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公开(公告)号：CN117917487A
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202311340404.0
申请日：2023-10-17
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 提供一种在成膜时能够抑制渗出液进入到丝网掩模与基材之间的金属被膜的成膜装置。掩模结构体(60)具备形成有预定图案(P)的贯通部分(68)的丝网掩模(62)。丝网掩模(62)具备：以格状形成有开口部(64c)的网眼部分(64)、以及在基材(B)侧固定于网眼部分(64)并形成有贯通部分(68)的掩模部分(65)。掩模部分(65)具有：保持掩模部分(65)的形状的芯部分(65a)、以及由比芯部分(65a)软质的弹性材料构成且与基材(B)接触的密封部分(65b)。
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公开(公告)号：CN113764283B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202110366798.1
申请日：2021-04-06
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: H01L21/48
Abstract: 提供防止了在预定的布线图案以外的区域析出金属的布线基板的制造方法。首先，准备带种层基材。在此，所述带种层基材包括：绝缘性基材、设置在所述绝缘性基材上的具有亲水性的表面的导电性的基底层、设置于所述基底层的表面的具有预定图案的第1区域的导电性的种层及设置于所述基底层的表面的第1区域以外的区域即第2区域的疏水层。接着，在所述种层的表面形成金属层。在此，在所述带种层基材与阳极之间配置含有包含金属离子的水溶液的固体电解质膜，使所述固体电解质膜和所述种层压接并向所述阳极与所述种层之间施加电压。之后，对所述疏水层及所述基底层进行蚀刻。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113897646B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202110755724.7
申请日：2021-07-05
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 本公开提供能够提高基底层与种子层的紧贴性的布线基板的制造方法。准备在基材(11)的表面设置有具有导电性的基底层(12)且在基底层(12)的表面设置有含有金属的种子层(13)的带种子层基材(10)。通过对种子层(13)照射激光，在基底层(12)与种子层(13)之间形成构成基底层(12)的元素与构成种子层(13)的元素相互扩散而形成的扩散层(14)。在阳极(51)与作为阴极的种子层(13)之间配置固体电解质膜(52)，对阳极(51)与基底层(12)之间施加电压，在种子层(13)的表面形成金属层(15)。将基底层(12)中的、从种子层(13)露出的部分(12a)从基材(11)除去。
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公开(公告)号：CN115976610A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211252191.1
申请日：2022-10-13
Applicant: 丰田自动车株式会社
Inventor： 近藤春树
Abstract: 本发明提供金属覆膜的成膜装置以及金属覆膜的成膜方法。通过抑制电解液在固体电解质膜与基材之间滞留，能够进行均质的金属覆膜的成膜。金属覆膜的成膜装置至少具备：阳极；固体电解质膜，配置于阳极与基材之间；电源部，对阳极与基材之间接通电流；载置台，形成有与基材的形状对应的收容凹部，通过向收容凹部收容基材，载置基材；以及壳体，与阳极一起形成收容电解液的收容室，以密封收容室的方式安装有固体电解质膜，在载置台设置有将透过固体电解质膜的电解液从与壳体的侧壁的端面对置的位置排液的排液部。
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公开(公告)号：CN115505981A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202210705901.5
申请日：2022-06-21
Applicant: 丰田自动车株式会社
Inventor： 近藤春树
Abstract: 提供使用了固体电解质膜的金属膜形成方法，该方法能够形成具有平滑的表面的金属膜，并且能够充分地发挥添加剂的功能。一种形成金属膜的方法，依次包含：(a)向溶液收纳空间供给溶液的步骤，所述溶液含有金属的离子、以及添加剂；(b)在溶液收纳空间未与溶液罐连通、且保持于台座的基板和固体电解质膜接触的状态下提高溶液收纳空间内的溶液的压力的步骤；(c)降低溶液收纳空间内的溶液的压力的步骤；以及，(d)一边在溶液收纳空间与溶液罐之间使溶液循环，一边在阳极与基板之间施加电压，从而在基板上形成所述金属的膜的步骤。
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公开(公告)号：CN113811081A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110581780.3
申请日：2021-05-24
Applicant: 丰田自动车株式会社
Abstract: 本公开提供防止在预定的布线图案以外的区域析出金属的布线基板的制造方法。首先，准备带籽晶层基材。所述带籽晶层基材依次具备绝缘性基材、导电性的基底层及设置在具有预定图案的第1区域的导电性的籽晶层。接着，形成覆盖所述籽晶层及所述基底层的绝缘层。接着，对所述绝缘层进行蚀刻而使所述籽晶层的表面露出，并且在第2区域中形成覆盖所述基底层的残留绝缘层。接着，在所述籽晶层与阳极之间配置含有包含金属离子的水溶液的固体电介质膜，一边使所述固体电介质膜和所述籽晶层压接、一边向所述阳极与所述籽晶层之间施加电压，由此在所述籽晶层的表面形成金属层。之后，除去所述残留绝缘层，对所述基底层进行蚀刻。
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公开(公告)号：CN110118813A
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201910055687.1
申请日：2019-01-21
Applicant: 丰田自动车株式会社
IPC: G01N27/406 , G01N27/407
Abstract: 本发明涉及气体传感器元件。本发明的目的在于提供具备连续覆水时的防水性提高的多孔保护层的气体传感器元件。本发明涉及气体传感器元件，是将在两侧具备至少一对电极的固体电解质体与包含发热源的发热体层叠而形成检测部，在该检测部的周围形成多孔保护层而成的气体传感器元件，其中，上述多孔保护层由包含氧化铝的骨料和包含二氧化硅的涂覆料形成，上述多孔保护层的相对于上述骨料和上述涂覆料的合计重量的上述涂覆料的重量浓度x(重量％)和气孔率y(％)满足下述的式(1)y≤0.0058x2-1.2666x+68(1)，上述多孔保护层的100nm以下的细孔径的细孔容积为0.02mL/g以下。
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