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公开(公告)号：CN118332135B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410748710.6
申请日：2024-06-12
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明涉及一种基于neo4j与jena的知识图谱构建方法、装置及存储介质，其中方法包括：构建neo4j模块的链接池；接收到图谱操作请求，提取图谱操作请求中的图谱项目ID，并判断图谱项目ID是否与任一有效链接匹配，若为是，则通过neo4j模块处理图谱操作请求，反之则通过jena模块处理图谱操作请求；当图谱项目ID与所有的有效链接均未匹配时，判断是否存在空闲的有效链接，若为是，则为图谱项目ID匹配一个空闲的有效链接，并执行数据迁移步骤，若为否，将所述图谱项目ID添加至等待队列中；当图谱操作请求被执行后，在与图谱操作请求中的图谱项目ID对应的日志文件中创建一条日志记录，其中，日志文件与图谱项目ID一一对应。与现有技术相比，本发明可以实现neo4j的超卖问题。
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公开(公告)号：CN116992034B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311245716.3
申请日：2023-09-26
Applicant: 之江实验室
IPC: G06F16/35 , G06F16/383 , G06F40/194 , G06N3/048 , G06N3/0499 , G06N3/09 , G06Q50/26
Abstract: 本发明涉及一种智能事件打标方法、装置及存储介质，其中方法包括：S1、获取事件反馈文本，并利用多分类模型预测事件一级标签；S2、将一级标签与事件专家规则库进行碰撞比对，确定分类难度，若为易分类标签则转S3，否则转S4；S3、构建层次分类模型确定多层次事件标签结果；S4、构建检索模型，根据每条事件对应向量与标签向量的相似度得分输出多个相似标签向量，若相似度得分至少一个不小于预设阈值，则根据用户选择的其中之一标签作为事件标签结果，否则，执行S5；S5、构建生成模型，以事件反馈文本作为输入，输出推荐标签，存入事件打标结果表。与现有技术相比，本发明具有自动化打标、确定标签准确性高等优点。
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公开(公告)号：CN112326665B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202011039692.2
申请日：2020-09-28
Abstract: 本发明公开了一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统，包括光源、显微物镜、管镜、图像探测器、控制模块和数据处理模块，其中，光源包括垂直照明光源和倾斜照明单元。垂直照明光源和各倾斜照明单元的出射光能够照射到被观测样品上而激发出散射场，散射场经显微物镜收集后再经管镜整形而入射到图像探测器，并由数据处理模块转换成远场强度图。控制模块按时序控制各光源的点亮以及各光源照明下图像探测器对被观测样品散射场信号的采集。数据处理模块通过对被观测样品空间频谱信息的重构，最终实现无论是在透射式照明还是反射式照明条件下，被观测样品表面复杂缺陷特征轮廓信息和细节特征信息的检测成像。
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公开(公告)号：CN117035081A
公开(公告)日：2023-11-10
申请号：CN202311298515.X
申请日：2023-10-09
Applicant: 之江实验室
IPC: G06N5/022
Abstract: 本说明书公开了一种多元多模态知识图谱的构建方法及装置，本方法可以确定用户通过预设的交互界面创建出的概念树，而后，确定用户针对概念树中的每个概念创建出的实体，并确定用户在该交互界面中选取的实体作为目标实体，根据目标实体所对应的目标概念以及所述概念树中所述目标概念对应的祖先概念，确定与目标实体相关的至少一个关系，确定用户从至少一个关系中选取出的目标关系，并确定用户针对目标实体选取出的邻居实体，以构建出目标实体与邻居实体之间的目标关系，邻居实体为目标实体的前置实体或后置实体，通过构建得到的各实体之间的关系，构建得到知识图谱并向用户进行展示，从而本方法提高了用户通过系统构建知识图谱的效率。
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公开(公告)号：CN115993695A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202310169949.3
申请日：2023-02-27
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/28
