公开(公告)号：CN115508755A

公开(公告)日：2022-12-23

申请号：CN202211275271.9

申请日：2022-10-18

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 穆宜敏 ,  王晓荣 ,  朱文俊 ,  张梦怡 ,  易阳

IPC: G01R33/05

Abstract: 本发明公开了一种表面条栅图案磁芯微型磁通门传感器，包括基底和表面条栅图案磁芯；基底上设有激励线圈和感应线圈；表面条栅图案磁芯设置在激励线圈和感应线圈内部；表面条栅图案磁芯和激励线圈以及表面条栅图案磁芯和感应线圈之间均通过绝缘隔离层实现电隔离；表面条栅图案磁芯包括表面光滑磁性薄膜和多个条栅图案磁性薄膜；表面光滑磁性薄膜为矩形结构或者回字形的跑道结构；条栅图案磁性薄膜为矩形结构。本发明削弱了表面光滑磁性薄膜长度方向的退磁效应，可以显著增强表面条栅图案磁芯长度方向的有效磁导率，从而实现高灵敏度的磁场检测。

公开(公告)号：CN115498100A

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202211274747.7

申请日：2022-10-18

Applicant: 南京工业大学

Inventor： 穆宜敏 ,  王晓荣 ,  朱文俊 ,  张梦怡 ,  张卿

IPC: H01L43/02 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  G01R33/09

Abstract: 本发明提供了一种表面图形磁性薄膜巨磁阻抗磁传感器，包括绝缘基底、两个电极和表面图形磁性薄膜；所述表面图形磁性薄膜包括表面光滑磁性薄膜和多个条栅图案磁性薄膜；表面光滑磁性薄膜设置在基底的顶部；多个条栅图案磁性薄膜等间距地排列在表面光滑磁性薄膜的顶部；表面光滑磁性薄膜和单个条栅图案磁性薄膜均为矩形；条栅图案磁性薄膜的长边垂直于表面光滑磁性薄膜的长边；两个电极对称地连接在表面光滑磁性薄膜的两个宽边上。本发明不仅削弱了表面图形磁性薄膜宽度方向的退磁效应，还利用了上层条栅图案磁性薄膜的形状各向异性，可显著增强表面图形磁性薄膜的巨磁阻抗效应，实现高灵敏度的磁场检测。