一种碳化硅多角度刻蚀终端的制备方法及碳化硅二极管

    公开(公告)号:CN119767761A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202411905611.0

    申请日:2024-12-23

    Abstract: 本发明公开了一种碳化硅多角度刻蚀终端的制备方法及碳化硅二极管,该制备方法包括:在衬底上依次淀积碳化硅外延层和硬掩膜层,形成初始的终端;刻蚀硬掩膜层形成掩膜刻蚀沟槽;在终端表面旋涂光刻胶,使得掩膜刻蚀沟槽内的光刻胶厚度大于掩膜刻蚀沟槽两侧的终端表面上的光刻胶厚度;对终端上的光刻胶依次进行泛曝光、烘烤、显影以及坚膜处理,使得掩膜刻蚀沟槽的侧壁形成斜面光刻胶形貌;沿掩膜刻蚀沟槽向下刻蚀碳化硅外延层,直至消耗完所有光刻胶且形成碳化硅刻蚀沟槽;其中,碳化硅刻蚀沟槽的侧壁呈垂直刻蚀形貌、且侧壁和底面之间形成正角刻蚀形貌;去除剩余的硬掩膜层。本发明实现了以简单工艺制备较好电学性能的碳化硅功率器件。

    一种L2+级别自动驾驶域控制器、车辆定位的方法及自动泊车方法

    公开(公告)号:CN115743147A

    公开(公告)日:2023-03-07

    申请号:CN202211012392.4

    申请日:2022-08-23

    Abstract: 本发明公开了一种L2+级别自动驾驶域控制器、车辆定位的方法及自动泊车方法,涉及一种控制器,控制器包括一控制主板,所述控制主板上集成有多种连接器、中央处理器MCU、4G/5G模组、蓝牙模组、IMU姿态传感器模组、串行器、解串器、以太网交换机、CAN收发器、传感器硬件电路、多个集成图像处理器的SOC、热管理控制系统;同时将超声波雷达控制器和摄像头ISP模组集成到域控制器中;通过在域控制器上使用视觉SLAM实现建图及定位,从而实现AVP功能;本发明有效减少车辆零部件数量,增加多种功能,有效降低整车生产与售后的成本;提高内聚程度,降低耦合程度;能够满足ADAS域控制器的散热需求,为自动驾驶汽车域控制器正常使用提供保障。

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