处理的情况下一次性实现表面超疏水性。本发明操作简单、制备效率高。采用表面氧化处理或镀膜的方法由激光微结构一次性加工即可实现金属基超疏水表面的制备,工艺简单,加工快捷。具有可控性。激光能量、光斑直径、扫描速度等工艺参数独立可控,而且通过计算机程序控制实现激光线扫描和面扫描来获得不同的微结构形貌。
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公开(公告)号:CN100448592C
公开(公告)日:2009-01-07
申请号:CN200610085348.0
申请日:2006-06-12
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明为一种应用近场光学虚拟光探针进行多种材料选择性微加工方法及其系统。本发明提出应用纳米尺度的近场光学虚拟光探针对材料进行选择性微加工,并且据此设计了一套微加工系统。其由激光器发射的激光光束经滤波片、偏光器后入射到三角棱镜的一边,其折射光束在三角棱镜底面的入射角大于三棱镜的全反射角时发生全内反射,反射光束从另一边折射出三角棱镜后经光学延迟器和反射镜后又沿原路入射到三角棱镜的底面,形成虚拟光探针,将加工材料置于三角棱镜底面下的一定距离范围,便可以利用虚拟光探针对材料进行微加工,材料的微移调节通过微动载物台来实现。有效克服了因灰尘污染及探针与材料表面碰撞而造成损伤的不足,可提高微加工速度。
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公开(公告)号:CN101219770A
公开(公告)日:2008-07-16
申请号:CN200810019369.1
申请日:2008-01-07
Applicant: 江苏大学
IPC: B81C1/00 , B82B3/00 , B23K26/00 , C04B41/53 , C04B41/45 , H01L21/302 , H01L21/461 , H01L21/268
Abstract: 半导体材料微纳多尺度功能表面激光造型方法,涉及微纳米材料制备和激光微加工技术领域,本发明的目的是以半导体材料为基体、通过多尺度表面微造型及微结构表面处理的系统性工艺设计,提供用于微结构表面超疏水功能化的飞秒激光制备方法与装备,以实现具有微米、亚微米、纳米等多尺度复合微结构的半导体材料表面的可选性、可控性制备。本发明解决了传统的超疏水功能微结构表面制备方法中成本高、效率低、操作困难等技术难题。
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公开(公告)号:CN100376467C
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN200510094813.2
申请日:2005-10-14
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明涉及纳米材料制备技术,适用于多种金属、非金属及其氧化物、碳化物、氮化物、复合材料和超硬、难溶材料的纳米粉体制备。其先调节好干涉光路,再将固体靶材置于样品池的底部,并向样品池中缓慢地注入保护溶液直至高于靶面2~8mm,液体和固体靶材均处于室温,开启激光器,使激光经分束镜分成多束光并聚焦后共同作用于固体靶材表面,在此过程中,每隔10~15分缓慢地移动样品池,使激光作用于靶面各处发生干涉耦合。待作用时间达数十分钟后,将溶液中的粉末干燥后收集起来即得到纳米粉体。本发明具有设备简单、制备环境要求低、适用范围广,产物粒径小且粒度分布均匀,操作简便,产物尺寸易于控制等优点。
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公开(公告)号:CN1768963A
公开(公告)日:2006-05-10
申请号:CN200510094813.2
申请日:2005-10-14
Applicant: 江苏大学
IPC: B02C19/18
Abstract: 本发明涉及纳米材料制备技术,适用于多种金属、非金属及其氧化物、碳化物、氮化物、复合材料和超硬、难溶材料的纳米粉体制备。其先调节好干涉光路,再将固体靶材置于样品池的底部,并向样品池中缓慢地注入保护溶液直至高于靶面2~8mm,液体和固体靶材均处于室温,开启激光器,使激光经分束镜分成多束光并聚焦后共同作用于固体靶材表面,在此过程中,每隔10~15分缓慢地移动样品池,使激光作用于靶面各处发生干涉耦合。待作用时间达数十分钟后,将溶液中的粉末干燥后收集起来即得到纳米粉体。本发明具有设备简单、制备环境要求低、适用范围广,产物粒径小且粒度分布均匀,操作简便,产物尺寸易于控制等优点。
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公开(公告)号:CN108723618B
公开(公告)日:2020-03-31
申请号:CN201810547781.4
申请日:2018-05-31
Applicant: 江苏大学
Abstract: 本发明提供了一种提高金属网格边缘质量及其性能的激光扫描去除方法,首先绘制框式系列方块阵列或外框内线式复合方块阵列,框式系列方块阵列中的方块为由多个大小不同的正方形或矩形嵌套而成;外框内线式复合方块阵列为多个平行直线型线条以及包围在该多个直线型线条一周的正方形或矩形组成;对于框式系列方块阵列,先对去除区域边缘轮廓外框去除到预定深度再依次缩小外框对内部逐步去除;对于外框内线式复合方块阵列,先利用线式循环扫描去除的方法形成初步的网格形状,再通过外框扫描去除网格边缘的不平整部分。本发明能缓解去除区域边缘的热影响,提高金属网格的尺寸精度和分辨率,提高去除区域边缘质量,提高金属网格型透明电极的透光率。
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公开(公告)号:CN108257731B
公开(公告)日:2020-03-31
申请号:CN201711275941.6
申请日:2017-12-06
Applicant: 江苏大学
IPC: H01L31/0224 , H01B13/00 , C23C14/35 , C23C14/18 , C23C14/58
Abstract: 本发明提供了一种叠加式金属网格型透明电极的制备方法,首先通过磁控溅射镀膜仪在衬底表面溅射一层金属,然后利用激光束按照EZCAD绘制的阵列在金属/衬底表面进行去除,最后用吸耳球吹去表层的飞溅物,即可得到叠加式金属网格型透明电极。本发明操作简单,对设备无特殊要求,制备成本低。
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