公开(公告)号：CN111373509B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN201880075847.2

申请日：2018-03-30

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 佐伯尚哉 ,  古野健太

IPC: H01L21/301 ,  H01L21/56 ,  H01L23/00

Abstract: 本发明提供一种支撑片，其具备基材，且在基材上具备粘着剂层，基材的粘着剂层侧的面为凹凸面，从支撑片的5处切取试验片，并观察这5片试验片中的粘着剂层的截面时，(相邻的明显的顶点之间的直线距离的合计)/(在水平于粘着剂层的方向上的直线距离)的比的平均值(R值)为1.5以上且小于5.0。本发明提供一种保护膜形成用复合片，其在该支撑片中的粘着剂层上具备保护膜形成用膜。

公开(公告)号：CN112111236B

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202010468045.7

申请日：2020-05-28

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 米山裕之 ,  山本大辅 ,  古野健太

IPC: C09J7/24 ,  C09J7/25 ,  C09J133/08 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683 ,  H01L21/78

Abstract: 本发明提供一种保护膜形成用复合片，其具备防污片、与形成在所述防污片的一个面上的保护膜形成用膜，所述保护膜形成用复合片的宽度的最大值为155～194mm、205～250mm、305～350mm或455～500mm，宽度为15mm的所述防污片的试验片能够伸长15％以上，且在伸长10％时的拉伸强度为4.0N/15mm以上。

公开(公告)号：CN116457206A

公开(公告)日：2023-07-18

申请号：CN202280007249.8

申请日：2022-01-13

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 古野健太 ,  福元彰朗 ,  若山洋司 ,  古川喜章

IPC: B32B27/00

Abstract: 本发明提供一种工件处理片1，其具备基材12与界面烧蚀层11，界面烧蚀层11层叠在基材12的单面侧、能够保持工件小片且通过激光照射进行界面烧蚀，界面烧蚀层11含有活性能量射线固化性成分、光聚合引发剂及紫外线吸收剂。即使是微小的工件小片，该工件处理片也能够良好地进行处理。

公开(公告)号：CN111630631B

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN201880086844.9

申请日：2018-03-30

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 佐伯尚哉 ,  古野健太

IPC: H01L21/301 ,  C09J7/20 ,  H01L21/56 ,  H01L23/00

Abstract: 本发明提供一种支撑片，其具备基材，且在基材上具备粘着剂层，基材的粘着剂层侧的面为凹凸面，从支撑片的5处切取大小为3mm×3mm的试验片，并求出这5片试验片中的粘着剂层的所述基材侧的相邻的凸部的顶点间的间距的平均值时，所述间距的平均值为3μm以上且小于15μm。保护膜形成用复合片在该支撑片中的粘着剂层上具备保护膜形成用膜。

公开(公告)号：CN116261585A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202180063345.X

申请日：2021-12-10

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 古野健太 ,  福元彰朗 ,  若山洋司 ,  山口征太郎

IPC: C09J5/00

Abstract: 本发明提供一种工件处理片1，其具备基材12及界面剥蚀层11，所述界面剥蚀层11层叠在基材12的一个面侧上，所述界面剥蚀层11可以在保持工件小片2的同时，通过激光的照射进行界面剥蚀，所述工件处理片1的特征在于，界面剥蚀层11含有紫外线吸收剂。这样的工件处理片即使是微细的工件小片也可以良好地进行处理。

公开(公告)号：CN113692352A

公开(公告)日：2021-11-23

申请号：CN202080026612.1

申请日：2020-04-24

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 上道厚史 ,  根本拓 ,  中石康喜 ,  古野健太

IPC: B32B27/16 ,  B32B7/025 ,  B32B7/04 ,  H01L23/00 ,  B23K26/00 ,  B32B15/08 ,  H01L21/301

Abstract: 本发明涉及一种第三层叠体(19)的制造方法，其中，工件(14)的一个面为电路面(14a)，另一个面为背面(14b)，背面保护膜形成用膜(13)的一个面为平滑面(13b)，另一个面为比平滑面(13b)粗糙的粗糙面(13a)，所述制造方法依次包括：将背面保护膜形成用膜(13)的粗糙面(13a)朝向工件(14)的背面(14b)进行贴附的第一层叠工序；及在背面保护膜形成用膜(13)的平滑面(13b)上贴附支撑片(10)的第二层叠工序。

公开(公告)号：CN111602229A

公开(公告)日：2020-08-28

申请号：CN201880086831.1

申请日：2018-03-30

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 佐伯尚哉 ,  古野健太

IPC: H01L21/301 ,  C09J7/20 ,  H01L21/56 ,  H01L23/00

Abstract: 本发明提供一种支撑片，其具备基材，且在基材上具备粘着剂层，基材的粘着剂层侧的面为凹凸面，从支撑片的5处切取大小为3mm×3mm的试验片，并分别求出这5片试验片中的粘着剂层的厚度的最小值及最大值时，所述最大值的平均值(L值)相对于所述最小值的平均值(S值)的比率(L值/S值)为1.2以上且小于5.0。保护膜形成用复合片在该支撑片中的粘着剂层上具备保护膜形成用膜。

公开(公告)号：CN111466014A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN201880079841.2

申请日：2018-03-30

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 佐伯尚哉 ,  古野健太

IPC: H01L21/301 ,  H01L23/00

Abstract: 本发明涉及一种保护膜形成用复合片，其具有具备基材且在所述基材上具备粘着剂层的支撑片，并在所述支撑片中的粘着剂层上具有保护膜形成用膜，所述基材的所述粘着剂层侧的面为凹凸面，从所述保护膜形成用复合片的5处裁切试验片，并分别对这5片试验片的所述保护膜形成用膜与所述支撑片的非贴合区域的层间距离进行测定时，所述层间距离为0.5μm以下。

公开(公告)号：CN111417513A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201980006068.1

申请日：2019-03-08

Applicant: 琳得科株式会社

Inventor： 古野健太 ,  米山裕之

IPC: B32B7/022 ,  B23K26/38 ,  B23K26/53 ,  C09J7/10 ,  C09J201/00 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明提供一种保护膜形成用复合片，其包含具有基材的支撑片、与所述支撑片上所具备的热固性保护膜形成用膜，该基材具有-15℃下的损耗角正切(tanδ)为0.05以上、且80℃下的储能模量(G’)为35.0MPa以上的特性。