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公开(公告)号：CN109186434B
公开(公告)日：2022-11-15
申请号：CN201810889933.9
申请日：2018-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三维量子隧穿的非接触亚纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用三维量子隧穿原理传感，首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间，再采用偏置电场发生系统产生偏置电压加载在微测球和被测件之间形成偏置电场，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号，尔后通过隧穿信号检测系统以亚纳米分辨力提取瞄准间隙信息；本发明还提供了一种传感装置；本发明有效兼顾了亚纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN109186435B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201810890253.9
申请日：2018-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 接触/非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感，首先采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果，据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；针对非导体被测物采用接触探测原理传感，微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，同时也可针对非导体被测物进行测量，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN107992127A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711095898.5
申请日：2017-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D23/30
Abstract: 基于动态热容滤波的高精度恒温循环冷却水装置属于精密温控领域。采用基于半导体制冷片阵列的制冷模块实现制冷功能，通过电功率调节形式精确、快速调节制冷功率，采用具有翅片结构并浸没在循环水中的电加热器实现快速、精确加热功率调节，两者配合温度传感器和控制器实现循环水温度精确、快速闭环调节；在主动温度闭环反馈控制的基础上增加了动态的温度波动抑制模块，将一部分循环水截流存储于热容滤波装置的一侧通道之中，并利用其热容对热容滤波装置另一侧通道中的循环水进行温度波动抑制，提高冷水机供水温度稳定性，且截流的循环水可按需实时更新，具备动态特性。
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公开(公告)号：CN109186434A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201810889933.9
申请日：2018-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于三维量子隧穿的非接触亚纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用三维量子隧穿原理传感，首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间，再采用偏置电场发生系统产生偏置电压加载在微测球和被测件之间形成偏置电场，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号，尔后通过隧穿信号检测系统以亚纳米分辨力提取瞄准间隙信息；本发明还提供了一种传感装置；本发明有效兼顾了亚纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN109211079B
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN201810890252.4
申请日：2018-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 量子隧穿和球面散射场复合原理传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿和球面散射场复合原理传感，首先调整复合原理测头和被测件的相对距离进入工作区间，然后采用球面散射场原理得到瞄准间隙的粗测结果，据此将被测物和微测球的瞄准间隙直接调整至隧穿工作区间，然后通过三维量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107918419B
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201711047282.0
申请日：2017-10-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05D23/20
Abstract: 基于动态跟踪热容滤波的流体温度波动抑制装置属于精密温控技术领域，针对现有流体温度波动抑制装置无法满足动态温度控制性能需求的问题，提出了一种基于动态跟踪的流体温度波动抑制装置，流体一分为二同时流入一个换热装置的两侧通路，一侧通路中的流体直接流过，同时采用温度传感器来获取流体温度设定点变化情况，并以此来控制安装在另一侧通路入口处电控阀的开闭，从而截取一部分流体存储于该通路中作为温度波动抑制的热容滤波介质并保证介质温度与流体温度设定值一致，实现热容滤波介质温度对流体温度设定值的跟随，最终实现针对动态流体温度波动的抑制，为具有动态高精度温度需求的流体温度控制系统提供了有效的技术方案。
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公开(公告)号：CN109187640A
公开(公告)日：2019-01-11
申请号：CN201810907221.5
申请日：2018-08-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 接触或非接触复合原理纳米传感方法与装置属于精密传感与测量技术；本发明针对导体被测物采用量子隧穿原理传感，首先将被测物和微测球的瞄准间隙调整至隧穿工作区间，然后通过量子隧穿效应的产生将瞄准间隙转化为传感信号；针对非导体被测物采用接触探测原理传感，微测球接触被测物后其位移由弹性传递机构传递至敏感单元并转化为传感信号；本发明还提供了一种复合原理纳米传感装置；本发明在测量导体被测物时有效兼顾了纳米分辨力、三维各向同性和非接触式传感特性，同时也可针对非导体被测物进行测量，可实现大深宽比微纳/微小结构的高分辨力测量。
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公开(公告)号：CN103438840B
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201310112783.8
申请日：2013-03-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间二维柔性铰链结构的精密测头姿态调整架属于超精密测量领域，调整装置的大L板与小L板之间、小L板与前调姿板之间均采用弹性片进行柔性连接，且均留有一定的间隙用于调节倾角，通过调节旋配在细牙螺母中的螺钉可以分别对测头装卡件的二维倾角进行精密调节；本发明具有二维倾角精密调节的特性，可有效解决超精密测量仪器对测头垂直度的要求。
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公开(公告)号：CN103438840A
公开(公告)日：2013-12-11
申请号：CN201310112783.8
申请日：2013-03-18
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于空间二维柔性铰链结构的精密测头姿态调整架属于超精密测量领域，调整装置的大L板与小L板之间、小L板与前调姿板之间均采用弹性片进行柔性连接，且均留有一定的间隙用于调节倾角，通过调节旋配在细牙螺母中的螺钉可以分别对测头装卡件的二维倾角进行精密调节；本发明具有二维倾角精密调节的特性，可有效解决超精密测量仪器对测头垂直度的要求。
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公开(公告)号：CN103162625A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201310078588.8
申请日：2013-03-01
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 基于差动象散离焦检测的超精密三维瞄准与测量传感器属于精密仪器与测量技术领域，由差动象散离焦检测单元、柔性悬挂机构、精密调节机构和外壳组成，柔性悬挂机构由刚性十字架、弹性膜片、反射镜支架、测针组成，将测针的位移以高位移传递率传递到反射镜；差动象散离焦检测单元由DVD激光头、反射镜组成，对反射镜的位移进行高精度差动检测；精密调节机构由可移动楔形块、从动楔形块组成，实现初始状态下DVD激光头的高精度零位聚焦；本发明最大可测深宽比可达40∶1及以上，分辨力可达纳米级，解耦方便，抗干扰能力强，为具有大深宽比特征的深孔、狭槽等内腔体零件的高精度测量提供了一种有效的传感器。
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