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公开(公告)号：CN112744781B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN201911039852.0
申请日：2019-10-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本公开描述了一种氧化镁密封腔的制备方法，其包括：准备工序，准备第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片；图案化工序，对第一氧化镁晶片的掩膜层进行光刻形成预定的图案；刻蚀工序，使用磷酸溶液对第一氧化镁晶片进行湿法刻蚀，并去除掩膜层；以及键合工序，对刻蚀后的第一氧化镁晶片的带有腔体的一面进行表面处理，对第二氧化镁晶片的一面进行表面处理，并将第一氧化镁晶片的第一键合面与第二氧化镁晶片的第二键合面直接键合，以形成由第一氧化镁晶片和第二氧化镁晶片组成的密封体。由此，能够提高这种密封体的密封性能，且利用氧化镁的优良力学性能和动力学特性使其能够很好地适应高温高压下的工作环境。
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公开(公告)号：CN117364082A
公开(公告)日：2024-01-09
申请号：CN202311224435.X
申请日：2023-09-21
Applicant: 中北大学
Abstract: 一种原子气室镀膜封装工艺，属于原子气室技术领域，可解决现有CPT原子钟物理系统中，衰减片、四分之一波片和MEMS气室是分立的元件，不仅给封装带来不便，而且成为制约CPT原子钟进一步小型化的主要因素的问题，本发明提供一种原子气室镀膜封装工艺，将衰减片和四分之一波片集成在MEMS气室上，减小了CPT原子钟的体积，使封装更加便捷，提高了CPT原子钟的集成度。
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公开(公告)号：CN116534791A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310813740.6
申请日：2023-07-05
Applicant: 中北大学
IPC: B81C1/00 , B81C99/00 , H01L21/3065 , H01L21/66
Abstract: 本发明涉及半导体芯片制造技术领域，具体是一种深盲孔均匀性刻蚀方法。包括：S1对测试硅片进行盲孔刻蚀，计算刻蚀速率；S2使用S1中的刻蚀速率对硅片分阶段进行盲孔刻蚀；S3在每个刻蚀阶段结束后分区域进行深度测量，S4在第二个刻蚀阶段结束后，分区域进行深度测量，若某一区域深度达到目标深度时，使用刻蚀遮挡物将该区域盲孔遮挡；若某一区域深度未达到目标深度时，进入步骤S5；S5调节刻蚀参数，继续对未达到目标深度的区域进行盲孔刻蚀；S6重复步骤S4‑S5，当硅片上所有区域的盲孔深度都达到目标深度后，停止刻蚀。本发明能够有效控制深盲孔刻蚀的刻蚀深度，提高刻蚀均匀性，并且能够监测刻蚀工艺。
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公开(公告)号：CN112366270B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202011239341.6
申请日：2020-11-09
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及红外探测技术领域，公开了一种热电堆红外探测器及其制备方法，探测器包括从下至上依次设置的硅衬底、第一支撑层、吸收材料支撑层，吸收材料支撑层上设置有多个热偶条，热偶条按照“非”字形双列排布形成热偶条区域，钝化吸热层沉淀设置在热偶条上并向下延伸至吸收材料支撑层的上表面，热偶条区域边缘位置无钝化吸热层覆盖；位于首行和尾行的热偶条外侧分别设置有一个与热偶条方向平行的隔热槽，隔热槽从吸收材料支撑层向下延伸并穿透第一支撑层；钝化吸热层上设置有U型的铂电阻，铂电阻的两臂直于热偶条方向，并分别位于两列热偶条的内端上方，本发明提高了红外探测器的响应度。
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公开(公告)号：CN110028372B
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201910336318.X
申请日：2019-04-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种基于碱性催化溶胶凝胶法制备Al/CuO纳米含能材料的方法，以尿素为碱性催化剂，十二烷基磺酸钠为表面活性剂，在弱碱性环境下采用sol‑gel方法制备Al/CuO纳米含能材料；所述弱碱性环境的pH在7‑9之间。解决了Al/CuO体系凝胶条件较难控制的问题，使凝胶时间变短，避免了nAl在CuO凝胶中的沉降，解决了纳米含能材料混合后易各自沉降而分散性差的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112197893A
