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公开(公告)号:CN109709118A
公开(公告)日:2019-05-03
申请号:CN201811238458.5
申请日:2018-10-23
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/20 , G01N23/20008
CPC classification number: G21K1/06 , G01N23/20016 , G01N23/207 , G21K1/025
Abstract: 本发明提供一种索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法,即便在基于GIXD的测定中X射线照射区域在试料表面上展宽,检测器上的衍射像在面内方向也不会展宽,能够以短的测定时间且高的分辨率来进行测定。索勒狭缝(100)具备多个金属制的薄板(110),所述多个金属制的薄板(110)各自相对于底面垂直,相互隔开规定的角度间隔被排列为拱形,使得从特定的焦点向放射方向通过X射线,该索勒狭缝(100)被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至试料并在试料面上被衍射的X射线以测角器圆的中心为特定的焦点来通过的位置而被使用。
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公开(公告)号:CN107110798A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580069728.2
申请日:2015-10-02
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/223
CPC classification number: G01N23/223 , G01N15/0211 , G01N23/2055 , G01N23/2076 , G01N23/22 , G21K1/02 , G21K1/04 , G21K1/06 , G21K1/062
Abstract: 本发明的掠入射荧光X射线分析装置(1)包括:X射线源(2);弯曲分光元件(4),该弯曲分光元件(4)对从X射线源(2)所放射的X射线(3)进行分光,形成汇聚于试样(S)的表面的一定位置(15)的X射线束(5);狭缝(6),该狭缝(6)设置于弯曲分光元件(4)和试样(S)之间,具有线状开口(61);狭缝移动机构(7),该狭缝移动机构(7)将狭缝(6)移动到与通过线状开口(61)的X射线束(5)相交叉的方向;掠射角设定机构(8),该掠射角设定机构(8)在通过狭缝移动机构(7)移动狭缝(6)后,将X射线束(5)的掠射角(α)设定在所需的角度;检测器(10),该检测器(10)测定从照射了X射线束(5)的试样(S)而产生的荧光X射线(9)的强度。
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公开(公告)号:CN102472714A
公开(公告)日:2012-05-23
申请号:CN201080029423.6
申请日:2010-06-30
Applicant: 株式会社理学
IPC: G01N23/207 , G21K1/02 , G21K1/06 , G21K3/00 , G21K5/02
CPC classification number: G21K1/06 , B82Y10/00 , G01J3/12 , G21K1/062 , G21K2201/064 , H01J2237/1205 , H01J2237/1516
Abstract: 本发明提供一种X射线装置、其使用方法以及X射线照射方法,该X射线装置产生能量宽度狭小的虚拟射线源,并能够进行高分解能力的X射线衍射测定。X射线装置(100)包括:分光器(105),该分光器将发散X射线一边进行分光一边进行集光;以及选择部(107),该选择部设置于被集光的X射线的集光位置,选择特定范围波长的X射线而使其通过,产生虚拟射线源。由此,能够在焦点(110)上产生具有狭小能量宽度的虚拟射线源,通过该虚拟射线源,能够进行高分解能力的X射线衍射测定。通过使用X射线装置(100),从而能够充分地分离例如Kα1射线和Kα2射线那样非常狭小能量宽度的X射线。此外,也能够切出连续的X射线的一部分而形成虚拟射线源。
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