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公开(公告)号：CN106352865A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201510415598.5
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本发明涉及一种微机械开放气流式平面双轴角速度传感器，由开放式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，该开放式平面双轴角速度芯片包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的角速度芯片结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口敏感室和出口敏感室；入口敏感室和出口敏感室的宽度相同；两对平行热线分别设置在入口敏感室和出口敏感室，分别与两个正交的射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交(x、y)方向的角速度，双轴一体。
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公开(公告)号：CN106352864A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201510415597.0
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5684
CPC classification number: G01C19/5684
Abstract: 本申请公开了一种硅微机械四通道循环流式平面双轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括四通道循环流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PET上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和四对分别位于不同射流敏感室的平行热线；PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述四通道循环流式平面双轴角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器的热线独立设置在四个不同的射流敏感室内分别与四个正交的射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交(x、y)方向的角速度，双轴一体，两个方向上的角速度灵敏度几乎一致，便于实际应用。
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公开(公告)号：CN104949668A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510346229.5
申请日：2015-06-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
CPC classification number: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种微型三自由度单循环式PMMA气流陀螺，该气流陀螺包括敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，敏感元件包括PMMA盖板、硅板和PMMA底座；其中，PMMA盖板上设置有气流回路；硅板上设置有三自由度敏感热线；PMMA底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路；PMMA盖板、硅板和PMMA底座依次连接构成敏感元件。本申请的气流陀螺以气体作为敏感质量，抗高过载、耐强冲击；制作成本低，仅为全硅结构的1/10；采用密闭空间内的单循环气流作为角速度气流敏感体，陀螺的稳定性好，陀螺灵敏度较大；实现了三个方向较高灵敏度的角速度测量；敏感三个方向角速度的循环气流敏感体由一个压电陶瓷振子驱动，结构简单，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN212082382U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188094.7
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种“一”字型推挽流微机械单轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“一”字型结构的两对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器和一对热敏电阻构成一个测量单元；两对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“一”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现平面Z轴角速度的测量，具有很高的集成度；且体积小、功耗低、成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212082383U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188101.3
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四对加热器和四根热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元；四对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间双轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，且体积小、功耗低、成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN208907900U
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：CN201821769445.6
申请日：2018-10-30
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本实用新型涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体二维加速度计。该热膨胀式流体二维加速度计采用方形结构的检测层、悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现二维加速度的同时检测。该结构在X轴和Y轴方向分别放置两根金属电阻桥加热丝，在每根金属电阻桥加热丝两侧的两根金属电阻桥热敏丝，可实现加速度值的准确测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212082390U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188961.7
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种“T”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的三对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212082389U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188943.9
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本实用新型采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212082384U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021188138.6
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种单热源十字流式微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四根加热器和六对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器、一对Z轴热敏电阻和一根X/Y轴热敏电阻构成一个测量单元；四根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的对流式的热流，这种对流式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间三轴角速度的同时测量，具有很高的集成度。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN212082391U
公开(公告)日：2020-12-04
申请号：CN202021189037.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本实用新型公开了一种单热源十字流式微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的两对加热器和两对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一根加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元；四根加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的对流式的震荡热流，热流末端为矩形的隔离电阻。这种十字流式的热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间双轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，且体积小、功耗低、成本低。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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