烧结接合用片及带基材的烧结接合用片

    公开(公告)号:CN111690341A

    公开(公告)日:2020-09-22

    申请号:CN202010172512.1

    申请日:2020-03-12

    Abstract: 提供适于层叠一体化、并且适于在经过半导体芯片的烧结接合的半导体装置制造过程中的烧结工艺中实现良好的作业效率的、烧结接合用片及带基材的烧结接合用片。本发明的烧结接合用片(10)包含含有导电性金属的烧结性颗粒及粘结剂成分。该烧结接合用片(10)基于纳米压痕法的载荷-位移测定中的卸载过程所达到的最小载荷为-100~-30μN。或者,烧结接合用片(10)基于纳米压痕法的载荷-位移测定中的加载过程之后的卸载过程所达到的最小载荷相对于加载过程所达到的最大载荷的比率为-0.2~-0.06。作为本发明的带基材的烧结接合用片的片体(X)具有包含基材(B)和烧结接合用片(10)的层叠结构。

    烧结接合用组合物、烧结接合用片、及带烧结接合用片的切割带

    公开(公告)号:CN111328302A

    公开(公告)日:2020-06-23

    申请号:CN201880073024.6

    申请日:2018-08-31

    Abstract: 本发明的烧结接合用组合物含有含导电性金属的烧结性颗粒。该烧结性颗粒的平均粒径为2μm以下,并且该烧结性颗粒中的粒径100nm以下的颗粒的比例为80质量%以上。本发明的烧结接合用片(10)具备由这样的烧结接合用组合物形成的粘合层。本发明的带烧结接合用片的切割带(X)具备这样的烧结接合用片(10)及切割带(20)。切割带(20)具有包含基材(21)和粘合剂层(22)的层叠结构,烧结接合用片(10)位于切割带(20)的粘合剂层(22)上。本发明的烧结接合用组合物、烧结接合用片、及带烧结接合用片的切割带适于在低负荷条件下实现基于高密度的烧结层的烧结接合。

Patent Agency Ranking