公开(公告)号：CN2775071Y

公开(公告)日：2006-04-26

申请号：CN200520025309.2

申请日：2005-02-25

Applicant: 南开大学

Inventor： 耿新华 ,  赵颖 ,  薛俊明 ,  仁慧志 ,  魏长春 ,  张德坤

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/40

Abstract: 本实用新型涉及一种氧化锌透明导电膜的制备设备，特别是用金属有机化学气相沉积法（MOCVD）制备氧化锌透明导电膜的反应器，以便实现制备氧化锌透明导电膜的大面积均匀性。 MOCVD法制各氧化锌透明导电膜，具有无轰击，衬底温度低（～ 150℃）等优点，特别适合于低温薄膜太阳电池应用，对提高电池效率有重要作用。本实用新型的技术方案：这种金属制备氧化锌透明导电膜的反应器，是在一个圆柱形反应室中设置加热丝、匀热板、二乙基锌和硼烷布气管、水布气管等，其特点在于：二乙基锌和硼烷布气管为梳状，梳状分管上布有微孔，水布气管呈十字交叉状。本新型的有益效果：反应器结构简单、造价低，在不加旋转的情况下，20cm×20cm基片范围内实现了薄膜不均匀性小于5％。

公开(公告)号：CN2714581Y

公开(公告)日：2005-08-03

申请号：CN200420028239.1

申请日：2004-01-13

Applicant: 南开大学

Inventor： 奚建平 ,  耿新华 ,  赵颍 ,  薛俊明

IPC: C23C14/26

Abstract: 本实用新型涉及一种高温电加热炉，特别是涉及一种适合高真空薄膜沉积室用的外热式高温加热炉，可广泛应用于半导体薄膜、薄膜材料和器件技术领域。高温电加热炉，它包括真空室体、热阱，耐高温直线电阻管式加热元件组成高密度加热元件阵列，并将其镶嵌入高导热金属散热块，在加热元件阵列与金属散热块间充填耐高温散热胶，以上加热组件通过耐高温散热胶和机械紧固机构与真空室加热阱的非真空侧紧密接触，以获得对真空室体受热面的均匀传热，并通过热辐射对与室体加热面平行的平面样品进行均匀传热，从而实现真空室内的大面积样品获得高度均匀的加热，提高了可达到的样品温度，并彻底避免了加热炉对样品和真空室的污染。

公开(公告)号：CN2589970Y

公开(公告)日：2003-12-03

申请号：CN02294292.0

申请日：2002-12-26

Applicant: 南开大学

Inventor： 李德林 ,  耿新华 ,  薛俊明 ,  赵颖

IPC: G01N21/55 ,  G01N21/59

Abstract: 本实用新型公开了一种光学参数测量装置。解决了现有仪器在垂直入射光条件下不能测量材料的光反射率R、在不同角度测量时R与T不相关、光吸收率α出现负值等问题。技术方案是：主要包括光源、标准反射镜、分光器、检测器与计算机构成；其特征是在光源输出的光路中增设半透半反镜；标准反射镜安装在与通过半透半反镜的入射光成90°角处，并在光源与标准反射镜之间的垂直方位依次连接分光器、检测器、计算机。本实用新型实现了在垂直入射光条件下测量材料的光反射率R，保证与垂直光透过率T为相关数据；尤其是当材料为透明薄膜时，有光干涉也能保证R与T是相关数据。本实用新型为光学测量仪器家族增添了一种测量准确无误的光学参数测量装置。

公开(公告)号：CN2593368Y

公开(公告)日：2003-12-17

申请号：CN02294641.1

申请日：2002-12-30

Applicant: 南开大学

Inventor： 耿新华 ,  赵颍 ,  薛俊明

IPC: H01L31/06

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 本实用新型的名称是宽谱域低温叠层硅基薄膜太阳电池，涉及叠层电池结构的设计，属于太阳电池技术领域。一般的叠层电池或者光电转换效率低，或者工艺复杂，为此本实用新型在设计电池时，在第(1)个pin的N层与第2个pin电池的P层之间加一特殊增反射层，该增反射层只反射第1个pin电池吸收范围的光，透射第2个pin电池吸收范围的光，在第2个电池pin的N层与金属电极之间加另一个增反射层，负责反射第2个pin电池吸收范围的光，这样，可以提高电池的光电转换效率、减薄吸收层厚度，不容易发生光衰退，大大缩短制备时间，降低成本。

公开(公告)号：CN2589968Y

公开(公告)日：2003-12-03

申请号：CN02294293.9

申请日：2002-12-26

Applicant: 南开大学

Inventor： 李德林 ,  耿新华 ,  薛俊明 ,  赵颖

IPC: G01N21/00 ,  G01N21/59 ,  G01N21/55 ,  G01N21/25

Abstract: 本实用新型公开了一种多功能光电参数测量装置。解决了现有仪器垂直入射光条件下不能测量光反射率R、测量功能单一等问题。技术方案：光源与单色仪相连，在单色仪输出狭缝处安装斩波器，斩波器输出端设置半透半反镜M，在透射光路中有一聚焦透镜，焦点在样品室内；样品室的一侧且与透射光束相垂直处安装激光器，另一侧安装位置敏感探测器；样品室与激光器之间和样品室与位置敏感探测器之间分别安装有聚焦透镜，在反射光路上设置光探测器；光探测器和位置敏感器的输出分别与锁相放大器的输入相连，锁相放大器的输出与计算机的输入相连。实现一机多功能。能节省大量的设备资金、实验室场地及维护管理方面的人力资源。