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公开(公告)号：CN104199048B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201410465643.3
申请日：2014-09-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 条纹管激光成像雷达海面回波畸变测量浅层海水衰减系数的遥感方法，本发明涉及测量浅层海水衰减系数的遥感方法。本发明是要解决现有方法探测效率较低并且不能做到实时探测的问题。一、激光器产生光源，通过条纹管激光成像雷达的发射光学系统发射光功率的时域信号到海面；二、光反射回波由接收光学系统接收，通过窄带滤光片滤去杂光，使反射光照射到条纹管探测器上，条纹管探测器记录经过海平面畸变后的回波光，并通过条纹管激光器的A/D采集以及DSP处理，得到海平面回波的光功率信号；三、利用海平面回波的光功率信号计算出浅层海水的衰减系数。本发明应用于海洋探测领域。
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公开(公告)号：CN106066923A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201610458140.2
申请日：2016-06-22
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5081
Abstract: 一种用于极紫外光源的电源中磁脉冲压缩网络的电路参数的获得方法，涉及毛细管放电极紫外光刻光源中主脉冲电源的脉冲压缩技术。第n‑1级和第n级磁脉冲压缩单元的电流脉冲宽度之比即脉冲压缩比gn为：第n级磁开关的环形磁芯体积Voln为：磁脉冲压缩网络的最佳脉冲压缩级数mopt为：mopt＝2lnG，根据获得的最佳脉冲压缩级数mopt确定磁脉冲压缩网络的级数，根据第n级磁开关的磁芯体积Voln确定磁开关的体积，根据脉冲压缩比确定磁开关的饱和电感。本发明适用于获得磁脉冲压缩网络的电路参数。
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公开(公告)号：CN105867075A
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201610444231.0
申请日：2016-06-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/2004 , G03F7/2008 , G03F7/70033 , G03F7/70175
Abstract: 毛细管放电Z箍缩极紫外光光刻光源的收集系统，涉及毛细管放电Z箍缩13.5nm极紫外光光刻光源，为了解决多层椭球面反射镜构成的收集系统的远场均匀性不好、反射率低的问题。采用WolterI型收集系统实现，包括N层圆桶状反射镜，反射镜依次共轴嵌套，每层反射镜由回转椭球面和回转双曲面连接而成，回转椭球面和回转双曲面具有一个公共的几何焦点，各层反射镜的几何焦点重合；反射镜的回转椭球面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：回转双曲面的内表面上由中心轴所在平面截取的曲线满足方程：本发明的远场均匀性和反射率都得到改善，适用于收集极紫外光。
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公开(公告)号：CN103774126B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201410062341.1
申请日：2014-02-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: C23C18/36 , C23C18/1671 , C23C18/1844 , C23C18/54 , C25D3/562 , C25D5/18
Abstract: 电脉冲提高化学镀镍磷合金层厚度的方法，本发明涉及提高化学镀镍磷合金层厚度的方法。本发明要解决现有化学镀镍工艺存在镀层厚度一般不超过100微米的问题。方法：一、预处理；二、电脉冲及镀镍处理，即得到提高化学镀镍磷合金层厚度的被镀零件。本发明使化学镀厚镍磷合金层的厚度可以达到200微米以上，适用于要求化学镀镍磷合金层厚度超过200微米以上场合。本发明用于电脉冲提高化学镀镍磷合金层厚度的方法。
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公开(公告)号：CN104923808A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510363157.5
申请日：2015-06-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B23B21/00
Abstract: 极紫外光刻光源收集镜车削加工刀架，属于极紫外光刻光源收集镜的刀架加工技术领域。它为了解决加工中由于车刀颤抖，使镜片表面出现波纹，表面粗糙度达不到要求的问题。本发明所述的刀架分成两部分，一部分为刀座，另一部分为一个长方体，刀座是一个圆柱体，在圆柱体的侧壁上开一个通孔，形成深斜孔，圆柱体与长方体为一体件，在长方体的上表面加工出两个镜像对称的凹槽，在两个凹槽的底面上各向下加工一个螺纹通孔，分别形成一号螺丝孔和二号螺丝孔。本刀座在加工中可保证车刀前进的平稳和加工表面的光滑。适用于作为极紫外光刻光源收集镜车削加工的刀架。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103433507B