公开(公告)日：2021-01-08
申请号：CN202010908776.9
申请日：2017-11-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供了一种测量力学参数的光纤法珀传感器及其制造方法。其中，测量力学参数的光纤法珀传感器包括：中空管体，其具有依次布置的第一管体、空腔部和第二管体；第一光纤，其插入于第一管体，第一光纤具有设置在空腔部内的第一导光端面；以及第二光纤，其插入于第二管体，第二光纤具有设置在空腔部内的第二导光端面，第一导光端面与第二导光端面相隔预设距离而相对设置，空腔部的内径大于第一管体和第二管体当中的任一个管体的内径。根据本发明，能够提供一种提高灵敏度的光纤法珀传感器。
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公开(公告)号：CN109678632B
公开(公告)日：2020-12-22
申请号：CN201910083839.9
申请日：2019-01-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种二维含能材料，其氧化剂组分与燃料组分中至少一种为类石墨烯二维材料，并且已合成为二维纳米片。所述氧化剂组分含量为10％～90％，所述燃料组分含量为10％～90％；所述氧化剂组分为WO3或MnO2；所述燃料组分为Al、Mg、B、Ti、Si或P中的一种。本发明使二维材料与纳米含能材料完美结合在一起，解决了纳米含能材料的分散性差，粒子易团聚，瞬时放热差问题，也拓展了二维纳米材料的应用。
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公开(公告)号：CN108680566B
公开(公告)日：2020-07-28
申请号：CN201810490582.4
申请日：2018-05-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01N21/76
Abstract: 本发明公开了一种基于MoS2纳米类酶发光体系检测过氧化氢的新方法，包括如下步骤：S1、制备MoS2二维纳米类酶；S2、配制0.1mol/L的鲁米诺母液和Tris‑HCl缓冲溶液；S3、将配制所得的鲁米诺母液用Tris‑HCl缓冲溶液稀释至5毫摩尔每升的鲁米诺溶液，然后取40微升所得溶液与40微升不同浓度的过氧化氢溶液在测量杯中混匀，再向其中加入40微升1毫摩尔每升的MoS2纳米类酶，反应30秒后，整个反应体系放入化学发光测定仪，通过化学发光仪收集并记录反应所产生的光信号。本发明增强了检测过氧化氢时的发光信号的强度，缩短了反应时间。
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公开(公告)号：CN107800443B
公开(公告)日：2020-02-18
申请号：CN201711075613.1
申请日：2017-11-06
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种射频无源谐振传感特征解调变换电路，涉及无线传感器变换解调测试技术领域。所述变换电路包括：激励源、功率分配器和幅相接收单元，所述激励源经功率分配器后分成多路输入给幅相接收单元中相应的模块，所述幅相接收单元用于对将被测信号下变频至中频信号进行输出后送入后端的信号调理及量化采集模块，将信号变换成离散的时域信号供后端处理。所述变换电路具有输出频率范围宽、跳频速度快、相位噪声低、频率分辨率高、扫频周期高和响应时间短等优点。
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公开(公告)号：CN105953958B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201610550743.5
申请日：2016-07-13
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了两种新型全石英光纤珐珀压力传感器，包括光纤、石英球壳、连接在石英球壳尾部的中空石英管组成；其中一种结构为光纤插入中空石英管并伸至石英球壳内，中空石英管与光纤熔接在一起，使珐珀腔密闭；另一种结构是光纤、中空石英管外分别熔接石英套管，两个石英套管外再共同熔接大石英套管，光纤一端面及石英球壳都位于大石英套管内且相对而置。两种传感器的工作原理都为当外部压力作用于石英球壳上时，引起珐珀腔腔长改变，干涉信号随之发生变化。本发明成本低廉，制备工艺简单，无需大型仪器；信号耦合情况好，灵敏度高；全石英结构耐高温性能良好，温度系数小，适于高温环境下应用。
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