-
公开(公告)号：CN118204641A
公开(公告)日：2024-06-18
申请号：CN202410476225.8
申请日：2024-04-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: B23K26/362 , B23K26/70
Abstract: 本发明提供一种基于高速激光雕刻技术的柔性热流陀螺的制作方法，该方法使用一种新的工艺流程，新的流程是先用高速激光雕刻机以聚酰亚胺薄膜为掩膜，雕刻出热流陀螺的电极部分敏感丝结构，再将这层掩膜贴在相应的聚酰亚胺基底上，进行溅射。本发明采用高速激光雕刻技术，这种技术高速激光雕刻技术是一种非接触性加工技术，它使用激光束直接照射到工件表面，而无需接触式掩膜或光刻胶等材料。本申请降低了制造过程中的污染风险和机械损耗，简化了加工过程，减少了材料和时间成本。
-
公开(公告)号：CN114034880A
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN202111387670.X
申请日：2021-11-22
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P5/08
Abstract: 本发明公开了一种动热源式双轴微机械角速度传感器及其加工方法，该双轴陀螺包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器(动热源)和两对热敏电阻；全方位振子加热器(动热源)通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为周期式交流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现双轴角速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性。
-
公开(公告)号：CN113985070A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111410352.0
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
-
公开(公告)号：CN111595324A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584723.6
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种推挽流式微机械Z轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈矩形结构的一对加热器和一对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一长方体凹槽；加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
-
公开(公告)号：CN113985070B
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202111410352.0
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118424244A
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202410476444.6
申请日：2024-04-19
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明提供一种基于无掩膜技术的柔性热流陀螺的制作方法，包括清洗有机玻璃衬底和聚酰亚胺基底，用固体胶将聚酰亚胺基底和有机玻璃衬底粘在一起，通过涂胶，曝光，显影在聚酰亚胺薄膜上形成图案，使用激光切割机对基底进行切割形成丝与电极以及腔体结构，在聚酰亚胺薄膜上分别溅射铬、铂、金三层金属，用NMP溶液清洗剥离光刻胶，并把基底层从衬底上剥离下来，键合引线，并进行封装，形成热流陀螺的最终结构。本发明具有工艺简单、成本低，更容易实现腔体结构和金属丝的结构，更容易地实现热流陀螺的柔性结构，实现曲面测量，工艺生产效率高、一致性好等优点。
-
公开(公告)号：CN111595319B
公开(公告)日：2024-02-06
申请号：CN202010584662.3
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种单热源“T”字型微机械三轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“T”字型结构的一个隔离电阻，三个加热器和三对热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“T”字型凹槽；三个加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明继承了微型热流陀螺无固体敏感质量块，抗振动和冲击等优点。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。
-
公开(公告)号：CN113985069A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111410209.1
申请日：2021-11-25
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
-
公开(公告)号：CN113405542A
公开(公告)日：2021-09-17
申请号：CN202110560713.3
申请日：2021-05-21
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种单热源全桥式z轴薄膜陀螺及其加工方法，该z轴薄膜陀螺包括敏感层和盖板，其中所述敏感层的上表面设置有一加热器和四个热敏电阻；加热器的通电方式为周期方波式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明采用的工艺与集成电路工艺兼容，很容易将驱动电路和提取电路制作在同一个芯片上，具有高集成度的潜力。由于其敏感质量不含固体质量块，较其他工作原理的微型惯性传感器，具有抗大冲击，结构简单，成本极低，可靠性高的优势。本发明中四个热敏电阻构成等臂电桥，四个桥臂作为工作臂均参与敏感热气流的偏转，灵敏度是单一工作臂的四倍，大大提高了陀螺灵敏度。
-
公开(公告)号：CN111595320A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010584668.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明公开了一种“十”字型推挽流微机械双轴薄膜陀螺，包括敏感层和盖板，敏感层的上表面设置有呈“十”字型结构的四对加热器和四根热敏电阻，敏感层的下表面刻蚀有一“十”字型凹槽；一对加热器和一根热敏电阻构成一个测量单元；四对加热器的通电方式为周期式推挽式通电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明提出的基于热膨胀流的MEMS陀螺，形成“十”字型分布的推挽式的热流，这种推挽式热流流速大、气流状态稳定，陀螺灵敏度高，稳定性好，可实现空间双轴角速度的同时测量，具有很高的集成度，且体积小、功耗低、成本低。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
66
records
(took 0.024 seconds)
