公开(公告)号：CN113632012A

公开(公告)日：2021-11-09

申请号：CN202080020066.0

申请日：2020-02-04

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山口贵大 ,  新庄淳一 ,  中野佑太 ,  泽崎尚树 ,  阿野诚士 ,  岩崎晃久

IPC: G03F7/42 ,  H01L21/027 ,  H01L21/304

Abstract: 本发明的目的在于提供衬底处理方法，其解决了若欲仅依赖臭氧的分解作用来除去阻剂膜，则处理时间变长的课题；虽然利用使阻剂膜溶胀而促进剥离，但在溶胀进行的程度上还存在较大改善的余地的课题，能够抑制废液处理的负担，并且能够在短时间内从衬底除去阻剂膜。衬底处理方法，其具备：使含臭氧水溶液(920)与衬底(901)上的阻剂膜接触的工序；以及使与含臭氧水溶液(920)相比以高浓度含有氨的含氨水溶液(930)与阻剂膜中的、已经与含臭氧水溶液(920)相接触的部分(P1)接触的工序。

公开(公告)号：CN113363180A

公开(公告)日：2021-09-07

申请号：CN202110243978.0

申请日：2021-03-05

Applicant: 株式会社斯库林集团

Inventor： 山口贵大 ,  泽岛隼 ,  东克栄 ,  小林健司

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明的课题在于提高蚀刻轮廓的自由度。本发明的衬底处理方法包括如下工序：使衬底旋转；使用中央喷嘴向旋转的衬底的中央部喷出第1处理液；以及使用边缘喷嘴向旋转的衬底的边缘部喷出第2处理液，俯视时该边缘部包围着中央部；边缘喷嘴从相对于衬底的主表面倾斜的方向，顺着衬底的旋转方向喷出第2处理液，且边缘喷嘴向如下位置的衬底的边缘部喷出第2处理液，即，俯视时从连结衬底的中心和中央喷嘴的线，顺着衬底的旋转方向前进半周后的位置。