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公开(公告)号：CN117616690A
公开(公告)日：2024-02-27
申请号：CN202280045592.1
申请日：2022-07-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
Abstract: 本发明提供一种能够改善温度特性的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电体层(3)；以及IDT电极(4)，设置在压电体层(3)上，具有周期性地配置的多个电极指(多个第1电极指(8)、第2电极指(9))。电极指包含至少一层电极层，至少一层电极层包含Nb、Pd以及Ni中的至少任一种。基于电极层与Mo的密度比而换算为电极层由Mo构成的情况的电极层的厚度的总和相对于多个电极指的周期为10％以上。
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公开(公告)号：CN117321913A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202280035105.3
申请日：2022-05-16
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/02
Abstract: 一种声波器件包括压电层以及第一谐振器和第二谐振器。第一谐振器包括位于压电层上的第一功能电极和第一介电膜。第二谐振器包括位于压电层上的第二功能电极和第二介电膜。第一谐振器和第二谐振器使用厚度谐振模式。压电层包括分别包括第一谐振器和第二谐振器的部分的第一谐振器部分和第二谐振器部分。第一谐振器的谐振频率低于第二谐振器的谐振频率，并且第一谐振器部分的厚度大于第二谐振器部分的厚度，并且满足ts1/tp1≤ts2/tp2，其中，tp1、tp2、ts1和ts2分别为第一谐振器部分和第二谐振器部分以及第一介电膜和第二介电膜的厚度。
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公开(公告)号：CN116868508A
公开(公告)日：2023-10-10
申请号：CN202280015427.1
申请日：2022-03-23
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够抑制电特性的变动并且能够抑制高阶模的弹性波装置。本发明的弹性波装置具备：支承构件，包含支承基板(3)；压电体层(6)，设置在支承构件上，具有相互对置的第1主面(6a)和第2主面(6b)；第1IDT电极(7A)，设置在第1主面(6a)，具有多个电极指；以及第2IDT电极(7B)，设置在第2主面(6b)，具有多个电极指。第2IDT电极(7B)埋入于支承构件。在压电体层(6)的第1主面(6a)设置有电介质膜(29)，使得覆盖第1IDT电极(7A)。在将由第1IDT电极(7A)的电极指间距规定的波长设为λ时，电介质膜(29)的厚度为0.15λ以下。
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公开(公告)号：CN111434037B
公开(公告)日：2023-09-08
申请号：CN201880077856.5
申请日：2018-11-14
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种能够有效地抑制杂散模式的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，由硅构成；压电体层(5)，直接地或间接地设置在支承基板(2)上；以及IDT电极(6)，设置在压电体层(5)上。在将由IDT电极(6)的电极指间距规定的波长设为λ时，压电体层(5)的厚度为1λ以下。在压电体层(5)传播的体波的纵波分量的声速即VL相对于下述的式(1)的声速VSi‑1满足下述的式(2)的关系。VSi‑1＝(V2)1/2(m/秒)...式(1)VSi‑1≤VL...式(2)式(1)中的V2是下述的式(3)的解。Ax3+Bx2+Cx+D＝0...式(3)。
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公开(公告)号：CN110999078B
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN201880051686.3
申请日：2018-07-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 一种多工器，具备一端被公共连接的、从通带的频率低的一方起依次设为弹性波滤波器1、2、…、N的N个弹性波滤波器，其中，除通带的频率最高的弹性波滤波器以外的至少一个弹性波滤波器n包含一个以上的弹性波谐振器，具有：氮化硅膜，层叠在支承基板上；氧化硅膜，层叠在氮化硅膜上；压电体，层叠在氧化硅膜上，由钽酸锂构成；以及IDT电极，设置在压电体上。在弹性波谐振器t中，第一～第三高阶模的频率fhs_t(n)(s＝1、2、3)中的至少一个和具有频率比弹性波滤波器n的通带的频率高的通带的全部的弹性波滤波器m(n＜m≤N)满足下述的式子中的任一个：fhl_t(n)＞fu(m)fhl_t(n)＜fl(m)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115298958A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202180021986.9
申请日：2021-03-17
