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公开(公告)号：CN1255981A
公开(公告)日：2000-06-07
申请号：CN99800002.7
申请日：1999-01-11
Applicant: 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
Abstract: 一种供如半导体制造设备中气体供给系统用的流体供给设备,它使得有可能在开始供给流体或流体转换时高精度控制流体流速而不产生流体的瞬时过冲现象。本发明的流体供给设备包括:压力流量控制器,用来调节流体的流率;流体转换阀,用来打开和关闭压力流量控制器次级侧的流体通道;以及流体供给控制单元,用来控制压力流量控制器和流体转换阀的操作;压力流量控制器包括:注流孔5;设置在注流孔5上游侧的控制阀1;设置在控制阀1和注流孔5之间的压力检测器3;以及计算控制单元6,它把流率信号Qc和流率指定信号Qs之间的差值作为控制信号Qy输入到控制阀1的驱动器2,流率信号Qc是利用流率Qc=KP1( K=常数)、根据由压力检测器3检测到的压力P1计算的;其中,通过借助打开和关闭控制阀1来调节注流孔上游侧的压力P1而控制注流孔5下游侧的流率。
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公开(公告)号：CN110114601A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201780080823.1
申请日：2017-12-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 一种压电元件驱动式阀，具备：设置于流路的阀座及离接于阀座的阀体；以及压电元件，所述压电元件驱动式阀被构成为：通过所述压电元件的伸长而移动所述阀体；所述压电元件驱动式阀具备对压电元件的伸长量进行检测的检测机构，检测机构包括应变传感器，阀体的移动量基于应变传感器的输出而检测。
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公开(公告)号：CN105814410B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201480054854.6
申请日：2014-12-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明涉及流路密封构造，能够省略将孔板或者过滤板对作为母材的孔座或者过滤器座进行焊接或者敛缝的工序，并且能够实现进一步的小型化。其具备：主体块体(1)，形成有主体流路(1a，1b)；凹部(12，13)，形成于主体块体(1)的侧面，且在内周面形成有雌螺纹；薄板(6，8)，抵接于所述凹部的深处，且形成有通孔；垫圈(16，17)，抵接于薄板(6，8)；按压配管(20，21)，具有能够与主体流路(1a，1b)连通的内部流路和扩径部，且抵接于所述垫圈；紧固螺丝(22)，外插于所述按压配管，并且螺旋拧入所述雌螺纹，抵接于所述扩径部而对所述按压配管进行按压。
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公开(公告)号：CN105659177B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201480049536.0
申请日：2014-10-15
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，在使用压力式流量控制装置的流体流量控制中，能够实现大幅度缩短流量切换时的下降响应时间，提高下降响应特性。本发明构成包括以下部件的压力式流量控制装置：设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和将流体通路和排气出口之间连通的排气通路的主体；固定于主体的流体入口侧并对流体通路的上游侧进行开闭的压力控制用控制阀；检测其下游侧的流体通路内压的压力传感器；设置在比所述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内的流孔；和对所述排气通路进行开闭的排气控制用控制阀，并且在利用该压力式流量控制装置进行流体流量的变更时，通过使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀动作，对压力控制用控制阀和流孔之间的流体通路空间内进行强制排气，从而提高流量变更时的下降响应速度。
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公开(公告)号：CN105164512B
公开(公告)日：2017-10-20
申请号：CN201480010081.1
申请日：2014-04-25
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J3/0205 , G01J5/0014 , G01J5/0875 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/33 , G02B1/02 , G02B7/007 , G02B27/022 , G02B27/028
Abstract: 本发明提供一种谋求在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计的构造的简单化、小型化、制品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性的浓度计。本发明是在由检测器的主体(2)和设置于检测器的主体的上面的光发信部(5a)以及设置于检测器的主体的下面的光检测部(5b)构成的光分析式原料流量浓度检测器中，由以下部件构成：通过在检测器的主体(2)的上面和下面设置的流体通路(2b)而连通的凹部(17)；安装在该凹部(17)内的垫片型密封件(6)；与垫片型密封件(6)相对向配置，将蓝宝石制透光窗板(11a)夹持紧固而气密性地嵌合固定的第一固定凸缘(14)和第二固定凸缘(16)；设置于第二固定凸缘(16)内的光纤(9)和光电二极管(10)；和将所述嵌合固定的两固定凸缘(14、16)经由垫片型密封件(6)气密性地固定于检测器主体(2)的凹部(17)内的保持固定体(12)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106687728A
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201580039826.1
申请日：2015-08-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K31/02 , F16K7/14 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/09
