-
公开(公告)号：CN117581478A
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202280045585.1
申请日：2022-07-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够减小谐振点与反谐振点下的声速温度系数之差ΔTCV的绝对值的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：压电性基板(2)，包含声反射层(声反射膜(24))和设置在声反射层上的压电体层(6)；以及IDT电极(7)，设置在压电性基板(2)上，具有多个电极指(多个第1电极指(18)、第2电极指(19))。在将由IDT电极(7)的电极指间距规定的波长设为λ时，压电体层(6)的厚度为3λ以下。电极指包含至少一层电极层。基于电极层与Al的密度比而换算为电极层由Al构成的情况的电极层的厚度的总和为压电体层(6)的厚度以上。
-
公开(公告)号：CN117321915A
公开(公告)日：2023-12-29
申请号：CN202280035310.X
申请日：2022-05-09
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
IPC: H03H9/145
Abstract: 本发明提供一种能够抑制压电层的主面处的弹性波的泄漏的压电体波装置。本发明涉及的压电体波装置(10)具备：支承构件(13)，包含支承基板；压电层(14)，设置在支承构件(13)上，具有相互对置的第1主面(14a)和第2主面(14b)；和IDT电极(11)，设置在压电层(14)的第1主面(14a)或者第2主面(14b)，具有相互对置的第1、第2汇流条(26、27)(1对汇流条)以及多个电极指。在支承构件(13)设置有声反射部。在俯视下，声反射部与IDT电极(11)的至少一部分重叠。在将压电层(14)的厚度设为d，将相邻的电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。第1、第2汇流条(26、27)分别包含在与电极指延伸的方向交叉的方向上延伸的至少1个狭缝(22、24)。
-
公开(公告)号：CN116458063A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202280007223.3
申请日：2022-08-04
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
IPC: H03H9/25
Abstract: 本发明抑制弹性波的泄漏。弹性波装置具备：支承构件，具备在第1方向上具有厚度的支承基板；压电层，设置在支承构件的第1方向上；和IDT电极，设置在压电层的主面，具有在与第1方向交叉的第2方向上延伸的多个第1电极指、连接了多个第1电极指的第1汇流条电极、在与第2方向正交的第3方向上与多个第1电极指的任意者对置且在第2方向上延伸的多个第2电极指、以及连接了多个第2电极指的第2汇流条电极。在第1方向上俯视时，压电层在至少一个第1电极指与第2汇流条电极之间或者至少一个第2电极指与第1汇流条电极之间的间隙区域中，包含具备第1压电体、以及介电极化的状态与第1压电体不同的第2压电体的压电层叠构造体。
-
公开(公告)号：CN110999080B
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN201880051492.3
申请日：2018-07-20
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种在其它弹性波滤波器中不易产生由高阶模造成的纹波的弹性波装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)，是硅基板；氮化硅膜(3)，层叠在支承基板(2)上；氧化硅膜(4)，层叠在氮化硅膜(3)上；压电体(5)，层叠在氧化硅膜(4)上，且由钽酸锂构成；以及IDT电极(6)，设置在压电体(5)的一个主面，关于压电体的波长归一化膜厚TLT、压电体的欧拉角θLT、所述氮化硅膜的波长归一化膜厚TN、氧化硅膜(4)的波长归一化膜厚TS、通过所述IDT电极的波长归一化膜厚和所述IDT电极的密度相对于铝的密度之比的积求出的、换算为铝的厚度的IDT电极(6)的波长归一化膜厚TE、支承基板(2)的传播方向ψSi、支承基板(2)的波长归一化膜厚TSi的值，TLT、θLT、TN、TS、TE、ψSi被设定为由下述的式(1)表示的与第一高阶模的响应强度对应的Ih、与第二高阶模的响应强度对应的Ih、以及与第三高阶模的响应强度对应的Ih中的至少一个大于‑2.4，且TSi>20。[数学式1]
-
公开(公告)号：CN114424458A
公开(公告)日：2022-04-29
申请号：CN202080066157.8
