一种五自由度压电定位调姿机构及其激励方法

    公开(公告)号:CN109951104B

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN201910280525.8

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明提供的一种五自由度压电定位调姿机构及其激励方法,上侧驱动足、上侧双向层叠式弯曲型压电驱动器、绝缘块、层叠式扭转型压电驱动器、中间夹板、下侧双向层叠式弯曲型压电驱动器和下侧驱动足由上至下依次连接,动子与上侧驱动足的顶面接触,基座的上表面与下侧驱动足的下端接触,中间夹板与纵向导轨滑动连接,纵向导轨与横向导轨滑动连接且交叉布置,横向导轨与基座连接。本发明结构简单、激励方法可靠,可以获得大尺度和高精度的多自由度运动,在细胞操作、显微手术、光学调整以及超精密加工等领域具有广阔的应用前景,也会对精密压电驱动技术的发展产生一定的促进作用。

    一种两自由度超精密压电驱动平台及其激励方法

    公开(公告)号:CN109951102B

    公开(公告)日:2020-05-12

    申请号:CN201910280485.7

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明提出了一种两自由度超精密压电驱动平台及其激励方法,属于压电驱动领域。解决了现有两自由度超精密驱动平台结构复杂、形式单一和精度不足等问题。所述驱动平台由运动平台、驱动单元以及基座组成,所述驱动单元的运动由层叠式直线型压电驱动器、层叠式弯曲型压电驱动器以及层叠式扭转型压电驱动器产生,所述驱动平台可以通过多种激励方法产生运动平台沿其轴线和绕其轴线的超精密直线和旋转运动。基于不同的激励方法和工作场合,驱动单元的数量可以做出变化。所述驱动平台结构简单、布置灵活,激励方法简单易行、可靠性高,便于应用在需要超精密直线和旋转运动的应用场合。

    一种两自由度超精密微细物体操作器及其激励方法

    公开(公告)号:CN109980989B

    公开(公告)日:2020-04-24

    申请号:CN201910280940.3

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种两自由度超精密微细物体操作器及其激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了目前的微细物体操作器结构复杂、行程不足和自由度单一的技术问题。所述微细物体操作器由末端卡爪、驱动足、压电陶瓷管以及基座组成,其中压电陶瓷管为主要驱动元件,用以产生弯曲变形和伸缩变形,进而通过驱动足驱动末端卡爪的运动。本发明中的操作器可以通过多种激励方法产生末端卡爪沿自身轴线和绕自身轴线的超精密直线和旋转运动。基于不同的激励方法和工作场合,压电陶瓷管和驱动足的数量可以做出变化。本发明中的微细物体操作器结构紧凑、布置灵活,激励方法灵活多样、可靠性高,便于应用在需要进行微细物体操作的技术领域。

    一种超精密五自由度压电定位调姿机构及其激励方法

    公开(公告)号:CN109951104A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910280525.8

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明提供的一种超精密五自由度压电定位调姿机构及其激励方法,上侧驱动足、上侧双向层叠式弯曲型压电驱动器、绝缘块、层叠式扭转型压电驱动器、中间夹板、下侧双向层叠式弯曲型压电驱动器和下侧驱动足由上至下依次连接,动子与上侧驱动足的顶面接触,基座的上表面与下侧驱动足的下端接触,中间夹板与纵向导轨滑动连接,纵向导轨与横向导轨滑动连接且交叉布置,横向导轨与基座连接。本发明结构简单、激励方法可靠,可以获得大尺度和高精度的多自由度运动,在细胞操作、显微手术、光学调整以及超精密加工等领域具有广阔的应用前景,也会对精密压电驱动技术的发展产生一定的促进作用。

    一种压电驱动的超精密运动六足机器人及其激励方法

    公开(公告)号:CN109951103A

    公开(公告)日:2019-06-28

    申请号:CN201910280499.9

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种压电驱动的超精密运动六足机器人及其激励方法,属于微操作机器人技术领域。一种压电驱动的超精密运动六足机器人,包括底座、六个驱动单元和基体,其中,每个驱动单元包括驱动足、纵向伸缩压电陶瓷区域和横向弯曲压电陶瓷区域,横向弯曲压电陶瓷区域、纵向伸缩压电陶瓷区域和底座由上至下依次连接,六个驱动单元沿圆周方向均匀安装在基体的下表面上,驱动足压紧在底座的上表面。本发明负载能力大、结构紧凑,针对不同的应用条件可以进行灵活设计,便于生产制造,激励方法可靠易行,可以实现多自由度的超精密运动,在微纳操作等技术领域中具有广泛的应用前景。

