谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法

    公开(公告)号:CN1603845A

    公开(公告)日:2005-04-06

    申请号:CN200410067595.9

    申请日:2004-10-28

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属压电微传感器技术领域,具体为一种谐振式压电微传感器谐振频率的检测方法。该方法根据激励信号在一定范围内的直流偏置电压与压电微结构的谐振频率存在线性对应关系,在非探测环境和探测环境中,分别用激励信号激励压电微结构,利用数据采集卡比较分别获得最大幅值,以及对应于最大幅值的直流偏置电压VDC和VDC1,再根据VDC和VDC1的差值求解得传感器的谐振频率改变值。使用本发明可实现一种简单的,易于芯片集成的谐振式压电微传感器专用的信号检测系统,而且检测灵敏度高。

    一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器

    公开(公告)号:CN2786625Y

    公开(公告)日:2006-06-07

    申请号:CN200520041035.6

    申请日:2005-04-21

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本实用新型属硅微机械和电化学技术领域,具体为一种基于抗体抗原法检测肝纤维化的微型传感器。它由工作电极、参比电极、对电极和基板构成。其中,工作电极呈圆形或类似圆形,对称排列,参比电极呈U字形,置于工作电极中间,对电极呈长条形,置于参比电极中间。基板由硅衬层与二氧化硅层复合组成。工作电极有4-8个,电极与二氧化硅层间用钛粘附层粘结。各电极可采用IC工艺中的常规成膜工艺制备。本实用新型的微型传感器体积小,成本低,检测可靠性高。它可以定量检测血清中的抗原浓度,并可同时检测血清的多个指标,而血清的使用量很少。

    一种多通道微流控芯片
    34.
    实用新型

    公开(公告)号:CN2831115Y

    公开(公告)日:2006-10-25

    申请号:CN200520041649.4

    申请日:2005-05-19

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 微流控芯片具有体积小、分析速度快的特点,可实现高度自动化和集成化,是当前分析化学领域发展的前沿。尽管微流控芯片结合激光诱导荧光检测已可进行384通道的高通量检测,但是多通道电化学检测至今还未见报道。本实用新型提供了一种多通道微流控芯片,该芯片采用高分子材料聚甲基丙烯酸甲酯为材料,运用光刻和蚀刻等技术制作了单晶硅阳模,微通道采用热压法或原位聚合法制作。将检测电极通道集成于基片上,可在电极内填充功能材料,并且可以有效的精确控制工作电极与分离通道的距离,简化了实验操作。本实用新型充分地发挥了电化学检测在微流控芯片中的优势,首次研制了应用于电化学检测的多通道微流控芯片,能够高效率、高通量地对样品进行分析。

    采用二氧化硅隔离结构的压力传感器

    公开(公告)号:CN2069171U

    公开(公告)日:1991-01-09

    申请号:CN89214652.4

    申请日:1989-07-25

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本实用新型属半导体压力传感器领域。包括硅芯片、安装芯片的底板和管座,引出线等,压阻器件与硅衬底之间有由多孔硅氧化法获得的二氧化硅介质层作为隔离层。该隔离层隔离性能优良,漏电流甚微,两个分离器件间的击穿电压超过200伏,该传感器既保持了单晶硅型压力传感器的高灵敏度特性,又可在高温环境下工作。

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