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公开(公告)号：CN118842350A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410934422.X
申请日：2024-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种基于单个弯曲压电驱动器致动的两自由度压电摆镜及偏转方法，属于高分辨率快响应摆镜器件领域，解决传统压电摆镜使用的压电驱动器数量多且体积大的问题。本发明的摆镜包括陶瓷固定螺栓、底座、弯曲压电驱动器、镜架、镜架固定螺栓。弯曲压电驱动器沿径向方向被平均分成四个四分之一圆柱陶瓷，对向分布的圆柱陶瓷极化方向相反，电压施加在对向分布的两个圆柱陶瓷可产生弯曲运动，因此由两通道信号控制可实现两自由度的弯曲变形。弯曲压电驱动器的弯曲变形经由柔性铰链转换为镜架的摆角。本发明的摆镜仅用一个弯曲压电驱动器就可以实现两自由度的偏摆动作，使用更少的压电驱动器可节省更多的空间占用，适合于对空间要求严苛的航空航天应用领域。
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公开(公告)号：CN116281847A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202310104857.7
申请日：2023-02-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 多适应性的全压电跨尺度多维微纳刻划加工系统及方法，属于微纳结构加工技术领域，解决微纳加工质量和适应性低问题。本发明的系统包括：四自由度跨尺度压电微纳定位平台，多维压电操控器、结构支撑部件与传感控制部件，所述四自由度跨尺度压电微纳定位平台可独立且协同实现跨尺度X，Y方向的平移运动和绕X轴和Y轴的旋转运动，用于微纳结构刻划形状的控制，所述多维压电操控器可产生独立且协同实现两个正交方向的弯曲微动和沿着轴向的伸缩微动，用于微纳结构宽度的控制，所述结构支撑部件用于架构操控系统部件，调控刻刀与样品间的距离，所述传感控制部件用于加工力与位移的反馈与控制。本发明适用于复杂表面结构的高效精准微纳加工。
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公开(公告)号：CN111245290B
公开(公告)日：2021-02-19
申请号：CN202010067202.3
申请日：2020-01-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供了一种单自由度压电转台及其激励方法，属于压电驱动技术领域。单自由度压电转台包括一个环形基座、N个二维压电致动器、一个圆盘动子、2N个轴向固定螺钉、N个轴向压紧块和N个径向紧定螺钉，其中N为大于或等于6的偶数；通过设计施加在N个二维压电致动器的一路激励电压信号，控制其时序和幅值，激励N个二维压电致动器产生沿着圆盘动子外沿切线方向的弯曲运动，利用摩擦力驱动圆盘动子实现单自由度转动；通过调整施加在二维压电致动器上的另一路电压信号幅值，控制二维压电致动器与圆盘动子之间的摩擦力。本发明的单自由度压电转台具有无支承、摩擦力可控、大行程、运动分辨力高的优点，在精密驱动和定位领域有着广阔的应用前景。
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公开(公告)号：CN109980989A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910280940.3
申请日：2019-04-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种两自由度超精密微细物体操作器及其激励方法，属于压电驱动技术领域。解决了目前的微细物体操作器结构复杂、行程不足和自由度单一的技术问题。所述微细物体操作器由末端卡爪、驱动足、压电陶瓷管以及基座组成，其中压电陶瓷管为主要驱动元件，用以产生弯曲变形和伸缩变形，进而通过驱动足驱动末端卡爪的运动。本发明中的操作器可以通过多种激励方法产生末端卡爪沿自身轴线和绕自身轴线的超精密直线和旋转运动。基于不同的激励方法和工作场合，压电陶瓷管和驱动足的数量可以做出变化。本发明中的微细物体操作器结构紧凑、布置灵活，激励方法灵活多样、可靠性高，便于应用在需要进行微细物体操作的技术领域。
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