申请日：2020-09-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 即便在推进了小型化的情况下也能够提高Q值，并且能够实现小型化。弹性波装置还具备压电体层(4)、第一电极(51)和第二电极(52)、第一分割谐振器(RS3)和第二分割谐振器(RS4)以及支承基板(2)。支承基板(2)具有第一能量封闭层和第二能量封闭层。第一能量封闭层与压电体层(4)的第一区域(451)的至少一部分重叠。第二能量封闭层与压电体层(4)的第二区域(452)的至少一部分重叠。在支承基板(2)中，第一能量封闭层和第二能量封闭层被一体形成。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113632376A
公开(公告)日：2021-11-09
申请号：CN202080023206.X
申请日：2020-03-31
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 提供一种能够提高Q特性的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，依次层叠有能量封闭层(3)、使用了切割角为‑10°以上且65°以下的Y切割X传播的钽酸锂的压电体层(7)以及IDT电极(8)。IDT电极(8)的多个电极指包含层叠体，该层叠体具有Al金属层(15)和杨氏模量为200GPa以上且声阻抗比Al高的高声阻抗金属层(14)。高声阻抗金属层(14)位于比Al金属层(15)更靠压电体层(7)侧。通过由电极指间距规定的波长λ，压电体层(7)的波长相对膜厚tLT可用tLT≤1λ来表示。关于通过Al金属层(15)的密度以及杨氏模量对电极指的各层的膜厚进行了归一化的各归一化膜厚的合计T，满足下述的式1。T≤0.1125tLT+0.0574…式1。
-
-
公开(公告)号：CN119605084A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202380059442.0
申请日：2023-08-25
Applicant: 株式会社村田制作所
Abstract: 本发明提供一种能够推进滤波器装置的小型化并且能够减小插入损耗的弹性波装置。本发明涉及的弹性波装置具备：压电膜，包含包括铌酸锂的压电层；第1梳形电极，设置在压电层上，具有第1汇流条和多个第1电极指；第2梳形电极，具有第2汇流条和与多个第1电极指相互交错对插的多个第2电极指；以及第3电极，具有多个第3电极指和将相邻的第3电极指彼此连接的连接电极，并连接于与第1梳形电极以及第2梳形电极不同的电位，多个第3电极指分别设置在压电层上，使得在俯视时与第1电极指以及第2电极指排列在第1电极指和第2电极指排列的方向上。关于第1电极指、第2电极指以及第3电极指排列的顺序，在从第1电极指开始的情况下，是将第1电极指、第3电极指、第2电极指以及第3电极指作为一个周期的顺序。在俯视时，在电极指延伸方向上位于多个第1电极指的前端与第2汇流条之间且不包含连接电极并且在电极指正交方向上延伸的区域、第1间隙区域（G1）以及第2间隙区域（G2）中的至少任一者的至少一部分设置有质量附加膜。
-
公开(公告)号：CN119174105A
公开(公告)日：2024-12-20
申请号：CN202380039797.3
申请日：2023-05-12
Applicant: 株式会社村田制作所
IPC: H03H9/145
Abstract: 抑制无用波。具备在一个主面具有空间部的支承构件、设置于支承构件的一个主面的压电层、以及在压电层的至少一个主面设置为在从支承构件和压电层的层叠方向即第1方向观察时至少一部分与空间部重叠的功能电极。功能电极具备具有第1汇流条、第2汇流条、多个第1电极指和多个第2电极指的IDT电极。多个第1电极指以及多个第2电极指之中至少一根电极指具有宽度在第2方向上线性变化的部分。在该至少一根电极指中，在将基端处的宽度与基端和顶端之间的最小宽度之比设为1+σ：1‑σ的情况下，σ为0.01以上且0.054以下。
-
公开(公告)号：CN118285056A
公开(公告)日：2024-07-02
申请号：CN202280076783.4
申请日：2022-11-18
Applicant: 株式会社村田制作所
Inventor： 永友翔
Abstract: 抑制尺寸。弹性波装置具备第一压电层、在第一方向上与第一压电层重叠的第二压电层以及IDT电极。IDT电极具有第一汇流条电极、与第一汇流条电极对置的第二汇流条电极、设置于第一汇流条电极且朝向第二汇流条电极延伸的第一电极指以及设置于第二汇流条电极且朝向第一汇流条电极延伸的第二电极指，第一电极指及第二电极指在第一方向上被第一压电层和第二压电层夹着，沿着与第一方向交叉的第二方向延伸，并且在从与第二方向正交的第三方向观察时相互重叠地配置。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
66
records
(took 0.024 seconds)
