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公开(公告)号:CN202898543U
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201220488204.0
申请日:2012-09-21
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本实用新型涉及工装夹具/模具的设计领域,一种用于精确控制激光熔凝预置粉层厚度的装置,在机座(9)上垂直固定螺杆(8),螺杆(8)的上端旋入水平配置圆盘状的螺管(7)中,螺管(7)的上方配置盘式套管(4),螺管(7)与套管(4)之间设置能保持两者同轴的同轴结构;套管(4)的中央开设与基体材料板(3)同样形状大小的粉尘孔腔(4b);在粉尘孔腔(4b)中配置一块垫片(5),垫片(5)的水平投影包容于粉尘孔腔(4b)内;在粉尘孔腔(4b)中放置基体材料板(3),在基体材料板(3)上铺设粉尘(2),在粉尘(2)上方压入水平投影形状大小与基体材料板(3)相同的金属压头(1)。本实用新型结构简单,易于操作,铺粉厚度连续可调,精度高,特别是适合工艺研究实验用。
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公开(公告)号:CN200992574Y
公开(公告)日:2007-12-19
申请号:CN200620162356.6
申请日:2006-12-29
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本实用新型涉及磁控溅射装置技术领域,具体地说是一种防污染超高真空磁控溅射镀膜装置,包括外部驱动系统、微机控制系统、磁控溅射室、上盖板、转动轴、样品位、样品台、靶位、驱动电机、靶位档板、靶位档板驱动电机,溅射室内上盖板上垂直安装一个定位销(7),样品台上层开设与定位销(7)配套的定位槽,样品台下层安装定位销(14),上档板上开设与定位销(14)相对应的定位槽(18),上档板用螺钉连接转动轴,上档板上开设一个溅射孔,手动操作杆的齿轮与上档板边缘的齿轮相啮合,靶位上均安装档板,档板连接驱动电机。本实用新型同现有技术相比,磁控溅射时可降低未参与磁控溅射样品受到的污染程度,操作简单。
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公开(公告)号:CN203509262U
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN201320524599.X
申请日:2013-08-26
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本实用新型属机械加工领域,一种电火花切割机夹具,底板(6)为前后长,左右短的矩形板,右侧边中间部分向内凹一段狭长凹口,垂直于长凹口开设钼丝移动槽(8),右挡板(4)为长度与底板(6)相同的矩形块,右挡板(4)的左侧向左突出一段凸边嵌入底板(6)凹口内,在凸边的前方形成钼丝移动纵槽(12);前挡板(3)为呈L形的夹板状,一个端面为固定面,开设两条定位长槽孔(1),另一端面为限位面,左挡板(7)为长度较右挡板(4)短的矩形块,左挡板(7)放在底板(6)上,前端位于钼丝移动槽(8)的后槽边;在左挡板(7)与右挡板(4)上开设一条横向且通贯两挡板的矩形凹槽(5),上压板(10)嵌入凹槽(5)中。本实用新型结构简单,操作方便,定位准确,切片、切段速度快、效率高,更换不同规格的棒料方便。
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公开(公告)号:CN201713569U
公开(公告)日:2011-01-19
申请号:CN201020180169.7
申请日:2010-04-27
Applicant: 上海工程技术大学
IPC: C23C14/35
Abstract: 本实用新型公开了一种用于磁控溅射装置的一次性屏蔽罩,它包括底罩、上罩和绝缘盒,所述的底罩、上罩和绝缘盒为中空圆柱状结构,三者中轴线重合;上罩的下端面与底罩的上端面吻合,在底罩与上罩上的连接端面分别设置有相对应的溅射孔;上罩的中部设置有一圈绝缘盒;绝缘盒的横截面为圆环,绝缘盒的内侧中部设置有一圈绝缘槽,绝缘槽的上下沿依次设置有一圈上导流板和下导流板;上罩的上端面设置有沉积孔。本实用新型的有益效果在于:在保持磁控溅射腔室洁净的同时,有利于维持磁控溅射的真空度,延长抽高真空设备的工作寿命。有利于避免人体的吸入,保证工作人员的安全与健康。
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公开(公告)号:CN201360245Y
公开(公告)日:2009-12-09
申请号:CN200920067906.X
申请日:2009-02-20
Applicant: 上海工程技术大学
IPC: H03H9/15
Abstract: 本实用新型涉及微电子器件,具体地是一种改进型压电薄膜谐振器,其特征在于:在SOI晶片的顶层硅上光刻刻出腐蚀槽或者腐蚀孔,顶层硅下面的SiO2层为一空腔结构,使顶层硅形成一悬空的顶层硅,在悬空的顶层硅上依次沉积底电极层、压电薄膜和顶电极层;本实用新型有益效果:可用其与硅工艺相兼容,这可将谐振器阵列和外电路集成在一起,使电路具有高速、低压、低功耗、灵敏度高,响应速度快并且多通道的优点,同时使器件微型化、集成化程度更高,比及其他的空腔型压电薄膜谐振结构,基于SOI晶片的空腔结构可以获得更大、更稳定的谐振区域,其悬空硅层的机械性能较其他的空腔型谐振支撑结构更加牢固,不易断裂。
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公开(公告)号:CN200992573Y
公开(公告)日:2007-12-19
申请号:CN200620162355.1
申请日:2006-12-29
Applicant: 上海工程技术大学
Abstract: 本实用新型涉及镀膜装置技术领域,具体地说是一种旋转镀膜辅助装置,包括平衡联接块(1)、绝缘地脚螺钉(2)、电源(3)、延时控制装置(4)、支撑杆(5)、管状基质(6)、传动固定杆(7)、定位螺母(8)和驱动电机(9)。本实用新型同现有技术相比,装置结构简单,安装和拆卸方便,尺寸可灵活调节,易于实施操作。
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