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公开(公告)号:CN109065712A
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:CN201810874262.9
申请日:2018-08-02
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H01L45/00
CPC classification number: H01L45/146 , H01L45/1641
Abstract: 本发明公开了一种阻变存储器,其特征在于,所述阻变存储器自下而上依次包括下电极层、铁电材料层和上电极层,其中,所述铁电材料层包括经掺杂的HfO2铁电薄膜。
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公开(公告)号:CN107204397A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201610158468.2
申请日:2016-03-18
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H01L45/00 , H01L27/24 , H01L21/82 , H01L21/8239
CPC classification number: H01L45/00 , H01L45/16 , H01L27/2436 , H01L45/147
Abstract: 本发明公开了一种用于双极性阻变存储器的选择器件及其制备方法,该方法包括:提供基底;在基底上方形成下电极;在下电极上方形成第一金属氧化物层;对第一金属氧化物层进行退火处理,以使下电极内的金属原子扩散进入第一金属氧化物层,形成掺杂有金属原子的第一金属氧化物层;在掺杂有金属原子的第一金属氧化物层上方形成第二金属氧化物层;在第二金属氧化物层上方形成上电极层;对上电极层进行图形化,形成上电极。通过该方法制成的选择器件能够提供较高的电流密度,与阻变存储器串联后形成的1S1R结构能够有效抑制阻变存储器阵列中的串扰现象。而且,该选择器件具有较高的选择比和耐久性。
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公开(公告)号:CN103795422B
公开(公告)日:2017-07-14
申请号:CN201410083488.9
申请日:2014-03-07
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M7/30
Abstract: 本发明公开了一种基于压缩感知的一维信号随机采样方法,该方法包括:锯齿波电压信号发生器生成n个编号分别为1,2,3...n的锯齿波电压信号,n为自然数;比较器将该n个锯齿波电压信号与输入信号进行对比,确定锯齿波电压信号与输入信号交点处的时间点k和电压值y,并利用时间点k构造观测矩阵Φ,利用电压值y构造原始信号的测量值Y,进而构造压缩采样方程Y=ΦX,其中X为原始信号,Y为原始信号的测量值;采用压缩感知理论中的恢复算法对构造的压缩采样方程Y=ΦX进行重构,由测量值Y和观测矩阵Φ得到原始信号X。本发明能在较低的平均采样率下高概率的重构信号,突破了奈奎斯特频率的限制,降低了硬件要求,降低了硬件实现的成本和难度。
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公开(公告)号:CN103532552B
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201310469996.6
申请日:2013-10-10
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H03M1/12
Abstract: 本发明公开了一种随机采样斜率模数转换器,包括依次连接的斜率信号发生器、比较器和计数器,斜率信号发生器产生的参考信号和来自外部的输入信号分别输入比较器的一端在比较器中进行比较,同时计数器开始计数,该随机采样斜率模数转换器还包括:一限幅器,来自外部的该输入信号是通过该限幅器输入比较器的一端,并且该限幅器依据该输入信号的幅值来控制该斜率信号发生器生成不同斜率的参考信号。利用本发明,解决了现有随机采样斜率模数转换器在输入信号幅值较小时采样频率较高以及输入信号幅度值较大时对计数器要求较高的问题。
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公开(公告)号:CN103645215A
公开(公告)日:2014-03-19
申请号:CN201310680558.4
申请日:2013-12-12
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性衬底的传感器模块,该传感器模块包括传感器部分及天线部分,二者均以柔性绝缘材料为衬底,并通过导线或夹具连接,其中,传感器部分用于感知外部敏感信号,天线部分用于无线信号的传输及接收,二者结合实现在无线情况下对外部敏感信号的检测及传输。本发明以PI、PET等柔性绝缘材料为衬底,利用各种微电子微加工方法,将传感器及无线发射部分制作于其上并综合在一起,形成了无源无线可折叠且便携性高的组装的新型传感器模块。
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公开(公告)号:CN103346799A
