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公开(公告)号：CN103296862B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201310012685.7
申请日：2013-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种具有超导磁悬浮结构的长行程磁浮平面电机，利用超导材料的特有性能，解决了现有磁悬浮长行程平面电机承载力低、悬浮力和驱动力交叉耦合等问题。电机由定子和动子组成，定子包括基台和二维永磁阵列，动子包括平台、常导线圈组和超导线圈组。所述平面电机的悬浮力由位于动子平台底部的八组超导线圈组提供，每角有两组超导线圈组，四角分布有四组外围超导线圈组和四组内围超导线圈组，每个超导线圈组由四个独立无铁芯超导线圈组成；所述平面电机的驱动力由位于动子平台底部四边的常导线圈组提供。与传统的磁悬浮长行程平面电机相比，本发明提出的平面电机具有高承载力、悬浮力与驱动力完全解耦、控制简单的优点。
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公开(公告)号：CN103277409B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201310012681.9
申请日：2013-01-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/04
CPC classification number: F16C32/0472
Abstract: 本发明公开了一种新型电磁铁分布的五自由度磁浮导轨，其包括导轨、悬浮平台、设于悬浮平台上的多块电磁铁、及用于检测悬浮平台各方向运动状态的气隙检测位移传感器组。多块电磁铁成对且两两相对地设置在悬浮平台上，每组电磁铁对的励磁均采用差动控制模式，以提供平稳的悬浮力和导向力。各电磁铁的工作磁路所在的平面分别与悬浮平台的运行方向平行；处于悬浮平台一角的三个电磁铁的绕组电流方向相同。本发明利用电磁铁产生的电磁吸力实现悬浮平台的五自由度悬浮，解决了电磁铁之间的磁场耦合问题，磁悬浮平台具有无接触、无润滑、长行程、高精度、高速度和可调动静态刚度等优点，适合高档数控机床和光刻机等要求超洁净、高精密等性能的直线进给设备。
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公开(公告)号：CN117543934B
公开(公告)日：2024-12-31
申请号：CN202311488554.6
申请日：2023-11-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02M1/00 , H02M1/12 , H02M7/483 , H02M7/5387
Abstract: 一种降低交流侧共模电压的三相两电平逆变器矢量调制方法，属于电力电子矢量调制技术领域。本发明针对三相两电平逆变器的传统调制策略会产生高频、高幅值的共模电压的问题。包括：在I、III、V扇区采用U1、U3和U5三个电压矢量合成参考电压矢量，在II、IV、VI扇区采用U2、U4和U6三个电压矢量合成参考电压矢量；调整一个载波周期内三个电压矢量的作用发送顺序，使逆变器三相桥臂开关管在一个载波周期内均进行两次切换动作；计算所在扇区内三个电压矢量的作用时间；预测每一个电压矢量结束或起始时刻对应的三相电流实际值，进行基于时间脉冲宽度的死区补偿。本发明用于三相两电平逆变器的矢量调制。
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公开(公告)号：CN119093731A
公开(公告)日：2024-12-06
申请号：CN202411191151.X
申请日：2024-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于谐振辅助换流技术的高精度功率放大器及参数设计方法，属于功率放大器技术领域。本发明针对现有PWM调制的开关功放，存在电流过零畸变和死区效应的问题而提出。功率放大器包括电容C1、电容C2、四个MOSFET开关管S1、S2、S3、S4、辅助电感Ld1、辅助电感Ld2、滤波电感Lo和滤波电容Co，开关管S1、S2、S3、S4形成两个桥臂与电容C1和电容C2形成的支路并联；在两个桥臂之间串联辅助电感Ld1和辅助电感Ld2；将辅助电感Ld1和辅助电感Ld2之间的连接点作为C点，在C点与电容C1和电容C2的连接点之间依次串联滤波电感Lo和滤波电容Co；负载R与滤波电容Co并联。本发明可实现功率放大器全负载范围软开关。
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公开(公告)号：CN117811447B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202311830213.2
申请日：2023-12-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于直线导轨的观测器带宽自适应摩擦力补偿方法，属于直线电机摩擦力补偿技术领域。本发明针对直线电机启动阶段和定位阶段由摩擦力造成的位置峰值位置误差大的问题。包括：基于已有摩擦力LuGre模型，根据预滑动区域动子速度趋于0的特性，提出了一种简化的鬃毛平均形变量计算公式，进而计算得到摩擦力前馈值和观测器的带宽自适应变化律；在直线电机运行过程中，采用摩擦力前馈值进行摩擦力前馈补偿，再采用观测器对经过前馈补偿的剩余摩擦力进行快速补偿，所述观测器带宽根据提出的简化鬃毛平均形变量计算公式的中间状态进行自适应调节。本发明用于直线电机的摩擦力补偿。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115967309B
