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公开(公告)号：CN103344198B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201310316915.9
申请日：2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测领域。解决了传统时域移相干涉测量装置存在单次测量检测范围过小和测量精度低的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、直角反射镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、角锥棱镜、移相器、光纤耦合镜、单模光纤和光纤准直镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、偏振片、面阵CCD和计算机，通过计算机控制移相器使面阵CCD获得四幅干涉图样，计算机通过干涉图样获得干涉图像间的定位关系，从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差，进而求出光程差，实现球面形貌测量。本发明适用于微小球面表面轮廓检测。
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公开(公告)号：CN105091740A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201510443527.6
申请日：2015-07-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种基于标定高分辨率频率扫描干涉仪色散啁啾斜率补偿色散的方法，本发明涉及基于标定高分辨率频率扫描干涉仪色散啁啾斜率补偿色散的方法。本发明的目的是为了解决现有激光频率扫描干涉仪测量分辨率低的问题。通过以下技术方案实现的：步骤一、求解外腔调频激光器发出的光经过辅助干涉光路长臂后的时域信号和外腔调频激光器发出的光经过辅助干涉光路短臂后，在光纤色散效应条件下形成的拍频；步骤二、根据步骤一中得到的拍频，对被测目标进行采样，求解被测目标的测量信号；步骤三、根据步骤二中得到的被测目标的测量信号，求解色散啁啾补偿斜率。本发明应用于高分辨率频率扫描领域。
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公开(公告)号：CN102829715B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210299780.5
申请日：2012-08-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/04
Abstract: 一种基于折返式的大口径长工作距自准直显微监测仪，涉及一种大口径长工作距自准直显微监测仪。它是为了解决现有的显微测量仪的测量距离短、监测系统的显微分辨率较低、监测视场较窄的问题。光源出射的光经分划板、二号分光镜、二号反射镜、一号分光镜后入射至待测目标，经待测目标反射后的光束沿原光路返回，返回光路在分光镜出分出透射光并入射至准直CCD；经待测目标反射后光束还先后经过一号发射镜、主物镜后由一号分光镜分成反射光和透射光，透射光入射至小视场CCD；反射光先后经一号次物镜、三号反射镜、二号次物镜和大视场CCD后入射至大视场CCD。本发明适用于显微监测。
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公开(公告)号：CN103151703B
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201310050542.5
申请日：2013-02-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: Littrow结构可调谐外腔式激光器及其无跳模扫频调节方法，属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littrow结构外腔式激光器无法实现大范围无跳模调谐的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器和闪耀光栅；方法为使半导体激光器发射的激光束经过液晶空间光调制器后入射在闪耀光栅上，经闪耀光栅后原路返回的一级衍射光在所述可调谐外腔式激光器的内腔和外腔之间形成谐振，最后由闪耀光栅的零级出射；绕轴点O旋转闪耀光栅，并同时改变液晶空间光调制器的电压使液晶空间光调制器的折射率，在旋转闪耀光栅调谐的过程中，从而实现所述可调谐外腔式激光器的无跳模扫频调节。本发明适用于激光器的调节。
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公开(公告)号：CN103344198A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310316915.9
申请日：2013-07-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种用于微小球面表面轮廓检测的倍程式移相衍射干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测领域。解决了传统时域移相干涉测量装置存在单次测量检测范围过小和测量精度低的问题。它包括短相干激光器、空间滤波器、分光棱镜、直角反射镜、偏振分光棱镜、λ/4波片、4f扩束系统、显微物镜、平面反射镜、角锥棱镜、移相器、光纤耦合镜、单模光纤和光纤准直镜、λ/2波片、偏振分光棱镜、偏振片、面阵CCD和计算机，通过计算机控制移相器使面阵CCD获得四幅干涉图样，计算机通过干涉图样获得干涉图像间的定位关系，从而求解出干涉场内每一像素点对应的初始相位差，进而求出光程差，实现球面形貌测量。本发明适用于微小球面表面轮廓检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103196361A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310063729.9
