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公开(公告)号：CN115875366A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202310072871.3
申请日：2023-01-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种气雾润滑超精密气体静压轴承，属于超精密加工装备技术领域。用于解决气体静压轴承以气体作为润滑剂容易出现轴承抱死的现象以及容易出现锈蚀的现象。气体静压轴承本体内开设有气道，油雾润滑系统与气体静压轴承本体的气道连通，压缩空气通过油雾润滑系统产生油雾状压缩空气，再通过气道通入气体静压主轴中，为气体静压主轴提供润滑剂。由于压缩空气中油雾的存在可以减小气体静压轴承的气隙厚度，增加气体静压轴承挤压模阻尼，但由于油雾的不连续，不显著增加轴承发热，大大提高了气浮轴承在工作时的稳定性，由于压缩空气中油雾的存在，可以防止气体静压轴承出现抱死的现象，可以防止轴承各零部件的锈蚀。
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公开(公告)号：CN115596767A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211219452.X
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学(CN)
Abstract: 一种带有磁流体阻尼器的气体静压转台，属于超精密装备制造技术领域。为了提高气体静压转台的抗干扰能力。所述轴套上设置有气路总成，所述气路总成供气后，使上辐板下表面与轴套的上表面之间形成了上止推轴承，所述轴套的下表面与下辐板的上表面之间形成了下止推轴承，所述轴套内圆柱表面与主轴转子的外圆柱表面形成了径向轴承。本发明通过在下部增添磁流变阻尼器从而达到了对所设计气体静压转台的阻尼可控，可使转台实现快速启动与停止、高速旋转以及配合位置反馈元件实现超高精度定位等多种优良功能，大大提高了整体气体静压转台的抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN115586707A
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202211215632.0
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子、轴套和底座，轴套固定在底座上，主轴转子包括平台和设置在平台下表面中部的半球结构，轴套的上表面中部设置有容纳半球结构的凹槽Ⅰ，半球结构与凹槽Ⅰ形成半球轴承，轴套的上表面与平台的下表面形成止推轴承，从而形成一开式气浮轴承结构，配合表面节流的形式，使得本发明整体结构简单，加工制造方便，容易达到较高的精度。通过调节主轴转子及其负载的重力配合调节真空气路中的真空度来对气浮轴承施加一定预载，使得两个轴承面在气膜间隙合适的情况下达到一个最优刚度与承载的匹配，并具有较好的鲁棒性。
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公开(公告)号：CN115539511A
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN202211229764.9
申请日：2022-10-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明属于静压滑动轴承领域，具体方案如下：一种带有人字槽微结构的多孔质气体静压轴承，包括轴套、转子芯轴、上止推板和下止推板，轴套套设在转子芯轴上，上止推板和下止推板分别位于轴套的上方和下方并均固定在转子芯轴上，轴套的内侧壁上设置有径向多孔质材料，轴套的上表面和下表面均设置有止推多孔质材料，转子芯轴的侧壁上、上止推板的下表面和下止推板的上表面均均布设置有若干个人字槽结构，轴套上设置有供气管道和泄气管道，供气管道通至径向多孔质材料和止推多孔质材料，泄气管道通至转子芯轴、上止推板和下止推板的表面。本发明的多孔质气体静压轴承承载力更大、刚度更高、高转速下动态性能更好。
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公开(公告)号：CN115431047A
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202211261158.5
申请日：2022-10-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种复合式超精密加工机床，所述机床包括X轴组件、C轴组件、Z1轴组件、Z2轴组件、B轴组件、C轴组件、机床基座以及隔振支承部件，其中：所述机床基座布置在隔振支承部件上；所述机床基座上设置有X轴组件、Z1轴组件以及Z2轴组件；所述Z1轴与Z2轴平行布置，与X轴垂直；所述C轴安装在X轴上，呈卧式布置；所述B轴安装在Z1轴上，呈立式布置。该超精密加工机床整体结构较为紧凑，通过不同轴之间的联动可实现多种形式的加工，在大大减小制造成本的同时大大增加了其应用范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111577764B
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202010421847.2
