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公开(公告)号：CN108284594B
公开(公告)日：2019-05-31
申请号：CN201810293276.1
申请日：2018-03-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/118 , B29C64/245 , B33Y30/00
Abstract: 本发明属于3D打印技术领域，并公开了一种用于高温3D打印的自适应平台。其包括支撑板、平台基板、玻璃板、移动块、轨道板、加热膜和成型板，平台基板与支撑板连接，二者之间设置有弹簧，用于调整平台基板的水平度，玻璃板作为自适应平台的水平基准，移动块分为四块，每块对角线上设置有凸棱，轨道板上设置有与凸棱配合的轨道，凸棱沿轨道运动实现移动块的向外平移展开，成型板与轨道块固定连接，二者之间设置有加热膜，用于加热成型板，成型板受热膨胀后，移动块自适应向外平移展开从而迁移成型板向外延展，避免该成型板局部鼓起变形。通过本发明，实现自适应平台的受热自适应性展开，解决成型板局部内鼓或翘曲问题，提高成型精度。
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公开(公告)号：CN109624322A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811363585.8
申请日：2018-11-16
Applicant: 华中科技大学
IPC: B29C64/245 , B29C64/118 , B33Y30/00
Abstract: 本发明属于3D打印机相关技术领域，其公开了一种成型平台及具有该成型平台的极坐标3D打印机，该平台包括支撑机构、固定平板、弹簧、支撑平板、传动平板及成型基板，该成型基板连接于该传动平板，该传动平板滑动地连接于该支撑平板；该传动平板的表面连接于连接杆的一端，该连接杆的另一端穿过该支撑平板后伸入该支撑机构；该固定平板套设在该支撑机构上；该弹簧的两端分别连接于该固定平板及该支撑平板；通过该弹簧调节该固定平板相对于该支撑机构的安装位置，使该支撑平板的旋转中心轴线与喷头的中心轴平行，进而通过调整双头螺栓使该成型基板的表面与喷头运动平面平行。本发明提高了喷头与成型基板的接触配合度及成型效率，结构简单。
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公开(公告)号：CN109576673A
公开(公告)日：2019-04-05
申请号：CN201811502555.0
申请日：2018-12-10
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , B82Y40/00
Abstract: 本发明属于真空镀膜相关技术领域，并公开了一种用于微纳米颗粒充分分散包覆的超声流化原子层沉积装置，其包括载气及反应前驱体供给组件、反应腔体和超声振动组件，其中载气及反应前驱体供给组件为原子层沉积反应提供全区体反应物、载气和吹扫过程中需要的惰性气体；反应腔体作为原子层沉积反应的发生区域，前驱体进入反应腔体部分在基底表面沉积成膜；超声振动组件用于产生超声振动并传递给反应腔体部分，破解微纳米颗粒之间的软团聚，使颗粒在原子层沉积反应过程中处于分散状态，实现薄膜在单个颗粒表面的生长。通过本发明，能够克服大批量粉体颗粒仅在气流作用下无法完全流化分散的缺点，使纳米颗粒在气流和超声振动作用下获得更充分的分散。
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公开(公告)号：CN108550706A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810326767.1
申请日：2018-04-12
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学材料制备领域，并具体公开了一种量子点光电探测器的制备方法，包括如下步骤：S1制备配体气氛：将有机物配体溶于溶剂中以形成配体溶液，使配体溶液以气体的形式充满整个密闭空间，进而制备获得配体气氛；S2制备量子点气体钝化薄膜：在基底上制备量子点薄膜，并将制备有量子点薄膜的基底放置在步骤S1制备的配体气氛中，以使配体气氛中的有机物配体钝化量子点表面；S3制备量子点光电探测器电极：最后在已钝化的量子点薄膜表面制备电极以制备获得量子点光电探测器。本发明能够大大减少暗电流的产生，且有机配体的钝化更加均匀，有利于光电探测器的大规模生产，节省有机配体。
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公开(公告)号：CN105543807B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201510932643.4
申请日：2015-12-15
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种变温薄膜沉积系统，包括多个沉积装置和基片转移装置，所述多个沉积装置均匀布设在基片转移装置周围；所述多个沉积装置具有基片温度控制机构，用于分别维持基片承载台温度恒温；所述基片转移装置，包括三维移动装置，所述三维移动装置的末端设有保护气体喷头，所述保护气体喷头两侧设有抓取装置，所述抓取装置用于抓取基片承载台。本发明提供的变温薄膜沉积系统能高效高质量的沉积多元物质沉积膜。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107815666A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201711043635.X
申请日：2017-10-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/40 , C23C16/455 , C23C16/50
Abstract: 本发明属于薄膜掺杂相关技术领域，并公开了一种基于等离子体增强原子层沉积的薄膜掺杂改性方法，该方法用于在目标基底的表面上沉积多层氮掺杂氧化铝薄膜，并包括下列步骤：对基底的清洁和抽真空等预处理；加热至预设温度，并执行清洗处理；在保持含氮元素气体的持续载入的条件下，通入多种前驱体来执行多次氮掺杂氧化铝薄膜的沉积反应，直至达到所需的厚度。通过本发明，能够在更为简捷易行、便于控制的掺杂环境及工艺条件下，高效率、高质量地执行整个氧化铝薄膜掺杂改性过程，因而尤其适用于其封装应用之类的场合。
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公开(公告)号：CN105386011B
公开(公告)日：2017-09-22
申请号：CN201510953058.2
申请日：2015-12-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/458 , C23C16/44 , C23C16/442 , C23C16/455
CPC classification number: C23C16/4417 , C23C16/442 , C23C16/45544 , C23C16/45555
Abstract: 本发明公开了一种基于行星流化的粉体原子层沉积装置，包括电机、反应腔、行星架、夹持器和输气管路，其中，电机与行星架相连，行星架上安装有中心轮和若干个行星轮；电机用于带动中心轮和行星轮旋转；夹持器位于反应腔内部，用于承载粉体；该夹持器还与行星轮相连，在行星轮的带动下旋转；输气管路用于向反应腔中输入反应气体或载气。本发明能够对夹持器内的粉体颗粒提供离心流化作用，同时结合轴向的气流流化作用，克服了离心流化床沿轴向方向分布不均匀的状况以及改善了传统垂直流化床剪切力过小的特点，能有效提高粉体包覆率和均匀性，一次性能够对大量粉体进行包覆，提高粉体包覆效率。
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公开(公告)号：CN105543807A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201510932643.4
申请日：2015-12-15
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: C23C16/54 , C23C16/45544 , C23C16/46
Abstract: 本发明公开了一种变温薄膜沉积系统，包括多个沉积装置和基片转移装置，所述多个沉积装置均匀布设在基片转移装置周围；所述多个沉积装置具有基片温度控制机构，用于分别维持基片承载台温度恒温；所述基片转移装置，包括三维移动装置，所述三维移动装置的末端设有保护气体喷头，所述保护气体喷头两侧设有抓取装置，所述抓取装置用于抓取基片承载台。本发明提供的变温薄膜沉积系统能高效高质量的沉积多元物质沉积膜。
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公开(公告)号：CN103614705B
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201310583654.7
申请日：2013-11-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。
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