一种光器件芯片封装金线缺陷检测方法

    公开(公告)号:CN114757903B

    公开(公告)日:2024-09-06

    申请号:CN202210362277.3

    申请日:2022-04-07

    Abstract: 本发明提供了一种光器件芯片封装金线缺陷检测方法,属于机器视觉缺陷检测领域,本发明方法包括如下步骤:S1采集光器件芯片上具有封装金线的区域块图像,通过模板匹配检测获得金线的焊点,S2对封装金线的区域块图像依据灰度均值和灰度方差进行基于焊点寻迹的金线线区域提取,获得金线线区域,S3对提取的金线线区域进行灰度分析以及特征计算,完成金线缺陷检测。本发明检测方法的检测速度快,鲁棒性强。

    具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置和方法

    公开(公告)号:CN112731345B

    公开(公告)日:2024-02-09

    申请号:CN202011517751.2

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的抗振型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光测距领域,包括第一二向色镜、分束器、第二二向色镜、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元、可运动的部分反射元件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,在载物台和分束器之间设置可运动的部分反射元件,分束器具有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对可运动的部分反射元件,第四端口的方向上设有第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置镜头,镜头与相机相连,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设置光谱仪,光谱仪连通采集控制单元。本发明装置能减小测量误差,其结构简单、测量快速、测量精度高。

    基于单次测量的薄膜参数计算方法、干涉测量装置和系统

    公开(公告)号:CN117146717A

    公开(公告)日:2023-12-01

    申请号:CN202311047561.2

    申请日:2023-08-17

    Abstract: 本发明公开了基于单次测量的薄膜参数计算方法、干涉测量装置和系统,属于微纳结构探测领域。本发明只需单次测量,就可以同时获得薄膜厚度分布及表面形貌,避免多次测量带来的测量误差,更适用于实际工业环境。对每个扫描点执行上述计算方法,得到每个扫描点的光程差信息,将其组合得到薄膜样品的表面形貌,由于薄膜厚度计算中引入补偿量函数,使一微米以下的薄膜表面形貌准确度更高。本发明适用于使用Linnik型干涉结构或Mirau型干涉结构,还适用于使用宽光谱光源或扫频光源,可根据工业场景灵活调整。

    具有主动光学防抖功能的放大型面阵扫频测距/厚的装置和方法

    公开(公告)号:CN112731344B

    公开(公告)日:2023-11-28

    申请号:CN202011517749.5

    申请日:2020-12-21

    Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的放大型面阵扫频测距/厚的装置,涉及激光扫频测距领域,包括第一、二二向色镜、分束器、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件,第一二向色镜的透射光方向上设分束器,分束器反射光方向上设载物台,载物台和分束器之间设镜头,分束器有四个端口,第一端口正对第一二向色镜,第二端口正对镜头,第三端口正对可运动反射器件,第四端口正对第二二向色镜,第二二向色镜透射光方向上设置相机,相机与采集控制单元相连,第二二向色镜反射光方向上设光谱仪,光谱仪连通采集控制单元,采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。

    一种样品形貌结构检测系统及方法

    公开(公告)号:CN117091534A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202311083386.2

    申请日:2023-08-25

    Abstract: 本发明提供一种样品形貌结构检测系统及方法,包括:光源单元,用于发射光束;参考臂,用于将发射光束反射,提供第一路反射光束;测量臂,用于将所述发射光束传输至待测样品,并将从待测样品反射的光束收集,提供第二路反射光束;光分析成像模块,用于获取第一路反射光束和第二路反射光束的干涉光谱,并基于预先标定的测量臂反射光谱中峰值波数与待测样品表面位置的关系和第二路反射光束确定干涉光谱在傅里叶空间域的符号,以提取出待测样品的真实反射信号,并基于真实反射信号得到样品形貌结构信息。本发明无需多次傅里叶变换,无需添加色散元件,无需添加压电位移台、电光调制器、声光调制器等相移调制设备,并且仅需单次测量,测量时间缩短。

