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公开(公告)号：CN103047351B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201210574819.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03
Abstract: 共面气浮正交解耦与柔性膜角度解耦的磁浮零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过磁浮推力轴承进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动与角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103438840A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310112783.8
申请日：2013-03-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间二维柔性铰链结构的精密测头姿态调整架属于超精密测量领域，调整装置的大L板与小L板之间、小L板与前调姿板之间均采用弹性片进行柔性连接，且均留有一定的间隙用于调节倾角，通过调节旋配在细牙螺母中的螺钉可以分别对测头装卡件的二维倾角进行精密调节；本发明具有二维倾角精密调节的特性，可有效解决超精密测量仪器对测头垂直度的要求。
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公开(公告)号：CN103162625A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310078588.8
申请日：2013-03-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于差动象散离焦检测的超精密三维瞄准与测量传感器属于精密仪器与测量技术领域，由差动象散离焦检测单元、柔性悬挂机构、精密调节机构和外壳组成，柔性悬挂机构由刚性十字架、弹性膜片、反射镜支架、测针组成，将测针的位移以高位移传递率传递到反射镜；差动象散离焦检测单元由DVD激光头、反射镜组成，对反射镜的位移进行高精度差动检测；精密调节机构由可移动楔形块、从动楔形块组成，实现初始状态下DVD激光头的高精度零位聚焦；本发明最大可测深宽比可达40∶1及以上，分辨力可达纳米级，解耦方便，抗干扰能力强，为具有大深宽比特征的深孔、狭槽等内腔体零件的高精度测量提供了一种有效的传感器。
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公开(公告)号：CN103062321A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210578291.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062316A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210575830.8
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16F6/00 , G03F7/20
Abstract: 柔性膜角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板之间通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过柔性膜进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103062313A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210575403.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 气浮球轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度及角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062308A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210575185.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062293A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210574545.4
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板通过磁悬浮平面电机的磁悬浮作用进行承载，活塞筒与套筒通过静压气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度充分解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103062282A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210571682.2
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 共面气浮正交解耦与气浮球轴承角度解耦的零刚度隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过气浮球轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047361A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210578284.3
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16C32/06
Abstract: 滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间分别通过气浮面进行润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度与角度解耦特性，可获得极低的固有频率和突出的低频/超低频隔振性能，从而有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机的高性能隔振问题。
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