公开(公告)号：CN1606137A

公开(公告)日：2005-04-13

申请号：CN200410054208.8

申请日：2004-09-02

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 王英 ,  蔡炳初 ,  徐东 ,  张效岩 ,  张亚非

IPC: H01L21/308 ,  H01L21/32 ,  H01L21/467 ,  H01L21/475 ,  C23F1/02

Abstract: 一种基于纳米材料排布的纳米刻蚀方法，用于电子器件制造领域。本发明包括如下步骤：a.将单分散的无机纳米材料均匀排布在基底表面，形成纳米点、纳米线、纳米网状图形排列；b.以上述纳米阵列和图形作为掩膜，采用反应离子刻蚀和离子束刻蚀工艺，进行纳米图形和阵列的刻蚀，在基底表面形成纳米阵列图案；c.去除表面的纳米材料，获得纳米图形和阵列。本发明所采用的刻蚀工艺与传统工艺兼容，同时在刻蚀过程中以制备好的纳米材料作为掩膜，扩大了所能刻蚀的基底材料种类，而且使刻蚀工艺简化、图形方便可调，易于控制，本发明方法具有简单易行，效率高，表面的图形可控等特点，所制得的图形缺陷少，该方法适用范围广，便于推广和应用。

公开(公告)号：CN208385024U

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201821155741.7

申请日：2018-07-20

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 王英 ,  金成超 ,  胡海燕 ,  陈乐

IPC: H01B5/14

Abstract: 本实用新型涉及一种纤维状电极及纤维状能量采集器件，纤维状电极包括：聚二甲基硅氧烷内芯，包覆在聚二甲基硅氧烷内芯外侧的内导电纳米材料层，包覆在内导电纳米材料层外侧的压电混合材料层，包覆在压电混合材料层外侧的外导电纳米材料层，纤维状电极的表面包覆聚二甲基硅氧烷层得到纤维状能量采集器件。与现有技术相比，本实用新型可以在拉伸形变量为100％的情况下工作，性能优良。

公开(公告)号：CN210154720U

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201920933853.9

申请日：2019-06-20

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 王英 ,  陈乐 ,  杨明来

IPC: G01L1/00 ,  G01L1/18 ,  B32B27/08 ,  B32B27/06 ,  B32B27/28 ,  B32B3/08 ,  B32B33/00 ,  B32B37/00 ,  A61B5/0205

Abstract: 本实用新型涉及一种高灵敏度电子皮肤，包括：第一柔性衬底：外表面包裹第一封装层、内表面为具有规则形状或不规则形状的第一基底，该第一基底的表面涂有第一导电层，第二柔性衬底：外表面包裹第二封装层、内表面为具有不规则形状的第二基底，该第二基底的表面涂有第二导电层，第二基底与第一基底相对设置，第一柔性衬底及第二柔性衬底的内表面均设有电极。与现有技术相比，本实用新型灵敏度高、线性度宽，具有批量生产的前景。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利