公开(公告)号：CN111560600A

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN202010080528.X

申请日：2020-02-05

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 志水彻 ,  南雅和

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C14/22 ,  C23C14/54

Abstract: 提供气化装置、成膜装置、程序记录介质及浓度控制方法。气化装置具备气化罐、载气供给路径、材料气体导出路径、浓度监测器和浓度控制机构，上述浓度控制机构具备：浓度计算部，基于来自上述浓度监测器的输出信号计算上述材料气体的实际浓度；浓度控制部，在供给上述材料气体的供给期间，进行以使构成上述浓度控制机构的流体控制设备的控制值成为预先设定的初始设定值的方式进行控制的第一控制后，进行以通过控制该流体控制设备而使上述实际浓度接近预先设定的目标值的方式进行反馈控制的第二控制；以及控制切换部，基于上述浓度控制部开始上述第一控制后的上述实际浓度的经时变化，将上述浓度控制部的控制状态从上述第一控制切换到上述第二控制。

公开(公告)号：CN111488003A

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN202010059308.9

申请日：2020-01-19

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 志水彻 ,  南雅和

IPC: G05D11/13

Abstract: 用于提供一种能够在不中断半导体制造工艺的情况下适当地实施浓度检测机构的调零的浓度控制装置，浓度控制装置具备：控制阀，其控制在导出流路中流动的气体；浓度检测机构，其对在该导出流路中流动的气体中所含的材料气体的浓度进行检测；浓度控制器，其以使由上述浓度检测机构检测出的检测浓度与预先设定的设定浓度之间的偏差变小的方式控制上述控制阀；基准时刻判定部，其对存在于通过上述浓度检测机构进行浓度检测的检测部的气体已被替换为其他气体的时刻即基准时刻进行判定；以及调零部，其在基准时刻以后进行上述浓度检测机构的调零。

公开(公告)号：CN110416113A

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201910308983.8

申请日：2019-04-17

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 林大介 ,  南雅和

IPC: H01L21/67

Abstract: 本发明提供一种基板处理装置及程序介质，为了不依赖于操作员的经验而能够高速且高精度地使腔室内的二维浓度分布或二维温度分布均匀，所述基板处理装置具备：收纳基板且被供给材料气体的腔室；从腔室的周围的多个地方朝向形成于腔室的周壁的入射窗射出激光的激光射出机构；对从多个地方射出而通过腔室内且从形成于腔室的周壁的射出窗射出的各激光进行检测的激光检测机构；以及控制装置，获取由激光检测机构检测到的各激光的光强度信号，并且基于该光强度信号，计算出腔室内的材料气体的二维浓度分布或腔室内的二维温度分布，基于该二维浓度分布或该二维温度分布控制流体控制设备。

公开(公告)号：CN109715851A

公开(公告)日：2019-05-03

申请号：CN201780048644.X

申请日：2017-07-26

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 西里洋 ,  南雅和 ,  坂口有平

IPC: C23C16/448 ,  C23C16/52 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/52 ,  C23C16/448 ,  G05D7/0635 ,  H01L21/205 ,  H01L21/67253

Abstract: 在对载气的流量进行调节以对混合气体中的材料气体的流量进行控制的气体控制系统中，避免长时间置于所述控制极限状况下。气体控制系统向收容有材料的槽罐(10)内导入载气，并将该材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述槽罐(10)导出，其包括：流量控制部(71)，利用对导入所述槽罐(10)的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐(10)导出的材料气体的流量进行控制；以及控制极限检测部(72)，检测控制极限状况，并输出该意旨，该控制极限状况是无法利用该流量控制部(71)对载气的流量调节，来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。

公开(公告)号：CN102541103A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110435861.9

申请日：2011-12-22

Applicant: 株式会社堀场STEC

Inventor： 南雅和

IPC: G05D11/13

Abstract: 本发明提供一种材料气体控制系统，即使在调整阀全开或全关时的材料气体的浓度值或流量值与设定值大致一致的情况下，也可诊断出浓度或流量的控制状态是否异常。材料气体控制系统包括：收容室；导入管，导入运载气体；导出管，导出包含材料气体及运载气体的混合气体；第一调整阀；测定计，测定材料气体的浓度或流量；第一阀控制部，以使测定计所测定出的测定浓度值或测定流量值达到预定的设定值的方式，将开放程度控制信号输出至第一调整阀；压力计，测定收容室内的压力；以及诊断部，当开放程度控制信号的值的时间变化量及压力计所测定出的测定压力值的时间变化量满足规定条件时，诊断出所述材料气体的浓度或流量的控制状态异常。