公开(公告)号：CN106206707B

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201510296856.2

申请日：2015-06-03

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 洪洪 ,  矶部康裕 ,  大麻浩平 ,  吉冈启

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/205

Abstract: 根据一个实施方式，半导体装置包括：第1半导体层，设置在基板上；第2半导体层，设置在第1半导体层上，包含n型杂质；第3半导体层，设置在第2半导体层上，电阻比第2半导体层大；第4半导体层，设置在第3半导体层上，包含氮化物半导体；以及第5半导体层，设置在第4半导体层上，包含带隙比第4半导体层大的氮化物半导体。

公开(公告)号：CN106531790A

公开(公告)日：2017-03-22

申请号：CN201610064455.9

申请日：2016-01-29

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 吉冈启 ,  洪洪 ,  矶部康裕

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/205

CPC classification number: H01L29/2003 ,  H01L29/1079 ,  H01L29/207 ,  H01L29/7786 ,  H01L29/778 ,  H01L29/205

Abstract: 根据实施方式，半导体装置具备第一氮化物半导体层与第二氮化物半导体层交替积层而成的第一积层型氮化物半导体层、第三氮化物半导体层、第四氮化物半导体层、漏极电极、源极电极、及栅极电极。第一氮化物半导体层包含含有碳的氮化镓。第二氮化物半导体层包含氮化铝铟。第三氮化物半导体层设置在第一积层型氮化物半导体层之上，且包含氮化镓。第四氮化物半导体层设置在第三氮化物半导体层之上，且包含氮化铝镓。漏极电极与源极电极设置在第四氮化物半导体层之上。栅极电极隔在漏极电极与源极电极之间。

公开(公告)号：CN106206708A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201510297232.2

申请日：2015-06-03

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 洪洪 ,  矶部康裕 ,  大麻浩平 ,  吉冈启

IPC: H01L29/778 ,  H01L29/12

CPC classification number: H01L27/0605 ,  H01L21/8252 ,  H01L27/0688 ,  H01L29/1075 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/207 ,  H01L29/7786 ,  H01L29/861

Abstract: 根据一个实施方式，半导体装置(1)包括：第1半导体层(11)，设置在基板上；第2半导体层p型杂质的氮化物半导体；第3半导体层(13)，设置在第2半导体层(12)上，包含非掺杂的氮化物半导体；第4半导体层(15)，设置在第3半导体层(13)上，包含氮化物半导体；以及第5半导体层(16)，设置在第4半导体层(15)上，包含带隙比第4半导体层(15)大的氮化物半导体。(12)，设置在第1半导体层(11)上，包含掺杂有