公开(公告)日：2024-10-01
申请号：CN202211626824.0
申请日：2022-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于独立绕组结构的动磁式多相永磁同步直线电机，明涉及一种直线电机，为了解决现有的直线电机推力波动率较大的问题。本发明采用的绕组形式为独立绕组；独立绕组电机采用集中绕组的形式，并且将所有线圈的进出端均引出，每个线圈连接一个单独的驱动器，这种电机本体结构形式实现每一个线圈的独立控制，摆脱了传统三相的通电逻辑，对同一极槽配合的电机，采用多相控制，多相直线电机中不同相中通入不同的电流，并且通入的电流采用独立的方式进行控制。本发明的有益效果为明显的降低了推力波动以及推力波动率，解决了直线电机推力波动率较大的问题。
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公开(公告)号：CN117544058A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202311514148.2
申请日：2023-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P25/06 , H02P23/12 , H02P23/14 , H02P23/04 , H02P25/034
Abstract: 一种抑制宏微直线运动平台耦合干扰的线性自抗扰控制方法，它属于电机控制领域。本发明解决了现有耦合干扰抑制方法的控制律设计过程繁琐，且解耦效果不佳的问题。本发明采取的主要技术方案为：步骤一、建立宏微直线运动平台的力学方程；步骤二、对建立的力学方程进行拉普拉斯变换，得到宏微直线运动平台的等效耦合模型；步骤三、建立直线电机和音圈电机的空间方程，基于直线电机的空间方程和扩张状态观测器估计宏动台的状态变量和耦合误差，基于音圈电机的空间方程和扩张状态观测器估计微动台的状态变量和耦合误差；并根据估计的状态变量和耦合误差设计线性状态误差反馈控制律。本发明方法可以用于对宏微直线运动平台的耦合干扰进行抑制。
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公开(公告)号：CN115995934B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202310169382.X
申请日：2023-02-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02K41/03 , H02K1/2793 , H02P23/04 , H02P25/064
Abstract: 一种独立绕组多动子直线电机及其推力波动抑制方法，涉及一种直线电机的推力波动抑制方法，为了解决直线电机推力波动大的问题。本发明中相邻的两个动子单元之间通过非金属连接件连接；相邻的两个动子单元之间的距离为：mτs+L；同时位于第一个动子单元正下方耦合的独立绕组采用的三相模式工作，而位于第x个动子单元正下方耦合的对应独立绕组通电相位在三相模式工作的基础上对应引入一个相位差；该相位差为：(x‑1)πL/3τ；其中，x＝2，3，…,m。有益效果为降低了直线电机的推力波动。
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公开(公告)号：CN116418255A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111659471.X
申请日：2021-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种光刻机系统及其驱动控制方法，光刻机系统包括永磁直线电机运动平台、多个永磁直线电机以及多个位置传感器；驱动控制方法包括：在所述运动平台工作时，检测得到所述永磁直线电机的电磁参数，所述永磁直线电机的电磁参数至少包括电机位置信号和电机速度信号；若所述永磁直线电机的电磁参数不满足预设电机运行规则，确定所述永磁直线电机位置工作状态异常，并将所述永磁直线电机的工作模式切换为备用控制模式。本发明实施例，解决了位置传感器失效时导致永磁直线电机异常飞车问题，提高了系统稳定性。
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公开(公告)号：CN115967309A
公开(公告)日：2023-04-14
申请号：CN202211626824.0
申请日：2022-12-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于独立绕组结构的动磁式多相永磁同步直线电机，明涉及一种直线电机，为了解决现有的直线电机推力波动率较大的问题。本发明采用的绕组形式为独立绕组；独立绕组电机采用集中绕组的形式，并且将所有线圈的进出端均引出，每个线圈连接一个单独的驱动器，这种电机本体结构形式实现每一个线圈的独立控制，摆脱了传统三相的通电逻辑，对同一极槽配合的电机，采用多相控制，多相直线电机中不同相中通入不同的电流，并且通入的电流采用独立的方式进行控制。本发明的有益效果为明显的降低了推力波动以及推力波动率，解决了直线电机推力波动率较大的问题。
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