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201310435460.2
申请日：2013-09-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 极紫外光刻光源中光学收集镜直接车削加工精加工方法，属于光学及精密加工领域。以解决采用复制法对EUV光源中光学收集镜进行加工，需要先加工出一个与所需收集镜面型匹配的实心轴，再对实心轴表面进行镍沉积处理，之后将镍壳剥离形成收集镜基底。按照此方案的技术，要求加工过程中精度控制非常严格，增加了加工成本的问题。方法是：装卡收集镜筒坯1；精车加工中的粗车加工；半精车加工；精车加工；镀膜处理；手工抛光处理；对经镀膜处理后的收集镜筒坯面型手工抛光处理，使得收集镜筒坯的面型符合收集镜面型，从而完成收集镜的制作。本发明用于加工制作极紫外光刻光源中的光学收集镜。
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公开(公告)号：CN104570623A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510084936.1
申请日：2015-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源的光学收集系统，涉及Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源技术。它为了解决常规的光源收集系统远场均匀性不好、反射率低的问题。本发明采用内嵌式Wolter I型收集系统实现，结合Xe介质毛细管放电EUV光源特性获得13.5nm极紫外输出空间分布规律，设计反射镜共十层，实现内嵌式Wolter I型收集镜。多层反射镜依次共轴内嵌，每层反射镜由一个回转椭球面和一个回转双曲面连接而成，回转椭球面与回转双曲面具有一个公共焦点，各层反射镜的公共焦点重合，最外层反射镜最大直径为458mm，提高了系统远场均匀性和反射率。本发明适用于Xe介质毛细管放电检测用极紫外光源。
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公开(公告)号：CN102543630B
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201210026159.1
申请日：2012-02-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于放电等离子体极紫外光刻光源的介质及其应用系统，它涉及放电等离子体光源的介质及其应用系统。本发明要解决现有放电等离子体EUV光源采用Xe介质导致其辐射光功率过低和稳定性差以及现有放电等离子体EUV光源系统不能调控不同气体流量的问题。本发明的介质是体积流量比为(0.2～2)∶(1～20)∶(1～20)的Xe气、He气和Ar气的混合气，其应用系统由Xe气瓶、He气瓶、Ar气瓶、Xe气气体流量计、He气气体流量计、Ar气气体流量计、毛细管、电极和高压脉冲电源组成。本发明将13.5nm辐射光输出功率提高2％，同时提高了气体击穿性能和辐射光输出功率稳定性。本发明用于放电等离子体极紫外光刻光源。
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公开(公告)号：CN102680120B
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：CN201210164154.5
申请日：2012-05-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01J11/00
Abstract: 极紫外光刻光源Xe10+离子状态的检测系统，它涉及极紫外光刻光源离子状态的检测系统，本发明是为了解决极紫外光刻机在正常工作条件下进行极紫外光刻光源离子状态检测时，由于相机对光刻光源的光路的遮挡难以实现极紫外光刻光源离子状态实时检测的问题。它包括极紫外收集镜、反射镜、滤光片、光电二极管和示波器；毛细管输出端面的中心点与反射镜上端部连线与毛细管输出端的中心点与反射镜下端部连线的夹角为9~11°。此夹角范围内输出的极紫外光入射光电二极管，转变为电信号传递给示波器，示波器又将电信号转变为光信号形成的波形来动态显示极紫外光刻光源的离子状态。本发明可应用于极紫外光刻光源离子状态的动态检测技术领域。
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公开(公告)号：CN103048652B
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201310025044.5
申请日：2013-01-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带多个偏转电场的无狭缝成像条纹管及其成像处理方法，涉及一种条纹管，为了解决目前的条纹管在没有光纤变换器和狭缝的情况下易引入“时间空间交叠”而导致无法成像的问题。在现有条纹管的内部增加两对偏转电压板，三对偏转电压板构成六棱柱的六个侧面，每对偏转电压板平行设置，每对偏转电压板中的一个偏转电压板接驱动电压信号，另一个偏转电压板接电源地。建立与条纹管获得的条纹图像相同大小的待恢复的空白图像，待恢复的空白图像包括多个待恢复点，遍历每一待恢复点，以待恢复点为原点在三幅条纹图像中沿各自偏转方向以相同速度搜索图像中的强度值，在三个搜索点同时获得相同的强度值时，确定待恢复点的强度值和距离值。它用于条纹管成像。
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