公开(公告)日:2013-10-09
申请号:CN201310220587.2
申请日:2013-06-05
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种基于压缩感知理论的气体识别方法,该方法包括:以欠采样的方式采集压缩后的数据;对采集的该压缩后的数据进行重构得到重构数据;利用该重构数据对反向传播神经网络进行训练,并保存训练好的反向传播神经网络;将待测数据输入训练好的反向传播神经网络,该训练好的反向传播神经网络对待测数据进行识别,实现对气体的定性识别。利用本发明,解决了目前气体检测中传输存储数据量大,识别不精确的问题,达到了以较少的数据量达到精确定性识别的目的。
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公开(公告)号:CN103072942A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201310017106.8
申请日:2013-01-17
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种制备原位掺杂Pt的NiO有序纳米线阵列的方法,包括:在耐高温绝缘衬底上生长一Ni层;在该Ni层上涂敷光刻胶层,利用电子束光刻在该光刻胶层刻出有序纳米线阵列图形区域,在该有序纳米线阵列图形区域中生长Ni,采用丙酮剥离光刻胶后用离子束刻蚀工艺对Ni层表面进行刻蚀,将衬底表面生长的Ni层刻掉,只留下该有序纳米线阵列图形区域的Ni形成有序Ni纳米线阵列;将该有序Ni纳米线阵列浸入H2PtCl6溶液中,通过置换反应在Ni纳米线阵列上有Pt被置换出来;将附有Pt的Ni纳米线阵列在氧化炉里氧化,得到Pt掺杂的有序NiO纳米线阵列。本发明简单实用,掺杂后的传感器对CO和H2等气体的敏感度和稳定性都将有很大的改善。
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公开(公告)号:CN118019440A
公开(公告)日:2024-05-10
申请号:CN202211402661.8
申请日:2022-11-10
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: H10N70/20 , C23C14/08 , C23C14/35 , C23C14/06 , C23C14/16 , C23C14/18 , C23C16/34 , C23C16/511 , C23C16/505 , C23C28/00
Abstract: 本申请公开了一种NbOx选通管及其制备方法。该NbOx选通管包括从上到下依次设置的顶层电极、中间层和底层电极;所述中间层的材料为NbOx,所述顶层电极的材料为铂,所述底层电极的材料为氮化钛。该NbOx选通管的制备方法包括:在衬底上沉积氮化钛,形成底层电极;通过磁控溅射工艺在所述底层电极上沉积NbOx,形成中间层,在所述中间层的形成过程中降低通氧速率;通过磁控溅射工艺在所述中间层上沉积铂,形成顶层电极。本申请实施例提供的NbOx选通管的制备方法,通过磁控溅射工艺在底层电极上沉积NbOx,形成中间层,在中间层的形成过程中降低通氧速率,降低了成形电压,得到了免成形的NbOx选通管。
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公开(公告)号:CN117078949A
公开(公告)日:2023-11-17
申请号:CN202311114729.7
申请日:2023-08-31
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G06V10/40 , G06V10/82 , G06N3/0464 , G06N3/08
Abstract: 本申请实施例提供了一种基于磁隧道结阵列图像特征提取方法和装置,方法包括:训练阶段,基于预设电压‑像素映射关系、电压‑电流映射关系和预设卷积核,得到像素‑电流映射关系;所述卷积核为磁隧道结阵列;特征提取阶段,将待处理图像的像素映射为电压;以所述电压为输入,基于所述卷积核,输出所述待处理图像对应的电流坐标;根据所述电流坐标和所述像素‑电流映射关系,确定所述待处理图像卷积后的像素。本申请提供的技术方案用以解决现有技术存在着写入速率慢、能耗高、及可靠性不佳等问题。
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公开(公告)号:CN116390641A
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN202310462837.7
申请日:2020-06-18
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明公开了一种HfO2基铁电电容器的制备方法,属于微电子技术领域,通过在铁电电容的介质层和上电极(TiN)之间插入热膨胀系数小于TiN的Al2O3插层,达到增大铁电存储器存储窗口的目的。本发明HfO2基铁电电容器,从下到上包括衬底层(1)、下电极(2)、介质层(3)、Al2O3插层(4)、上电极(5)和金属保护层(6)。本发明可提高存储窗口大小,有效防止信息误读,从而提高存储器的可靠性。
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