索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法

    公开(公告)号:CN109709118A

    公开(公告)日:2019-05-03

    申请号:CN201811238458.5

    申请日:2018-10-23

    CPC classification number: G21K1/06 G01N23/20016 G01N23/207 G21K1/025

    Abstract: 本发明提供一种索勒狭缝、X射线衍射装置以及方法,即便在基于GIXD的测定中X射线照射区域在试料表面上展宽,检测器上的衍射像在面内方向也不会展宽,能够以短的测定时间且高的分辨率来进行测定。索勒狭缝(100)具备多个金属制的薄板(110),所述多个金属制的薄板(110)各自相对于底面垂直,相互隔开规定的角度间隔被排列为拱形,使得从特定的焦点向放射方向通过X射线,该索勒狭缝(100)被设置于以掠入射X射线衍射用的角度被照射至试料并在试料面上被衍射的X射线以测角器圆的中心为特定的焦点来通过的位置而被使用。

    掠入射荧光X射线分析装置和方法

    公开(公告)号:CN107110798A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201580069728.2

    申请日:2015-10-02

    Inventor: 表和彦 山田隆

    Abstract: 本发明的掠入射荧光X射线分析装置(1)包括:X射线源(2);弯曲分光元件(4),该弯曲分光元件(4)对从X射线源(2)所放射的X射线(3)进行分光,形成汇聚于试样(S)的表面的一定位置(15)的X射线束(5);狭缝(6),该狭缝(6)设置于弯曲分光元件(4)和试样(S)之间,具有线状开口(61);狭缝移动机构(7),该狭缝移动机构(7)将狭缝(6)移动到与通过线状开口(61)的X射线束(5)相交叉的方向;掠射角设定机构(8),该掠射角设定机构(8)在通过狭缝移动机构(7)移动狭缝(6)后,将X射线束(5)的掠射角(α)设定在所需的角度;检测器(10),该检测器(10)测定从照射了X射线束(5)的试样(S)而产生的荧光X射线(9)的强度。

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