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公开(公告)号：CN113728263A
公开(公告)日：2021-11-30
申请号：CN202080030775.7
申请日：2020-04-24
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 直野崇幸
Abstract: 微镜器件(1)具备以包围反射镜部(12)的方式配置的致动器(14)。致动器(14)具备压电元件(40)，压电元件(40)的上部电极(33)由以第1应力反转区域及第2应力反转区域分离的多个个别电极部(i1～i8)构成，该压电元件(40)包括由多个个别电极部(i1～i8)分别规定的多个压电部(41～48)，该第1应力反转区域中，在以使反射镜部绕第1轴产生倾斜位移的第1共振模式驱动时的最大位移状态下，在压电膜(32)的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转，该第2应力反转区域中，在以使反射镜部绕第2轴产生倾斜位移的第2共振模式驱动时在压电膜(32)的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转。
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公开(公告)号：CN113574007A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080021772.7
申请日：2020-02-19
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 直野崇幸
IPC: B81B3/00 , H01L41/09 , H01L41/187 , G02B26/08 , G02B26/10
Abstract: 微镜器件具备第1及第2致动器，该第1及第2致动器为具备在振动板上层叠有下部电极、压电膜及上部电极的压电元件的压电致动器。各压电元件的各上部电极由以第1应力反转区域及第2应力反转区域分离的多个个别电极部构成，并且该各压电元件包括由多个个别电极部分别规定的多个压电部，该第1应力反转区域中，在以使反射镜部绕第1轴产生倾斜位移的第1共振模式驱动时的最大位移状态下，在压电膜的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转，该第2应力反转区域中，在以使反射镜部绕第2轴产生倾斜位移的第2共振模式驱动时在压电膜的面内方向上产生的主应力中绝对值最大的主应力成分的正负反转。
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公开(公告)号：CN112912784A
公开(公告)日：2021-06-04
申请号：CN201980069459.8
申请日：2019-10-07
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 直野崇幸
Abstract: 本发明的基于压电驱动方式的微镜器件以低电力化为目的，微镜器件具备：反射镜部(12)；环状的第1致动器(14)；环状的第2致动器(16)；第1连接部(21)，在第1轴上连接反射镜部(12)和第1致动器(14)，并且将反射镜部(12)支承为能够绕第1轴转动；第2连接部(22)，在与第1轴正交的第2轴上连接第1致动器(14)和第2致动器(16)，并且将第1致动器(14)支承为能够绕第2轴转动；第3连接部(23)，在第2轴上连接于第2致动器(16)的外周；及固定部(20)，连接有第3连接部(23)，并经由第3连接部(23)支承第2致动器(16)。
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公开(公告)号：CN112714963A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201980053808.7
申请日：2019-07-30
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: H01L41/187 , B81B3/00 , B81C1/00 , C23C14/08 , H01L41/09 , H01L41/113 , H01L41/22
Abstract: 一种压电器件(1)及制造方法，在基板(10)上形成由锆钛酸铅系的钙钛矿型氧化物的薄膜构成的压电膜(24)，在还原气氛中对压电膜的第1区域(24A)及第2区域(24B)中至少第1区域照射波长230nm以下的电磁波(R)。由此，对第1区域及第2区域中的压电特性设定差异，将第1区域设为压电常数d31的绝对值及介电损耗tanδ比第2区域的压电常数d31的绝对值及介电损耗tanδ小的区域。
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公开(公告)号：CN110603817A
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201880030095.8
申请日：2018-04-18
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 直野崇幸
IPC: H04R17/02 , B81B3/00 , H01L41/053 , H01L41/113 , H01L41/187 , H04R1/02 , H04R1/06 , H04R3/00
Abstract: 本发明提供一种声压检测信号的灵敏度高且适合装配于封装的压电麦克风芯片及压电麦克风。在本发明的压电麦克风中，具备：1张薄板；隔板支撑构件，设置于薄板的一面，并由支撑薄板外缘的外缘支撑部及与外缘支撑部相互作用以将薄板分隔为多个隔板的分离支撑部构成；单个或多个压电转换部，在各隔板上，从各隔板侧依次层叠第1电极、压电体膜及第2电极而成；及信号检测电路，检测来自设置于多个隔板上的压电转换部的输出，并且将外缘支撑部的厚度t1、分离支撑部的厚度t2、薄板(10)的厚度td的关系设为13.3×td＜t2＜t1-20μm。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102194670B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201110057145.1