申请日：2013-02-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于微球表面形貌快速检测的短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法，涉及光学检测空间物体三维形貌的领域。本发明解决了现有同类技术检测效率低、横向分辨能力差、孤立缺陷点容易遗漏、参考面制造困难且精度低等问题。干涉测量仪中，参考光经单模光纤传递给光纤准直器，准直后形成入射参考光束；测量光束经多次反射后形成与入射参考光束垂直的入射测量光束，入射参考光束和入射测量光束入射第三偏振分光棱镜后合束，依次经第四、第五偏振分光棱镜分成四束平行光束，四束平行光束经波片阵列分别加入不同的移相量后在面阵CCD上形成四个光斑。本测量方法是通过对四个光斑进行图像处理获得被测微球的球面形貌。本发明适用于微球表面形貌的快速检测。
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公开(公告)号：CN103091681A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310050971.2
申请日：2013-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于重反射技术的调频连续波干涉仪，属于光学领域。本发明为解决现有采用线性调频激光干涉技术的干涉仪不能达到很高的精度问题。它的调频激光器输出的激光束经准直透镜准直后输出准直平行光束，并入射至分光棱镜，经分光棱镜反射的光束入射至第一角锥棱镜，再返回入射至分光棱镜，再透射出去形成参考光束，该参考光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上；经分光棱镜透射的光束入射至第二角锥棱镜；第二角锥棱镜反射后形成的向上偏移光束入射至第三角锥棱镜，经第三角锥棱镜、第二角锥棱镜和分光棱镜依次反射后形成测量光束，该测量光束经聚焦透镜汇聚在点探测器的光敏面上。本发明作为一种干涉仪。
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公开(公告)号：CN102564354A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201110448242.3
申请日：2011-12-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于慢光材料的双频激光干涉仪的角度测量装置及测量方法，涉及一种双频激光干涉仪的角度测量装置及测量方法。它是为了解决现有的双频激光干涉仪的角度测量装置的角度探测灵敏度较低的问题。双频激光经偏振分光镜按偏振方向分为频率为的偏振光和频率为的偏振光，频率为的偏振光入射至一号角锥棱镜，并经一号角锥棱镜反射回偏振分光镜；频率为的偏振光经普通角反射镜、慢光材料、二号角锥棱镜反射回慢光材料，经慢光材料和普通角反射镜反射至偏振分光镜，并与经一号角锥棱镜反射回来的偏振光在偏振分光镜处会聚，形成拍频，会聚光经减偏器透射后入射至光电探测器的光探测面。本发明适用于电磁感应透明技术和光谱烧孔技术。
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公开(公告)号：CN101710016B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200910073363.7
申请日：2009-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M1/12
Abstract: 光电式双刀口支承静平衡测量仪及测量方法，涉及一体化的静平衡测量技术领域，克服了现有技术的静平衡测量方法测量精度低、操作不便和难以实现自动化的缺陷，包括三个升降机构、三个支柱、底座、外刀承座、一对内刀承座、一对粗刀口、一对细刀口、支承、托架体、测量反射镜和光电准直光管，将被测转子放置在托架体的支承上，利用光电准直光管接收到的测量反射镜的发射光，对被测转子的质量不平衡量进行粗测；再对被测转子的质量不平衡量进行精测。本发明是一种非接触的光电测量技术，测量精度高、测量范围较大、使用安全可靠、操作方便、使用寿命长、智能化水平高，有利于提高测量自动化水平，适用于对转子不平衡量进行测量和校正的各领域。
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公开(公告)号：CN100485313C
公开(公告)日：2009-05-06
申请号：CN200710071972.X
申请日：2007-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 用于空间物体三维检测与定位的光电式自准直显微测量仪，它涉及的是光学检测空间物体位置的技术领域。它是为了解决对现有检测空间物体进行三维精密定位设备，存在光学系统结构复杂、传感器数量多、检测精度低、检测速度慢的问题。它的第一分光棱镜(2)、第二分光棱镜(3)、辅助物镜(5)、精测CCD(6)都依次排列在主物镜(1)右侧光轴轴线上，第三分光棱镜(7)、准直CCD(8)都依次排列在第一分光棱镜(2)反射光的光轴轴线上，分划板(9)、聚光镜(10)、光源(11)都排列在第三分光棱镜(7)反射光的光轴轴线上，大范围监测CCD(4)的光敏面面向第二分光棱镜(3)的反射光轴。本发明能对空间物体的三维坐标进行测量，它具有测量速度快、测量精度高的优点，定位精度优于10微米。
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