公开(公告)号：CN103451623B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201310364445.3

申请日：2013-08-20

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  段晨龙 ,  刘潇 ,  曹坤 ,  邓章 ,  单斌 ,  文艳伟

IPC: C23C16/44

Abstract: 本发明公开了一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置，该方法的特征在于，在前驱体的吸附过程中引入了流化气，利用流化气吹散粉体，实现粉体的充分分散。该装置包括反应腔体，供应系统，真空系统，加热系统，监测系统和控制系统，其特征在于，供应系统包括流化气源，流化气通过流化气输送支路进入反应腔体，用于将粉体吹散到整个反应区域。本发明的方法与装置能有效提高粉体包覆率与沉积均匀性，并使得在每次沉积过程中对大量粉体进行包覆成为可能，提高了粉体包覆的效率。

公开(公告)号：CN103602959B

公开(公告)日：2016-04-13

申请号：CN201310585179.7

申请日：2013-11-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  邓章 ,  曹坤 ,  单斌 ,  文艳伟

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞（104），以及控制输出主管路的第二开关阀（105）构成。本发明通过固定空间的气体体积变化，每次稳定的排出等量前驱体，保证定量输出前驱体，能够更好的适应于前驱体用量优化分析及在线监测系统分析。

公开(公告)号：CN103614705A

公开(公告)日：2014-03-05

申请号：CN201310583654.7

申请日：2013-11-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  邓章 ,  段晨龙 ,  单斌 ,  文艳伟

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。

公开(公告)号：CN103602959A

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN201310585179.7

申请日：2013-11-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  邓章 ,  曹坤 ,  单斌 ,  文艳伟

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明公开了一种原子层沉积前驱体输出装置，该输出装置由装载前驱体的钢瓶（101），缓存腔（103），连接所述钢瓶（101）与缓存腔（103）的第一开关阀（102），位于所述缓存腔腔体内且与所述缓存腔腔体气密性良好的运动活塞（104），以及控制输出主管路的第二开关阀（105）构成。本发明通过固定空间的气体体积变化，每次稳定的排出等量前驱体，保证定量输出前驱体，能够更好的适应于前驱体用量优化分析及在线监测系统分析。

公开(公告)号：CN103451623A

公开(公告)日：2013-12-18

申请号：CN201310364445.3

申请日：2013-08-20

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  段晨龙 ,  刘潇 ,  曹坤 ,  邓章 ,  单斌 ,  文艳伟

IPC: C23C16/44

Abstract: 本发明公开了一种包覆超细粉体的原子层沉积方法与装置，该方法的特征在于，在前驱体的吸附过程中引入了流化气，利用流化气吹散粉体，实现粉体的充分分散。该装置包括反应腔体，供应系统，真空系统，加热系统，监测系统和控制系统，其特征在于，供应系统包括流化气源，流化气通过流化气输送支路进入反应腔体，用于将粉体吹散到整个反应区域。本发明的方法与装置能有效提高粉体包覆率与沉积均匀性，并使得在每次沉积过程中对大量粉体进行包覆成为可能，提高了粉体包覆的效率。

公开(公告)号：CN103614705B

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201310583654.7

申请日：2013-11-19

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  邓章 ,  段晨龙 ,  单斌 ,  文艳伟

IPC: C23C16/455

Abstract: 本发明公开了一种原子层沉积装置，包括原子层沉积单元喷头，所述单元喷头包括高压气流入口，惰性隔离气体入口通道，出气口通道，和两种前驱体入口通道，其中所述高压气流入口喷出高压气体以顶起整个沉积装置，该装置是微型开放式且可移动可扩展，能够适用于大型非平整结构表面薄膜沉积，并可直接经过简单多块组合，增加沉积效率。

公开(公告)号：CN202888142U

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201220590722.3

申请日：2012-11-10

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 陈蓉 ,  何文杰 ,  曹坤 ,  周涛 ,  邓章 ,  单斌

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型公开了一种可升降加热器，包括传送杆，载物台，加热器和丝杠，加热器和丝杠的顶部固定连接，加热器的顶部设置有斜槽和深槽，载物台用于承载样品，载物台的底部设置有弹性定位销，侧面设置有一对侧面定位销，加热器与载物台是通过弹性定位销与斜槽和深槽的配合实现固定连接，用于为样品提供温度保证，传送杆和载物台固定连接，用于将载物台从一空间初始位置水平传送到另一空间位置上进行加工和测量工艺，加热器和丝杠的顶部是通过滚动轴承或滑动轴承固定连接，丝杠用于通过自身旋转实现加热器的升降，且具有粗调和精调的功能，传送杆前部设置有凹槽结构。本实用新型能够完成半导体加工工艺和测量工艺的操作。