申请日：2011-03-03
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 直野崇幸
IPC: H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/316 , B41J2/14 , B41J2/16
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/1612 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/316
Abstract: 压电薄膜、压电器件、液体喷射装置、及制备压电薄膜的方法。一种压电薄膜，所述压电薄膜通过汽相沉积方法在基板表面上形成，没有产生晶粒边界，该晶粒边界基本上平行于基板表面，并且是由层叠引起的。构成压电薄膜的每个晶体的(100)平面的法线与基板表面法线的倾斜角度不小于6°且不大于36°。
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公开(公告)号：CN102739104B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210091333.0
申请日：2012-03-30
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor： 直野崇幸
CPC classification number: H01L41/0933 , G02B26/0858 , H01G5/18 , H01G5/38 , H01L41/053 , H01L41/1875
Abstract: 本发明披露的压电致动器可以包括：第一致动器，包括第一压电驱动部件；以及第二致动器，包括第二压电驱动部件。可以支撑第一致动器的中心部分。可以通过向第一压电驱动部件施加第一驱动电压来使得第一致动器弯曲和变形，从而可以在第一致动器的厚度方向上移位第一致动器的两个端部。第二致动器的两个端部可以耦接到第一致动器的两个端部。可以通过向第二压电驱动部件施加第二驱动电压来使得第二致动器在与第一致动器相反的方向上弯曲和变形，从而可以在第二致动器的厚度方向上移位第二致动器的中心部分。
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公开(公告)号：CN102329132A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201110175704.9
申请日：2011-06-24
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: C04B35/493 , C04B35/622 , H01L41/18
CPC classification number: H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/316
Abstract: 一种压电膜，其包含具有(100)择优取向的钙钛矿结构、并由下式表示的复合氧化物晶体：Pb1+δ[(ZrxTi1-x)1-yNby]Oz，其中x的值在0＜x＜1的范围之内，y的值在0.13≤y≤0.25的范围之内，δ和z的值在能够获得钙钛矿结构的范围之内，并且以δ＝0且z＝3为标准值，其中，如X射线衍射所测定的，钙钛矿(100)面的衍射峰强度I(100)与钙钛矿(200)面的衍射峰强度I(200)之间的比值满足I(100)/I(200)≥1.25。根据本发明所述的压电膜，可以获得足够的压电特性。另外，本发明还涉及包含所述压电膜的压电器件。
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公开(公告)号：CN101383395A
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：CN200810213491.2
申请日：2008-09-08
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1646 , H01L41/0805 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/316 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供一种压电特性高，并且耐久性高的压电元件。其中，具有通过被施加电压的变化而伸缩的压电体膜；被配置在压电体膜的一个面上的第1电极；和被配置在与压电体膜的第1电极所被配置的面相反侧的面上的第2电极。压电体膜的主成分，是通过气相成长法在第2电极上形成的PbxByOz，将从与上述第2电极的接触面起，在上述第1电极的方向上距离100nm的部分的x/y，设成0.8以上、1.6以下，B是由以下的至少一个构成：Ti、Zr、V、Nb、Ta、Cr、Mo、W、Mn、Sc、Co、Cu、In、Sn、Ga、Zn、Cd、Fe及Ni，并且，设0＜x≤1，0＜y≤1，2.5＜z≤3。
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公开(公告)号：CN116974061A
公开(公告)日：2023-10-31
申请号：CN202310424224.4
申请日：2023-04-19
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明提供光扫描装置及异常检测方法，能够在运行过程中快速检测出反射镜的异常动作。本发明的光扫描装置具备：微镜器件，其包括具有对光进行反射的反射面且能够绕至少1个轴摆动的反射镜、使反射镜摆动的致动器、以及通过反射镜的摆动而产生电动势并将其输出的压电元件；控制装置，其控制致动器的动作；以及异常检测装置，其根据来自压电元件的输出信号的时间上的变动量来检测反射镜的异常动作。
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