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种弹性波装置，即便在推进了小型化的情况下，也能够提高Q值，能够降低弹性波谐振器中的杂散，且能够抑制滤波器特性中的杂散。弹性波装置具备包括铌酸锂或钽酸锂的压电层(2)及在与压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置且具有长度方向的多对电极，该弹性波装置利用厚度剪切一次模式的体波，或者在将压电层(2)的厚度设为d、将多对电极中相邻的电极间的中心间距离设为p时d/p为0.5以下，多对电极具有构成第一弹性波谐振器的至少一对第一电极和构成第二弹性波谐振器的至少一对第二电极，与第二弹性波谐振器中的第二电极的长度方向正交的方向相对于与第一弹性波谐振器中的第一电极的长度方向正交的方向成为超过0°且小于360°的角度。
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公开(公告)号：CN114467255A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202080066154.4
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种即使在推进了小型化的情况下也能够提高Q值的弹性波装置。弹性波装置(1)具备包含铌酸锂或者钽酸锂的压电层(2)、和在与压电层(2)的厚度方向交叉的方向上对置的第1电极(3)以及第2电极(4)，第1电极(3)以及所述第2电极(4)彼此为相邻的电极，在将压电层(2)的厚度设为d，将第1电极(3)和第2电极(4)的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。
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公开(公告)号：CN113785489A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202080027974.2
申请日：2020-04-10
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明提供一种不易产生机电耦合系数的劣化、Q特性的劣化的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电膜(4)，直接或间接地层叠在支承基板(2)上；以及IDT电极(5)，设置在压电膜(4)上，IDT电极(5)具有在弹性波传播方向上观察时第1电极指(5a)和第2电极指(5b)相互重叠的交叉区域(C)，交叉区域(C)具有：中央区域(t)，位于第1电极指(5a)、第2电极指(5b)延伸的方向上的中央；以及第1边缘区域(e1)、第2边缘区域(e2)，配置在中央区域(t)的外侧，第1边缘区域(e1)、第2边缘区域(e2)中的声速比中央区域(t)中的声速低，在压电膜(4)中，中央区域(t)中的压电膜(4)的厚度Ht和第1边缘区域(e1)、第2边缘区域(e2)中的压电膜(4)的厚度He不同，在将由IDT电极(5)的电极指间距决定的波长设为λ时，Ht以及He中的至少一者为1λ以下。
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公开(公告)号：CN113366763A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080009175.2
申请日：2020-01-29
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
IPC: H03H9/17
Abstract: 本发明提供一种能够谋求对泄漏模式的传播的抑制的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，在基板(2)的第1主面(2a)侧设置有用于构成声反射器的空腔，在空腔上层叠第1电极(3)、压电薄膜(4)以及第2电极(5)而构成激励部(Y)，在第1引出电极(6)以及第2引出电极(7)中的至少一者中，在激励部(Y)的边(12a)的法线方向(B1)上设置有周期性的图案(11)。
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公开(公告)号：CN119731939A
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202380059959.X
申请日：2023-08-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供弹性波装置，能够推进滤波器装置的小型化并且能够扩宽通带的带宽。本发明涉及的弹性波装置（10）具备：压电膜，包括压电层（14）；第1梳形电极（17），设置在压电层（14）上，具有第1汇流条（22）和一端分别连接于第1汇流条（22）的多个第1电极指（25），连接于输入电位；第2梳形电极（18），设置在压电层（14）上，具有第2汇流条（23）和一端分别连接于第2汇流条（23）的多个第2电极指（26），连接于输出电位，多个第2电极指（26）与多个第1电极指（25）相互交错对插；和第3电极（19），具有多个第3电极指（27）和将相邻的第3电极指（27）彼此连接的第3汇流条（24），连接于与第1梳形电极（17）以及第2梳形电极（18）不同的电位，多个第3电极指（27）分别设置在压电层（14）上，使得在俯视时，在第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列的方向上，与第1电极指（25）以及第2电极指（26）排列。在配置于相互最近的位置的第1电极指（25）以及第2电极指（26）之间，配置有第3电极指（27）。在将与第1电极指（25）、第2电极指（26）以及第3电极指（27）延伸的方向正交的方向设为电极指正交方向时，多个第1电极指（25）、多个第2电极指（26）以及多个第3电极指（27）之中至少1种电极指包括在电极指正交方向上连续配置两根以上的连续电极指。
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