    一种超精密三轴旋转压电调姿机构及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889090A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910280900.9

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种超精密三轴旋转压电调姿机构及其激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了现有压电调姿机构自由度数不足、结构复杂、成本较高以及精度不足的技术问题。所述压电调姿机构由动子、驱动单元以及基座组成,其中驱动单元采用贴片式压电双晶梁结构或夹心式压电振子结构,并依靠其弯曲变形驱动动子的三轴旋转运动。基于本发明中的激励方法,所述动子可以实现大尺度超精密三轴旋转运动,通过调整激励信号的幅值和时间可以实现纳米级分辨力。本发明中的压电调姿机构结构紧凑、布置灵活,激励方法简单可靠,在超精密姿态调整等领域中具有较好的应用前景。

    压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889085A

    公开(公告)日:2019-06-14

    申请号:CN201910280440.X

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明是压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法。本发明解决了多数平面三自由度运动平台结构复杂、精度不足以及激励方法单一的技术问题。所述平台包括运动平台(1)、多个驱动单元(2)以及基座(3),其中驱动单元(2)为主要驱动元件,通过控制多个驱动单元(2)的运动方向和时序来驱动运动平台(1)的平面内三自由度运动。基于本发明中的激励方法,所述运动平台(1)可以实现大行程的超精密运动。本发明中的运动平台结构简单紧凑,激励方法灵活多样,便于应用在多种需要精密定位和调姿的技术领域。

    一种超精密三轴旋转压电调姿机构及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889090B

    公开(公告)日:2020-09-04

    申请号:CN201910280900.9

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明公开了一种超精密三轴旋转压电调姿机构及其激励方法,属于压电驱动技术领域。解决了现有压电调姿机构自由度数不足、结构复杂、成本较高以及精度不足的技术问题。所述压电调姿机构由动子、驱动单元以及基座组成,其中驱动单元采用贴片式压电双晶梁结构或夹心式压电振子结构,并依靠其弯曲变形驱动动子的三轴旋转运动。基于本发明中的激励方法,所述动子可以实现大尺度超精密三轴旋转运动,通过调整激励信号的幅值和时间可以实现纳米级分辨力。本发明中的压电调姿机构结构紧凑、布置灵活,激励方法简单可靠,在超精密姿态调整等领域中具有较好的应用前景。

    压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889085B

    公开(公告)日:2020-08-07

    申请号:CN201910280440.X

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明是压电驱动的超精密三自由度平面运动平台及其激励方法。本发明解决了多数平面三自由度运动平台结构复杂、精度不足以及激励方法单一的技术问题。所述平台包括运动平台(1)、多个驱动单元(2)以及基座(3),其中驱动单元(2)为主要驱动元件,通过控制多个驱动单元(2)的运动方向和时序来驱动运动平台(1)的平面内三自由度运动。基于本发明中的激励方法,所述运动平台(1)可以实现大行程的超精密运动。本发明中的运动平台结构简单紧凑,激励方法灵活多样,便于应用在多种需要精密定位和调姿的技术领域。

    四自由度压电载物台及其激励方法

    公开(公告)号:CN109889087B

    公开(公告)日:2020-01-24

    申请号:CN201910280899.X

    申请日:2019-04-09

    Abstract: 本发明是四自由度压电载物台及其激励方法。本发明解决了目前载物台自由度单一、行程不足和结构尺寸不够紧凑的技术问题。所述压电载物台包括运动平台(1)、多个驱动单元(2)、固定夹块(3)、纵向导轨(4)、横向导轨(5)以及基座(6),其中驱动单元(2)为主要驱动元件,用以产生弯曲变形和伸缩变形,带动驱动足驱动运动平台(1)沿空间三个正交方向的直线运动以及绕其轴线的旋转运动。基于本发明中的激励方法,所述压电载物台可以实现大尺度的运动。本发明适用于不同的工作条件和应用需求,具有良好的可扩展性,增加驱动单元(2)的个数可以显著增大压电载物台的负载能力。

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