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公开(公告)号：CN104596677A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201410583858.5
申请日：2014-10-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供传感器元件、力检测装置、机器人、电子部件输送装置、电子部件检查装置以及部件加工装置。传感器元件具有：层叠体，其具备：X型切割水晶板的第1基板；Y型切割水晶板的第2基板；以及Y型切割水晶板的第3基板，由第1基板、第2基板以及第3基板沿层叠方向层叠而成，当从层叠方向俯视观察时，第2基板的x轴与第3基板的x轴交叉，第2基板的z轴与第3基板的z轴交叉，具备与层叠方向平行的侧面；侧面电极，其设置于层叠体的侧面；以及连接电极，其配置于侧面电极与外部电极之间，并将侧面电极与外部电极电连接，层叠体具备设置于第1基板的单面的内部电极，内部电极与连接电极之间的分离距离为200μm以上。
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公开(公告)号：CN103308221A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310072538.9
申请日：2013-03-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: G01L1/16 , B25J13/085 , G01L5/167 , G01L5/226
Abstract: 本发明提供传感器模块、力检测装置以及机器人。传感器模块具备：第一部件，其具有：供具备电极的压电体元件配置的第一凹部；与第一部件接合的第二部件；与第二部件接触的第一板；与第一部件接触的第二板；以及紧固第一板以及第二板的紧固部，第一板形成有朝向第二部件突出的第一凸部，第一部件的第一凹部的内部高度比压电体元件高，压电体元件与第二部件接触。
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公开(公告)号：CN101312198B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810127806.1
申请日：2005-06-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/115
CPC classification number: H01L27/11502 , H01L21/76895 , H01L27/11507 , H01L28/57 , H01L28/60
Abstract: 本发明公开了一种半导体装置，虽然是叠式的但甚至在达到必要的尺寸实现精细化时仍具有允许的漏泄电流。该半导体装置包括电容器部(102)，该电容器部(102)包括设置在位于衬底(100)上的杂质层(117)上的SiO2层(119)上的下部电极(111)、设置在下部电极(111)上的铁电层(109)；以及设置在铁电层(109)上的上部电极(107)。该半导体装置还包括：SiO2层(118)，使上部电极(107)和布线(105)电气绝缘；接触孔(103a)，形成W塞(113)，用于在杂质层(117)和下部电极(111)之间电连接；以及接触孔(103b)，用于在上部电极(107)和布线(105)之间电连接。在电容器部(102)的平面图中，接触孔(103a)和接触孔(103b)位于相互偏离的位置上。
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公开(公告)号：CN1713383A
公开(公告)日：2005-12-28
申请号：CN200510073237.3
申请日：2005-06-01
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L27/11502 , H01L21/76895 , H01L27/11507 , H01L28/57 , H01L28/60
Abstract: 本发明公开了一种半导体装置，虽然是叠式的但甚至在达到必要的尺寸实现精细化时仍具有允许的漏泄电流。该半导体装置包括电容器部(102)，该电容器部(102)包括设置在位于衬底(100)上的杂质层(117)上的SiO2层(119)上的下部电极(111)、设置在下部电极(111)上的铁电层(109)；以及设置在铁电层(109)上的上部电极(107)。该半导体装置还包括：SiO2层(118)，使上部电极(107)和布线(105)电气绝缘；接触孔(103a)，形成W塞(113)，用于在杂质层(117)和下部电极(111)之间电连接；以及接触孔(103b)，用于在上部电极(107)和布线(105)之间电连接。在电容器部(102)的平面图中，接触孔(103a)和接触孔(103b)位于相互偏离的位置上。
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公开(公告)号：CN109773764B
公开(公告)日：2023-11-07
申请号：CN201811346177.1
申请日：2018-11-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供一种机器人，能够降低碰撞时的危险性。该机器人的特征在于具有：机器人主体部，具备基座、设置为相对于所述基座能够转动的第一可动部以及设置为相对于所述第一可动部能够转动的第二可动部；第一接近传感器，用于检测物体相对于所述第一可动部的接触或靠近；以及第二接近传感器，用于检测物体相对于所述第二可动部的接触或靠近，所述第一接近传感器具备静电电容随着所述物体的接触或靠近而变化的第一电极部以及用于检测所述第一电极部的静电电容的第一电路部，所述第二接近传感器具备静电电容随着所述物体的接触或靠近而变化的第二电极部以及用于检测所述第二电极部的静电电容的第二电路部。
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公开(公告)号：CN108106757B
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：CN201711019828.1
申请日：2017-10-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 神谷俊幸
Abstract: 提供一种具备高力学检测特性的力检测传感器、力传感器、扭矩传感器及机器人。力检测传感器具备：基体，具备从外部接受力的第一面、及法线方向与所述第一面的法线方向不同的第二面；以及电极指，配置在所述第二面上；在所述第二面的俯视图中，所述电极指的排列方向与所述第一面的法线方向不同。另外，所述第二面由压电体的表面构成。另外，所述压电体的构成材料是水晶。另外，所述第一面与所述水晶的电轴相交。
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公开(公告)号：CN108020362B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201710945824.X
申请日：2017-10-11
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 神谷俊幸
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明提供了具有高力检测特性的力检测传感器、力觉传感器以及机器人。力检测传感器具有：基体，包括从外部受力的第一面以及法线方向与所述第一面不同的第二面；以及梳齿电极，配置在所述第二面上。另外，所述第二面由于所述第一面受到所述力而变形。另外，所述第二面具有由压电体的表面构成的部分，在所述部分形成有所述梳齿电极。另外，所述压电体是水晶。另外，所述第二面与所述水晶的电轴平行。
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公开(公告)号：CN110057484B
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：CN201811533833.9
申请日：2014-11-03
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01L5/167 , G01L5/22 , G01P15/09 , G01P15/18 , H01L41/04 , H01L41/083 , H01L41/113
Abstract: 本发明提供一种力检测装置、机器人以及电子部件输送装置。力检测装置具备第一基部、第二基部、以及配置于它们之间的电荷输出元件。电荷输出元件具有由Y切向水晶板构成的第一基板以及由Y切向水晶板构成的第二基板，这些基板沿与第二基部的安装面的法线正交的方向层叠。而且，力检测装置基于与和第一基板的层叠方向正交的第一检测方向的剪切力对应的第一输出以及与和第二基板的层叠方向正交、和第一检测方向交叉的第二检测方向的剪切力对应的第二输出对外力进行检测。
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公开(公告)号：CN110549330A
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201910460439.5
申请日：2019-05-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 一种机器人、控制装置以及机器人的控制方法，力传感器的检测精度高。所述机器人的特征在于，具有：基座；机械臂，相对于所述基座相对转动；力传感器，检测外力；以及传感器部，检测在沿所述机械臂设定的预定区域是否存在物体，当所述机械臂的动作处于停止或者等速动作，并且根据所述传感器部的检测结果判断为在所述预定区域不存在物体时，校正所述力传感器的检测值。
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