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公开(公告)号：CN201971640U
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201120012638.9
申请日：2011-01-07
Applicant: 科发伦材料株式会社
Abstract: 本实用新型提供一种惰性气体回收装置，其可以在降低氩气净化时成本的同时，提高所回收的氩气中一氧化碳去除率。本实用新型的惰性气体回收装置具有：第一去除单元(10)，其对从拉晶装置回收的惰性气体中的固相成分去除；空气导入单元(20)，其向通过第一去除单元后的惰性气体中导入空气；第二去除单元(30)，其对导入了空气的惰性气体中含有的固相成分去除；反应单元(40)，其向通过第二去除单元后的惰性气体中至少导入氢气并进行反应；第三去除单元(50)，其将通过反应单元后的惰性气体中的水分去除；以及第四去除单元(60)，其对通过水分去除单元后的惰性气体净化，去除惰性气体中含有的氮气、一氧化碳气体、二氧化碳气体、氢气以及氧气。
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