申请日：2020-05-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 为了提供一种结构简单、加工方便、稳定性好、回转精度高的流体静压轴承，本发明记载一种流体静压轴承，包括主轴和轴套，主轴为中部设置有环状凸缘的圆柱状结构，轴套为中部设置有环状凹槽的圆柱筒状结构，轴套套设在主轴上，环状凸缘位于环状凹槽内部，位于环状凸缘上方的圆柱状结构与轴套之间设置有环形孔缝Ⅰ，位于环状凸缘下方的圆柱状结构与轴套之间设置有环形孔缝Ⅱ，环状凸缘的上表面与轴套之间设置有环形孔缝Ⅲ，所述环状凸缘的下表面与轴套之间设置有环形孔缝Ⅳ，环形孔缝Ⅰ、环形孔缝Ⅱ、环形孔缝Ⅲ和环形孔缝Ⅳ的纵剖面均呈阶梯状结构。本发明零件数量少，加工简单，装配方便，无需额外安装节流器，工作时更加稳定，可靠度更高。
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公开(公告)号：CN106563971A
公开(公告)日：2017-04-19
申请号：CN201610988400.7
申请日：2016-11-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23Q17/00
CPC classification number: B23Q17/007 , B23Q17/00
Abstract: 本发明公开了一种液体静压导轨油腔压力分布的检测装置，所述检测装置包括导轨底座、导轨侧板、进油通道、油腔模块、压力传感器、溜板、导轨压板、压力测量通道，其中：所述导轨侧板、导轨压板和导轨底座构成导轨，导轨侧板固定安装在导轨底座上，导轨压板固定安装在导轨侧板上，在导轨侧板、导轨压板以及导轨底座上打孔作为压力测量通道；所述压力传感器安装在压力测量通道的出油口处；所述油腔模块和溜板构成导轨运动件，油腔模块设置在导轨内，溜板固定安装在油腔模块上，溜板侧面开有进油通道，进油通道与油腔模块的油路相通。本发明通过在液体静压导轨上布置油腔压力测试点，有效地解决了液体静压导轨油腔内压力分布的检测问题。
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公开(公告)号：CN115586707B
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202211215632.0
申请日：2022-09-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，属于超精密加工装备领域，具体方案如下：一种高回转精度的开式平面静压气浮转台，包括主轴转子、轴套和底座，轴套固定在底座上，主轴转子包括平台和设置在平台下表面中部的半球结构，轴套的上表面中部设置有容纳半球结构的凹槽Ⅰ，半球结构与凹槽Ⅰ形成半球轴承，轴套的上表面与平台的下表面形成止推轴承，从而形成一开式气浮轴承结构，配合表面节流的形式，使得本发明整体结构简单，加工制造方便，容易达到较高的精度。通过调节主轴转子及其负载的重力配合调节真空气路中的真空度来对气浮轴承施加一定预载，使得两个轴承面在气膜间隙合适的情况下达到一个最优刚度与承载的匹配，并具有较好的鲁棒性。
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公开(公告)号：CN116079083B
公开(公告)日：2024-11-26
申请号：CN202310161188.7
申请日：2023-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于六轴的柱面菲涅尔超精密加工辊筒设备，属于超精密加工技术领域。辊筒模具安装在辊筒机床上，刀具组件设置在辊筒模具下方，且刀具组件安装在串联双转台上，串联双转台通过XYZ轴位移台安装在辊筒机床上。本发明利用辊筒机床在大尺寸辊筒模具上加工柱面菲涅尔，充分发挥柱面菲涅尔的大尺寸优势，改进了柱面菲涅尔仿形加工方法，去除了用于调整刀具的手动位移台，保证机床整体刚度；同时主轴C轴采用气体静压主轴，将刚度和承载两者进行耦合从而使气浮主轴具有极高的回转精度以及刚度，大大提高其抗干扰能力，X轴和Z轴均为液体静压导轨，低速无爬行，在保证承载力的同时提高了直线运动精度，达到超精密加工要求。
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公开(公告)号：CN116117190B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202310141408.X
申请日：2023-02-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抗低头镗杆系统，属于超精密装备制造技术领域。为了摆脱加工设备和镗杆低头现象对加精密镗削工精度的影响，提高精密镗削的加工精度。配气套内部设有若干气道，并在气道上安装小孔节流器，配气套、小孔节流器和镗杆共同形成气体静压轴承的径向轴承部分，镗杆采用气浮支撑的支撑形式。与传统镗杆系统相比，本发明由于采用分区域供气的方式，配气套在镗杆上圆周区域和轴向区域上分别形成具有不同压力的径向气膜，不需要额外的伺服轴/调整机构，通过电磁调压阀控制不同气膜的压力，即可实现刀高的调整，避免镗杆低头现象的出现，镗杆系统刚度好，抗振性能强。
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