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公开(公告)号：CN103047514B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210574121.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/023 , F16F15/02 , F16M11/04 , F16M11/18
Abstract: 基于气浮零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间水平位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由气浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103075619B
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201210574136.4
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于气磁零位基准和激光自准直测量的磁浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压磁浮结构的隔振器支撑磁浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103047352B
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201210575182.6
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可具有极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103791826A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052258.6
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电容传感测量的航空发动机转子电驱动装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103791821A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052238.9
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于径向误差与轴向倾斜的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于气磁结合回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103790645A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052040.0
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于同心度与垂直度评定与优化的航空发动机转子装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据光栅尺确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103075618A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210574056.9
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于气磁零位基准和激光自准直测量的气浮隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气浮结构的隔振器支撑气浮隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由气磁式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103062308A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210575185.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN102878938A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210385258.9
申请日：2012-09-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于衍射光栅的光学读数头属于微纳米测量技术，包括激光器、隔离器、偏振分光棱镜、反射镜、1/4波片、衍射光栅、光阑、四象限光电二极管传感器，其激光器发出线偏振激光光束经隔离器由偏振分光棱镜分为P偏振光和S偏振光，由反射镜分别将两路光反射到光栅表面进行两次衍射后，按原路返回至分光棱镜出射，经1/4波片被四象限光电二极管传感器接收，经放大转化电路处理后得到四路相差90°的正弦信号用于后续处理，得到被测物的位移信息；本读数头结构简单，调整方便，光路系统易于复现，利于系统的集成化和小型化，提高了系统的分辨力和稳定性。
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公开(公告)号：CN119915445A
公开(公告)日：2025-05-02
申请号：CN202411847333.8
申请日：2024-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出一种基于线性声学阵列的远近场壁板泄漏源全场定位方法，属于高精度定位领域，解决壁板结构泄漏源定位方案需要较多的传感器阵列，实际使用不便，且保证定位算法精度需要的计算量大，不利于进行实时监测的问题，包括：步骤1：根据被检测壁板结构和材料确定频散曲线，提取信号主频率，根据阵列结构和选定的两个子阵列确定角度阈值；步骤2：计算两个子阵列的定位结果差值，将定位结果差值和阈值对比；步骤3：若定位结果差值不大于阈值，则进行远场定位，利用全阵列完成远场定位并输出远场定位结果；步骤4：若定位结果差值小于阈值，则进行近场定位，采用改进的2Dmusic算法对全阵列信号进行处理得到近场定位结果。
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