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公开(公告)号：CN118603312A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410697525.9
申请日：2024-05-31
Applicant: 华中科技大学
Inventor： 卢文龙
Abstract: 本发明提供了一种双峰信号模式的线扫描色散共焦测量方法及装置，涉及光谱共焦测量领域技术领域；方法包括：根据通过色散共焦组件的光线，在待测物上形成多个测量光斑；将滤波窗放置在待测物的中心位置，截取光斑中心，得到单峰特征信号；沿扫描方向不断移动滤波窗，直至单峰特征信号逐渐凹陷，单峰裂变为双峰；截取光斑护栏位置，在光斑护栏位置采集测量光斑的光谱功率分布信号并进行处理，得到双峰特征信号；对双峰特征信号进行峰值特征定位，并对峰值特征信号进行处理，得到测量结果。本发明沿扫描方向将滤波窗进行偏移产生双峰信号，获得更稳健的光谱功率分布信号，从而提高了输出结果的精确度和准确度。
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公开(公告)号：CN118565322A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202411053424.4
申请日：2024-08-02
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本申请涉及不规则表面的测量技术领域，公开了一种基于摩擦纳米发电机的自供能式位移测量装置和位移测量方法。该装置与被测部分连接，被测部分包括被测物体、驱动单元和齿条，被测物体由驱动单元驱动做旋转运动，齿条的底部和被测物体连接；该装置包括传动部分，包括机架、机架板、齿轮和传动轴，机架分别与驱动单元和机架板连接，传动轴穿过机架板上的传动轴孔、并且传动轴的第一端固定于机架板，齿轮和传动轴的第一端连接，齿轮和齿条啮合；摩擦部分，包括摩擦内层和摩擦外层，摩擦内层和传动轴的第二端连接；摩擦外层与机架连接；内摩擦电极和外摩擦电极接触、并且设置在外摩擦电极内侧。本装置能够在无电源供给的情况下测量被测物体的位移。
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公开(公告)号：CN113777049A
公开(公告)日：2021-12-10
申请号：CN202110920408.0
申请日：2021-08-11
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，并公开了一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元，照明光路单元中设置有第一透镜和物镜，光线经过第一透镜汇聚在物镜的后焦面上，在物镜的作用下形成多束不同入射角的光束照射在待测样品表面；光谱采集模块包括多象限分析器、第二透镜和成像光谱仪，入射光线照射在待测样品表面后被待测样品反射，然后依次经过物镜、多象限分析器和第二透镜，最终在成像光谱仪中获得角分辨光谱，利用该角分辨光谱计算获得到达成像光谱仪反射光的偏振参数，进而获得待测样品的厚度和光学常数。通过本发明，解决现有技术难以解决的超薄膜高精度与高速在线测量的技术问题。
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公开(公告)号：CN112525080B
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202011266768.5
申请日：2020-11-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于精密位移测量相关技术领域，其公开了一种基于差动偏振干涉的悬浮触针位移传感器及检测方法，位移传感器包括自上而下设置的差分偏振干涉器、音圈电机及悬浮触针机构，悬浮触针机构连接于音圈电机；音圈电机包括活动地相连接的音圈电机定子及音圈电机动子，音圈电机动子用于带动悬浮触针机构做竖直移动；悬浮触针机构包括连接于音圈电机动子的悬浮轴承及活动地连接于悬浮轴承的触针轴；差分偏振干涉器用于测量触针轴相对于悬浮轴承的位移以得到一级位移量；通过测量音圈电机动子相对于音圈电机定子的位移得到二级位移量，将一级位移量及二级位移量运算结合即可得到被测表面的测量结果。本发明提高了稳定性及可靠性，扩展了测量范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111412826B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202010275884.7