Abstract: 本发明提供一种在不使用复杂的机构就能够增大压电元件的位移量的同时，不给配线等带来障碍的压电元件驱动式阀以及具备压电元件驱动式阀的流量控制装置。本发明是一种压电元件驱动式阀(1)，其具备：主体(7)，该主体设置有流体通路(7a)以及阀座(7c)；阀体(8)，其与主体(7)的阀座(7c)抵接分离而开闭流体通路(7a)；和，压电致动器(16)，其利用压电元件的伸长而开闭驱动所述阀体(8)，其中，通过能够引出配线的隔离物(17)，将至少两个压电致动器(16)配设在一条直线上。
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公开(公告)号：CN105940251A
公开(公告)日：2016-09-14
申请号：CN201580002416.X
申请日：2015-02-10
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: F16K31/004 , F16K7/14 , F16K7/16 , F16K27/041 , F16K27/048 , F16K31/007 , F16K31/008 , G05D7/0635 , H01L41/053 , H01L41/083 , H01L41/23 , H01L41/25 , Y10T137/7761
Abstract: 本发明的目的在于实现压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置的薄型化。本发明的压电式线性致动器具备：层积压电致动器(2)；下部支撑部件(3)，支撑层积压电致动器(2)并在左右侧方向延伸；按压部件(4)，从上部按压层积压电致动器(2)并在左右侧方向延伸；导向部件(5)，连接于下部支撑部件(3)且引导按压部件(4)的左右；和变位传输部件(6)，传输由于层积压电致动器(2)的压电效果产生的变位，变位传输部件(6)具备：一对变位传输板(6a、6b)，以相对于下部支撑部件(3)及按压部件(4)能够上下移动的方式交差且在下部支撑部件(3)的下方及按压部件(4)的上方分别连接；调节螺丝(6g)，与一对变位传输板(6a、6b)连接，能够调节该变位传输板的相对于按压部件(4)的相对高度位置；输出部(6d)，与变位传输板(6a、6b)连接；和弹性体(9)，将该输出部弹推向下方。
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公开(公告)号：CN105659177A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480049536.0
申请日：2014-10-15
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G05D7/0635 , F16K7/14 , F16K31/004
Abstract: 本发明提供一种压力式流量控制装置，在使用压力式流量控制装置的流体流量控制中，能够实现大幅度缩短流量切换时的下降响应时间，提高下降响应特性。本发明构成包括以下部件的压力式流量控制装置：设置有将流体入口和流体出口之间连通的流体通路和将流体通路和排气出口之间连通的排气通路的主体；固定于主体的流体入口侧并对流体通路的上游侧进行开闭的压力控制用控制阀；检测其下游侧的流体通路内压的压力传感器；设置在比所述排气通路的分支部位靠下游的流体通路内的流孔；和对所述排气通路进行开闭的排气控制用控制阀，并且在利用该压力式流量控制装置进行流体流量的变更时，通过使压力控制用控制阀和排气控制用控制阀动作，对压力控制用控制阀和流孔之间的流体通路空间内进行强制排气，从而提高流量变更时的下降响应速度。
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公开(公告)号：CN105556411A
公开(公告)日：2016-05-04
申请号：CN201480049537.5
申请日：2014-11-25
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种可谋求流量切换时的下降响应时间缩短、可提高下降响应特性的压力式流量控制装置。本发明的压力式流量控制装置具备：主体(5)，设置有连通流体入口(2)与流体出口(3)之间的流体通路(4)；压力控制用控制阀(CV)，固定于主体(5)且开闭流体通路(4)；流孔(OL)，插入设置于压力控制用控制阀(CV)的下游侧的流体通路(4)；压力传感器(P1)，固定于主体(5)且检测压力控制用控制阀(CV)与流孔(OL)之间的流体通路(4)的内压，流体通路(4)具备：第一通路部(4a)，连接压力控制用控制阀(CV)与压力传感器(P1)的压力检测面(P1a)上的压力检测室(4b)，及第二通路部(4c)，与第一通路部(4a)分离且连接压力检测室(4b)与流孔(OL)。
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公开(公告)号：CN105164512A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201480010081.1
申请日：2014-04-25
Applicant: 株式会社富士金
CPC classification number: G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J3/0205 , G01J5/0014 , G01J5/0875 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/33 , G02B1/02 , G02B7/007 , G02B27/022 , G02B27/028
Abstract: 本发明提供一种谋求在有机原料流体的供给系统等中使用的浓度计的构造的简单化、小型化、制品成本的降低，能够将透光窗的透明度保持为一定而进行稳定的浓度测定，并且提高了气密性能和耐颗粒性的浓度计。本发明是在由检测器的主体(2)和设置于检测器的主体的上面的光发信部(5a)以及设置于检测器的主体的下面的光检测部(5b)构成的光分析式原料流量浓度检测器中，由以下部件构成：通过在检测器的主体(2)的上面和下面设置的流体通路(2b)而连通的凹部(17)；安装在该凹部(17)内的垫片型密封件(6)；与垫片型密封件(6)相对向配置，将蓝宝石制透光窗板(11a)夹持紧固而气密性地嵌合固定的第一固定凸缘(14)和第二固定凸缘(16)；设置于第二固定凸缘(16)内的光纤(9)和光电二极管(10)；和将所述嵌合固定的两固定凸缘(14、16)经由垫片型密封件(6)气密性地固定于检测器主体(2)的凹部(17)内的保持固定体(12)。
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