-
公开(公告)号：CN109983148B
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：CN201680091048.5
申请日：2016-11-25
Applicant: 夏普株式会社
IPC: C23C14/04
Abstract: 在载置在蒸镀装置(1)的基板托盘(20)上的被蒸镀基板(30)的被蒸镀面(30a)上，在与扫描方向平行的方向上隔开间隔地排列有蒸镀蒸镀颗粒(40)的显示区域(31)，基板托盘(20)具有遮蔽部(22)，其对在与扫描方向平行的方向上与显示区域(31)相邻的区域(30c)进行遮蔽，使该区域(30c)不会被蒸镀蒸镀颗粒(40)。从而，即使进行扫描蒸镀，也能够防止被蒸镀基板的设计上的自由度受到限制。
-
公开(公告)号：CN106795618B
公开(公告)日：2019-08-27
申请号：CN201580055805.9
申请日：2015-10-15
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 在掩模基板(2)上，磁性体部(4)将掩模基板(2)的Y开口部列(31)间和X开口部列(32)间分别进行划分，并且将X开口部列(32)间进行划分的磁性体部(4)中，位于在Y方向相邻的开口部(3)之间的部分的厚度比位于相互相邻的Y开口部列(31)间的部分的厚度更薄。
-
公开(公告)号：CN107532276A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680022605.8
申请日：2016-04-15
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/225 , C23C14/24 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/50 , H01L51/56 , H05B33/10
Abstract: 蒸镀装置(1)包括：蒸镀源(30)；具有多个掩模开口(12)的蒸镀掩模(10)；和具有多个限制板(22)的限制板单元(20)，在限制板单元的与X轴方向平行的截面中，限制板之间的限制板开口(23)与被成膜基板(200)的被成膜区域(202)一对一地相对，并且防止入射角小于阴影临界角的蒸镀颗粒(310)向掩模开口入射。
-
公开(公告)号：CN105473757B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201480044817.7
申请日：2014-07-25
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/5012 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供能够防止由蒸镀流的散射引起的异常成膜的发生的蒸镀装置、和利用该蒸镀装置形成薄膜图案的有机电致发光元件的制造方法。本发明为一种蒸镀装置，其包括：具有射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该喷嘴的前方具有开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模。本发明还为一种有机电致发光元件的制造方法，其包括使用该蒸镀装置形成薄膜的图案的蒸镀工序。
-
公开(公告)号：CN107208250A
公开(公告)日：2017-09-26
申请号：CN201580072291.8
申请日：2015-12-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C16/042 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 具有掩膜部(3)与掩膜框(4)，且掩膜部(3)具备含有铁及镍的合金的蒸镀掩膜(2)的制造方法，所述制造方法包含对掩膜部(3)施加张力以将掩膜部(3)的端部固定于掩膜框(4)的状态下，对掩膜部(3)进行热处理的热处理工序。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106795618A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580055805.9
申请日：2015-10-15
Applicant: 夏普株式会社
Abstract: 在掩模基板(2)上，磁性体部(4)将掩模基板(2)的Y开口部列(31)间和X开口部列(32)间分别进行划分，并且将X开口部列(32)间进行划分的磁性体部(4)中，位于在Y方向相邻的开口部(3)之间的部分的厚度比位于相互相邻的Y开口部列(31)间的部分的厚度更薄。
-
公开(公告)号：CN105283576B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201480033438.8
申请日：2014-03-10
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/044 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C16/042 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42)，在X轴方向，相对于每1块第一限制板(32)设置有至少2块第二限制板(42)。(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在
-
公开(公告)号：CN104968827B
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201480007204.6
申请日：2014-01-28
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C16/042 , C23C14/04 , C23C14/12 , H01L51/001 , H01L51/50
Abstract: 蒸镀装置(50)包括Y轴和X轴方向的长度比被成膜基板(200)短的多个蒸镀掩模(80)，在Y轴方向上相邻的蒸镀掩模(80)在X轴方向上错开地配置，在Y轴方向上相邻的各掩模开口组区域面视图中Y轴方向的开口长度随着向各掩模开口组区域(82)的外侧去而逐渐变短。(82)在X轴方向上重叠的重叠区域(83)中，在平
-
公开(公告)号：CN105473757A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480044817.7
申请日：2014-07-25
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/042 , H01L27/3211 , H01L51/0011 , H01L51/5012 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供能够防止由蒸镀流的散射引起的异常成膜的发生的蒸镀装置、和利用该蒸镀装置形成薄膜图案的有机电致发光元件的制造方法。本发明为一种蒸镀装置，其包括：具有射出蒸镀颗粒的喷嘴的蒸镀源；一体化限制板，该一体化限制板具有在该喷嘴的前方具有开口部的第一限制板、和配置在该第一限制板的开口部内的多个第二限制板；和具有多个缝隙的掩模。本发明还为一种有机电致发光元件的制造方法，其包括使用该蒸镀装置形成薄膜的图案的蒸镀工序。
-
公开(公告)号：CN105324511A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201480035328.5
申请日：2014-05-01
Applicant: 夏普株式会社
CPC classification number: H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/24 , H01L27/3244 , H01L51/5012
Abstract: 本发明提供能够抑制模糊宽度增大并且缩短成膜时间的有机EL元件的制造方法和有机EL显示装置。本发明是使用扫描蒸镀法的有机EL元件的制造方法，其特征在于，以与限制板的各开口部相对的方式在蒸镀源设置多个射出口，将与同一开口部相对的多个射出口相互分离地配置，使得由下述式(1)表示的分布之和为1以下。Ri表示与同一开口部相对的多个射出口中的射出口i的最大成膜速率，i表示1以上m以下的整数，m表示与同一开口部相对的多个射出口的个数，ri表示蒸镀工序中的射出口i的实际的成膜速率，ni为射出口i的n值(0以上的数)，θi表示将射出口i与成膜区域内的任意点连结的线段与主成膜方向所成的角。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
71
records
(took 0.108 seconds)