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115511749A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211263100.4
申请日：2022-10-14
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于相位信息的差分干涉对比图像去噪方法及装置，针对差分干涉对比图像中的噪声和边界干扰等问题导致的背景亮度值不均匀现象，对傅里叶变换后的图像中的相位信息进行恢复，并对像素值进行非线性映射。本发明实现了图像背景区域的去噪效果，缩小了背景像素值的变化范围，减小后续积分操作中的累积噪声，且不影响目标区域的梯度分布。
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公开(公告)号：CN114975213B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210883762.5
申请日：2022-07-26
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种晶圆对准装置及对准方法。包括光源、成像相机、光路系统、图像处理器、晶圆载物台和二维运动平台；照明光源、成像相机、光路系统、图像处理器安装位置固定，待对准的晶圆置于晶圆载物台上，二维运动平台上安装有晶圆载物台，可实现晶圆的二维移动；通过相机对晶圆载物台上的晶圆实现宽视场快速成像，识别晶圆轮廓并拟合，得到高精度的晶圆定位信息，宽视场成像同时避免了晶圆摆放偏移量过大导致无法对准的问题。本发明的晶圆对准装置和对准方法，没有采用晶圆预对准器和二次对准即可实现高精度的晶圆定位，晶圆通过机械手直接从料盒中运送到载物台上，减少了预对准器的工作站点，能够同时提高晶圆对准的效率。
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公开(公告)号：CN114441440A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202111589118.9
申请日：2021-12-23
Abstract: 本发明公开了一种晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括处理单元、控制单元、信号采集单元、位移组件和检测组件；工作过程为位移组件带动晶圆移动，巡边探测单元将拍摄到的晶圆边缘信息结合位移台移动位置，得到晶圆相对于检测组件光轴的坐标位置，随后，根据晶圆的坐标位置移动位移台，线阵探测单元和面阵探测单元分别对晶圆表面进行扫描拍摄，采集得到的数据经信号采集单元传输给处理单元分析使用。本系统中包含了巡边探测单元，能够补偿由于晶圆放置位置的偏差带来的定位偏差，同时，线阵探测单元和面阵探测单元根据位移组件高精度的位置反馈，在不同位置拍摄图像，可以建立晶圆位置与图像的对应关系，有利于后续的图像拼接和缺陷识别处理。
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公开(公告)号：CN112710611A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202110026818.0
申请日：2021-01-09
Abstract: 本发明公开了一种环形光纤束照明装置，包括会聚透镜、一分多束的光纤束、安装支架和光学元件，一分多束的光纤束中的各根光纤的弯折半径大于100毫米，安装支架设有光路通道，光学元件安装于光路通道中，光源经会聚透镜会聚后耦合到一分多束的光纤束的母光纤束中，一分多束的光纤束的各子光纤束分别以垂直于物面的方向插入到光路通道中且各子光纤束呈环形分布，一分多束的光纤束的子光纤束发出的光束以垂直于物面的角度出射且经对应的光学元件准直并转折后以环形照明光倾斜照射到物面上。本发明在使用石英光纤等弯折半径较大的光纤作传导介质且一分多束的光纤束的子光纤束数量较多时仍具有紧凑而小型的结构，可实现对半导体晶圆的亚表面缺陷的检测。
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公开(公告)号：CN119828420A
公开(公告)日：2025-04-15
申请号：CN202510039558.9
申请日：2025-01-10
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本申请涉及用于光刻系统的光刻校准设备、方法和光刻系统，其中，该光刻校准方法包括：校准物镜将第一散射光束准直为校准准直光束；其中，投影物镜将光源发射的待调制光束汇聚在散射介质上，经散射介质将待调制光束散射为第一散射光束；校准物镜与散射介质的距离为预设对焦距离；校准会聚透镜于将接收到的校准准直光束会聚为校准光束；校准相机接收校准光束并进行拍摄，得到校准图像；校准控制器根据校准图像生成散射介质传输矩阵，并基于散射介质传输矩阵，校准光刻系统。通过本申请，解决了如何在确保光刻图案达到高精度要求的同时，有降低其生产成本的问题，实现了低成本、高分辨率的光刻效果。
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