    一种多层折射样品形貌结构检测系统及方法

    公开(公告)号:CN116907383A

    公开(公告)日:2023-10-20

    申请号:CN202311089248.5

    申请日:2023-08-25

    Abstract: 本发明提供一种多层折射样品形貌结构检测系统及方法,方法包括:发射光束;获取发射光束反射得到的第一路反射光束;获取发射光束经色散元件和光学延迟单元传输至待测样品后从待测样品反射的第二路反射光束;光学延迟单元用于调制不同次测量的第二路反射光束的光程,使得不同次测量得到的待测样品形貌结构能够拼接;将第一路和第二路反射光束的干涉光谱进行分析成像,得到待测样品的形貌结构信息,并将不同次测量得到待测样品形貌结构信息拼接;第二路反射光束中每个反射界面的反射信号具有相同符号的非线性相位,使得光分析成像模块对干涉光谱相位补偿时真实信号被增强,真实信号共轭的镜像信号被抑制。本发明实现对大深径比样品的形貌检测。

    一种混杂颗粒系粒径分布反演方法与系统

    公开(公告)号:CN115127965B

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202211038130.5

    申请日:2022-08-29

    Abstract: 本发明公开了一种混杂颗粒系粒径分布反演方法与系统,属于光散射微小颗粒检测领域。包括:根据若干散射角度测量到的未知粒径分布的待测样品的光强自相关函数,通过累积量法计算在若干散射角度下待测样品的平均粒径,接着将该平均粒径输入至采用最优平滑因子训练好的混杂颗粒系粒径分布反演回归网络,最终得到待测样品的粒径分布曲线,所述最优平滑因子根据标定的动态光散射系统的噪声水平,评价并比较混杂颗粒系粒径分布反演回归网络反演效果得到。该方法适用于球形颗粒系、非球形颗粒系及存在多种不同性质与形态颗粒物的混杂颗粒系,且粒径分布反演速度快、效果好、非接触,可满足实际检测环境下的多种需求。

    一种光伏印刷网版的栅线提取方法及系统

    公开(公告)号:CN114972233A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210545211.8

    申请日:2022-05-19

    Abstract: 本发明提供一种光伏印刷网版的栅线提取方法及系统,包括:利用矩形和六边形的结构元素对图片进行灰度值闭运算,得到粗栅区域1和粗栅区域2;提取竖直型栅线区域。对粗栅区域1进行开运算得到竖直型栅线1;提取波浪型栅线。利用通过阈值分割得到的粗栅区域3和竖直型栅线进行差分运算得到波浪型栅线,并利用骨架抽取对波浪型栅线进行整形;提取图案栅线。利用粗栅区域2对竖直栅线1和波浪栅线2进行差分操作准确的提取图案栅线1。将分块提取的三种栅线进行组合得到网版的栅线。本发明实施例能够精确、快速的提取网版中的竖直型栅线、波浪型栅线和图案型栅线,提升了网版提升效率。

    一种曲面玻璃表面和内部缺陷的检测方法

    公开(公告)号:CN110044932B

    公开(公告)日:2021-07-27

    申请号:CN201910330948.6

    申请日:2019-04-23

    Abstract: 本发明公开了一种曲面玻璃表面和内部缺陷的检测方法,属于曲面玻璃检测领域,以平行于曲面玻璃平面部分的线偏振光从曲面玻璃侧面入射至待检测曲面玻璃中,采用偏振相机在曲面玻璃平面部分的垂直线方向上采集待检测曲面玻璃的出射光,获得出射光的斯托克斯矢量S’,根据入射至曲面玻璃的线偏振光的斯托克斯矢量S,获得反应曲面玻璃的Mueller矩阵M’,最后根据M’和内部无任何缺陷的标准曲面玻璃样品的Mueller矩阵M,获得待检测曲面玻璃内部缺陷信息,完成检测,其中,线偏振光自身为平行光,而非发散光。本发明方法高效、成本低、能较好的检测曲面玻璃的表面和内部缺陷。

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