申请日：2020-04-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明属于电感传感器领域，并具体公开了一种基于幅相检测技术的双螺旋线管差动式电感传感器。该传感器包括传感装置和电路装置，其中：传感装置中初级线圈用于耦合次级差动线圈，次级差动线圈用于输出差动模拟信号；电路装置中高频信号发生模块用于为初级线圈提供激励信号，并为信号比较模块提供基准信号；信号比较模块根据基准信号获得参考模拟信号，并获得幅值比信号和相位差信号；其经过信号放大与采集模块放大，并采集成数字信号送入最小系统模块；最小系统模块作为数据处理端，通过数字信号获得位置变化情况并进行输出，以此完成位移测量工作。本发明能够增大双螺旋线管差动式电感传感器的量程比，提高其零点位置的检测精度、分辨率。
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公开(公告)号：CN113074814A
公开(公告)日：2021-07-06
申请号：CN202110264422.X
申请日：2021-03-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01J3/28
Abstract: 本发明公开了一种色散共焦传感器光谱信号质量的评价方法及装置。该方法包括获取并采集色散共焦传感器的二维光谱信号；对所述二维光谱信号进行信号处理与信号质量评价，确定所述二维光谱信号的质量指标；基于所述质量指标对所述色散共焦传感器的光学设计过程进行精度特性优化。本发明实现了确定了单帧色散共焦信号以及信号帧间一致性这两类色散共焦传感器光谱信号特征对精度特性的影响关系，以此获得与传感器设计参数有关的信号特征质量指标，为传感器的优化设计特别是传感器精度特性的调控提供设计目标。
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公开(公告)号：CN111914450A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010699886.9
申请日：2020-07-20
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F30/23
Abstract: 本发明属于三维表面形貌测量领域，并具体公开了一种基于局部细化求解的AST样条曲面快速重建算法。该算法包括：构建初始T网格并将其转换成AST网格；求解控制顶点，以此得到AST样条曲面并计算各数据点的误差；对于误差不满足预设精度阈值的数据点所在AST网格面片，进行局部细化与局部拟合求解；判断更新后的AST样条曲面中各数据点的误差是否满足预设精度阈值的要求，若是，则完成基于局部细化求解的AST样条曲面快速重整；若否，则重复细化过程直至满足预设精度阈值要求。本发明利用曲率特征信息构建初始T网格，有效减少后期局部细化的迭代次数，提升重建效率；同时利用局部求解拟合替代常规全局拟合，显著提升了计算效率。
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公开(公告)号：CN111854638A
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN202010718315.5
申请日：2020-07-23
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种跨尺度微纳结构三维测量装置及测量方法，其特征在于：包括原子力探针扫描显微镜组件、物镜转台、白光干涉系统、纳米级垂直微位移平台、激光干涉位移计量系统一、测控系统、激光干涉位移计量系统二、样件、二维压电陶瓷扫描平台、二维电动扫描平台以及激光干涉位移计量系统三；通过转动物镜转台，使测量装置在白光干涉测量模式和原子力探针扫描测量模式中切换。白光干涉测量模式主要用于微米尺度结构的大范围测量，原子力探针扫描测量模式对纳米尺度特征区域进行水平高分辨力测量，实现跨尺度微纳结构表面大范围与高分辨力测量，能够在一套系统中实现跨尺度(微米尺度、亚微米及以下尺度)结构的测量。
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公开(公告)号：CN111412826A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN202010275884.7
申请日：2020-04-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明属于电感传感器领域，并具体公开了一种基于幅相检测技术的双螺旋线管差动式电感传感器。该传感器包括传感装置和电路装置，其中：传感装置中初级线圈用于耦合次级差动线圈，次级差动线圈用于输出差动模拟信号；电路装置中高频信号发生模块用于为初级线圈提供激励信号，并为信号比较模块提供基准信号；信号比较模块根据基准信号获得参考模拟信号，并获得幅值比信号和相位差信号；其经过信号放大与采集模块放大，并采集成数字信号送入最小系统模块；最小系统模块作为数据处理端，通过数字信号获得位置变化情况并进行输出，以此完成位移测量工作。本发明能够增大双螺旋线管差动式电感传感器的量程比，提高其零点位置的检测精度、分辨率。
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