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公开(公告)号：CN1716768A
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN200510076089.0
申请日：2005-05-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
Abstract: 压电薄膜谐振器和滤波器及其制造方法。一种压电薄膜谐振器，其包括：器件基板；以及层状体，设置在所述器件基板上，并由下电极、上电极，以及夹在该上电极和下电极之间的压电膜构成。该层状体具有膜部分，其中所述上电极通过所述压电膜与所述下电极彼此重叠，在所述器件基板和所述下电极之间形成穹顶形的间隙，并且该间隙位于该膜部分的下方。
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公开(公告)号：CN1705225A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200510076095.6
申请日：2005-05-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/0076 , H03H9/14541 , H03H9/6476 , H03H9/725
Abstract: 表面声波器件。一种表面声波器件，包括具有双层结构电极的至少一个交叉指型转换器，在该双层结构中层叠有上层膜和底层膜。其中，所述上层膜具有主要成分Al以及添加到该主要成分中的第一金属Ti。所述底层膜具有主要成分Ti。
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公开(公告)号：CN1677852A
公开(公告)日：2005-10-05
申请号：CN200510063776.9
申请日：2005-03-31
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H3/04 , H03H9/02094 , H03H9/02149 , H03H9/174 , H03H9/564 , H03H9/568 , H03H2003/023 , H03H2003/0428
Abstract: 谐振器、滤波器以及谐振器的制造。该谐振器包括：设置在基板主表面上的压电薄膜；设置在压电薄膜的第一表面上的第一电极膜；设置在压电薄膜第二表面上的第二电极膜；设置在所述第一电极膜和所述第二电极膜其中之一上的频率调整膜；所述频率调整膜包括膜叠层，该膜叠层包括设置在第一电极膜和第二电极膜其中之一上的第一调整膜，以及设置在第一调整膜上的第二调整膜。第一调整膜用于Δf调整，第二调整膜用于校正滤波器制造工艺中生成的频率偏移。由此，可以准确地控制其中连接有多个谐振器的滤波器的中心频率。
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公开(公告)号：CN1665131A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN200510051298.X
申请日：2005-03-03
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
CPC classification number: H03H9/02559 , H01L41/312 , H03H9/02574
Abstract: 接合基板、表面声波芯片以及表面声波器件。接合基板包括钽酸锂基板及与钽酸锂基板相接合的蓝宝石基板，钽酸锂基板和蓝宝石基板的接合界面包括厚度为0.3nm到2.5nm、处于非晶态的接合区域。处于非晶态的接合区域是通过利用惰性气体或氧的中性化原子束、离子束或者等离子体在接合界面中激活钽酸锂基板和蓝宝石基板中的至少一方来形成的。可以无需高温热处理而将压电基板与具有不同晶格常数的支撑基板相接合，并且可以实现具有优良接合强度和更小翘曲的接合基板。
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公开(公告)号：CN1534869A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410034211.3
申请日：2004-03-30
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/1092 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H03H9/0547 , H03H9/0585 , H03H9/059 , Y10T29/42 , H01L2924/00014
Abstract: 一种表面声波器件，包括：具有第一表面的压电基板，在该第一表面上设置多个梳状电极、与其相连的多个第一焊盘、和第一膜。该第一膜被设置为包围该梳状电极。底基板具有第二表面，在该第二表面上设置与该第一焊盘接合的多个第二焊盘和与该第一膜接合的第二膜。通过表面活化处理而接合的该第一和第二膜限定了其中气密地密封有该梳状电极以及该第一和第二焊盘的腔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1534868A
公开(公告)日：2004-10-06
申请号：CN200410032234.0
申请日：2004-03-26
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/1071 , H01L2224/97 , H03H3/08
Abstract: 一种制造表面声波器件的方法，包括下列步骤：将一支撑基板与背对压电基板第一表面的压电基板第二表面相接合；研磨和抛光压电基板第一表面；研磨和抛光支撑基板第三表面，该支撑基板第三表面背对与压电基板第二表面相接合的该支撑基板的另一表面；以及，在压电基板第一表面上形成一包括多个梳状电极和多个电极焊盘的片上图案。
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公开(公告)号：CN1497846A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN200310101828.8
申请日：2003-10-17
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
IPC: H03H9/25
Abstract: 一种多模表面声波滤波器器件包括：压电基板；至少一个输入IDT(交指型变换器)和至少一个输出IDT，二者形成在所述压电基板上；多个反射器，其形成在所述压电基板上，并被布置在所述输入IDT和所述输出IDT的外侧；输入端子，其向所述输入IDT提供输入信号；以及，输出端子，其从所述输出IDT接收输出信号。在这种多模表面声波滤波器中，所述输入端子和所述输出端子沿相同的方向延伸。
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公开(公告)号：CN1103511C
公开(公告)日：2003-03-19
申请号：CN97119677.X
申请日：1997-09-26
Applicant: 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/6483 , H03H9/0042 , H03H9/02559 , H03H9/6436 , H03H9/6469 , H03H2250/00
Abstract: 声表面波器件包括LiTaO3单晶的压电衬底，具有x、y和z轴及切面。x轴定在声表面波的传播方向上。使晶体切面绕x轴从y轴到z轴旋转一个在40°和42°之间的转角。在衬底的传播方向上形成一对反射栅，一排叉指式换能器介于反射栅之间，具有相对的主电极指和副电极指对，在传播方向上至少有成一排的前、中和后换能器。前和后换能器中的一个换能器内电极指对的数量与中间换能器内电极指对的数量之比是在55%和80%的范围内。
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公开(公告)号：CN1239354A
公开(公告)日：1999-12-22
申请号：CN99106908.0
申请日：1999-05-28
Applicant: 富士通株式会社
IPC: H03H9/46
CPC classification number: H03H9/6436 , H01L2224/16225 , H01L2224/48091 , H01L2224/48227 , H01L2924/16195 , H03H9/059 , H03H9/1071 , H03H9/25 , H03H9/6469 , H03H9/6483 , H03H9/6489 , H01L2924/00014
Abstract: 一种SAW滤波装置包括一个压电基片(130)，该压电基片在其上带有一个连接到一个输入端子上的第一指状电极对(11)、和一个连接到一个输出端子上的第二指状电极对(12、13)。第一指状电极对接地到一个第一接地垫上，而第二指状电极对接地到一个与第一接地垫不同的第二接地垫上。压电基片装在形成在壳体内的空隙中，其中空隙由一个连接到第一和第二接地垫之一上的金属顶盖件(103)覆盖着。
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公开(公告)号：CN1968012B
公开(公告)日：2010-08-18
申请号：CN200610146539.3
申请日：2006-11-15
Applicant: 富士通媒体部品株式会社 , 富士通株式会社
CPC classification number: H03H9/706 , H03H9/0571 , H03H9/0576 , H03H9/72 , H03H9/725
Abstract: 本发明提供一种双工器。该双工器包括：发送滤波器，其为梯型滤波器，连接在公共端子和发送端子之间；和接收滤波器，其为梯型滤波器，连接在所述公共端子和接收端子之间。所述发送滤波器中的一个或更多个并联谐振器通过发送电感接地，并且所述接收滤波器中的多个并联谐振器的一部分通过第一接收电感接地，而所述多个并联谐振器的其余部分通过第二接收电感接地。
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